【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种检测掺硼硅玻璃膜缺陷的方法，其特征在于，包括如下步骤：在控片上沉积掺硼硅酸盐玻璃膜；在控片的掺硼硅酸盐玻璃膜上形成多晶硅膜；检测控片缺陷。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：游宽结，肖金磊，平延磊，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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