外观检查装置、外观检查方法以及可安装在外观检查装置上的边缘部检查单元制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种外观检查装置、外观检查方法以及可安装在外观检查装置上的边缘部检查单元。该外观检查装置具有宏观检查部（１０）和微观检查部（１１），在微观检查部（１１）中，将检查台（３１）与显微镜（３２）安装在安装板（３０）上。检查台（３１）可分别在Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向上移动，还可在θ方向上旋转。而且，在安装板（３０）上固定有边缘部检查部（１２），该边缘部检查部（１２）取得晶片（Ｗ）的边缘部的放大像。边缘部检查部（１２）被配置为拍摄保持在检查台（３１）上的晶片（Ｗ）的边缘部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及检查工件外观的外观检査装置、外观检査方法以及可安 装在这种外观检査装置上的用于检査工件边缘部的边缘部检査单元。
技术介绍
当在半导体晶片等工件上形成电路等图案时，使用检查工件正面是 否具有缺陷的外观检查装置。作为这种外观检查装置，具有如下外观检 查装置可自由摇动、旋转地保持工件，具有使检査者目视进行工件正 面检查(宏观检查)的宏观检查部、以及取得工件的放大图像来进行检 查(微观检查)的微观检查部，可用一台装置来进行宏观检查和微观检 査(例如，参见专利文献1)。此外，在工件上形成电路等时，由于热处理等有时会在工件上产生 毛刺或内部应力。如果这种毛刺或内部应力变大，则晶片有时会在电路 制造过程中破裂，所以已知通过预先放大工件边缘部进行观察，来检查 是否具有以后有可能演变为破裂的裂缝。作为用于检查工件边缘部(边 缘部检査)的外观检查装置，具有如下外观检查装置其具有可旋转地 支撑工件的支撑部；连续拍摄工件边缘部的边缘部摄像部；以及对边缘 部进行照明的边缘部照明部(例如，参见专利文献2)。专利文献l:日本特开2004-96078号公报 专利文献2:日本特开2003-243465号公报但是，为了一并实施宏观检查、微观检査、边缘部检査，必须在专 利文献1所公开的外观检査装置和专利文献2所公开的外观检査装置之 间，用机械臂或装载机(loader) —边交接一边搬运晶片，具有生产节拍 时间变长的课题。另外，在一个外观检査装置上外置安装另一个外观检查装置的情况下，虽然可縮短搬运时间，但该情况下也需要交接工件等。 而且，作为装置整体的设置面积与单独设置的情况相比并未改变。
技术实现思路
本专利技术正是鉴于上述情况而完成的，其主要目的在于，在进行宏观 检查、微观检查、边缘部检查时，缩短生产节拍时间，并且使装置变小， 简化装置结构。解决上述课题的本专利技术提供一种外观检查装置，其特征在于，该外 观捡查装置具有外观检査部，其用于对工件正面进行外观检查；以及 边缘部检查部，其取得上述工件的边缘部的放大像，由上述外观检査部 和上述边缘部检査部共用在上述外观检査部中保持上述工件的保持单 元。此外，本专利技术提供一种外观检查方法，其特征在于，该外观检查方 法具有利用保持单元保持工件并对上述工件正面进行外观检查的步骤； 使边缘部检查部与上述保持单元相对接近的步骤，其中，该边缘部检查 部取得上述工件的边缘部的放大像；以及在使上述保持单元相对接近的 状态下，利用边缘部检查部取得上述工件的边缘部的放大像的步骤。在本专利技术中，在进行外观检査时，将工件保持在保持单元上， 一边 适当移动保持单元一边进行检査。而且，在进行边缘部检查时，不进行 工件的移动放置而在将工件保持在该保持单元上的状态下旋转工件，利 用边缘部检查部取得工件的边缘部的放大像。而且，本专利技术提供一种可安装在外观检査装置上的边缘部检查单元， 其特征在于，该边缘部检查单元具有固定部，其相对于外观检查部可 自由拆装，该外观检查部在以可自由移动的方式将工件保持在保持单元 上的状态下对工件正面实施外观检查；以及放大像取得部，其被配置成 朝向上述保持单元所保持的上述工件的边缘部，可取得上述工件的边缘 部的放大像。在本专利技术中，通过将固定部固定在外观检查部的规定位置上，可使 用外观检查部的保持单元来进行边缘部检查。即，不用移动放置被搬入到外观检查部的工件即可实施外观检查。此处，边缘部是指工件的侧面部、倒角部及其正背面的周围部分。 此外，当工件为晶片的情况下，涂布抗蚀剂后除去了不需要的抗蚀剂的 边缘切割线部分也包含在边缘部之内。根据本专利技术，在具有用于对工件正面进行外观检査的外观检査部的 外观检査装置中，由于在工件正面的外观检查和进行工件的边缘部的检 査的边缘部检查中共用保持工件的保持单元，因此，不进行工件的移动 放置，即可在保持在保持单元上的状态下进行外观检查和边缘部检查。因此，与单独构成装置的情况相比能减小设置面积。而且，由于可 省略移动工件的距离和移动放置的麻烦，所以能縮短检査的生产节拍时 间。附图说明图1是表示本专利技术的实施方式的外观检查装置的概要结构的俯视图。图2是表示外观检查装置的概要结构的侧视图。图3是说明边缘部检查部的拆装的分解图。图4是表示外观检査装置的概要结构的俯视图。图5是表示外观检查装置的概要结构的侧视图。 图6是表示外观检查装置的概要结构的侧视图。 图7是表示外观检查装置的概要结构的俯视图。 图8是表示从正面观察第1方式的可变视野方向观察装置的结构例 的图。图9A是表示从恻面观察第1方式的可变视野方向观察装置的结构例 的图。图9B是表示从图9A的箭头Al侧观察到的镜凸轮的结构例的图。 图IOA是用于说明第1方式的可变视野方向观察装置中的可观察视 野方向的图。图10B是用于说明第1方式的可变视野方向观察装置中的可观察视 野方向的图。图11是表示从正面观察第2方式的可变视野方向观察装置的结构例 的图。图12A是表示从正面观察第3方式的可变视野方向观察装置的结构例的图。图12B是表示从背面观察第3方式的可变视野方向观察装置的结构 例的图。图12C是表示从图12B的箭头Cl侧观察到的可动型正反观察镜的 截面结构例的图。图13A是用于说明第3方式的可变视野方向观察装置的动作的图。 图13B是用于说明第3方式的可变视野方向观察装置的动作的图。 图13C是用于说明第3方式的可变视野方向观察装置的动作的图。 图13D是用于说明第3方式的可变视野方向观察装置的动作的图。 图13E是用于说明第3方式的可变视野方向观察装置的动作的图。 图13F是用于说明第3方式的可变视野方向观察装置的动作的图。 图13G是用于说明第3方式的可变视野方向观察装置的动作的图。 符号说明1、 51、 71外观检查装置10宏观检査部(外观检査部)11微观检査部(外观检查部)12、 61边缘部检查部(边缘部检查单元)15、 30、 72安装板22宏观检查单元(保持单元)31、 74、 95检查台(保持单元)36A、 79旋转轴41固定部44放大像取得部45、 96控制装置73自动宏观检查部(外观检查部) W晶片(工件)101基座101a电动机安装板102电动机103滚珠螺杆组件103a滚珠螺杆103b滚珠螺杆导向件104 Z方向移动线性导向件 104a、 106a轨道104b、 106b外壳(case)105 Z移动台 105a臂106 X方向移动线性导向件107 X移动板 108凸轮108a、 118a凸轮面109、 117凸轮辊111、 120拉伸弹簧112 CCD相机114晶片115旋转镜116旋转轴118镜凸轮119旋转臂121a、 121b弹簧挂钩122成像透镜200、 201、 202可变视野方向观察装置(边缘部检査部)具体实施方式参照附图详细说明用于实施本专利技术的优选方式。 (第1实施方式)如图1所示，外观检查装置1在面向检查者的前面(图1中的下方) 设有检查部2，在检查部2的背面侧上连接有装载机部3。装载机部3并列连接有晶片托架4A、 4B，该晶片托架4A、 4B收容作为工件的半导体 晶片W (下面称为晶片W)。另外，晶片托架4A、 4B可在上下方向上以 规定间距收容多个晶片W，例如，在晶片托架4A上收容未本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种外观检查装置，其特征在于，该外观检查装置具有：外观检查部，其用于对工件正面进行外观检查；以及边缘部检查部，其取得上述工件的边缘部的放大像，由上述外观检查部和上述边缘部检查部共用在上述外观检查部中保持上述工件的保持 单元。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2005-4-27 129403/2005;JP 2005-7-11 202015/20051.一种外观检查装置，其特征在于，该外观检查装置具有外观检查部，其用于对工件正面进行外观检查；以及边缘部检查部，其取得上述工件的边缘部的放大像，由上述外观检查部和上述边缘部检查部共用在上述外观检查部中保持上述工件的保持单元。2. 根据权利要求1所述的外观检査装置，其特征在于，将上述保持单元和上述边缘部检查部设置成可自由相对接近和离开。3. 根据权利要求1或2所述的外观检査装置，其特征在于，上述边 缘部检查部以可自由拆装的方式设置在上述外观检查部上。4. 根据权利要求1至3中的任意一项所述的外观检査装置，其特征 在于，上述外观检查部具有取得上述工件正面的放大像的微观检查部， 以可自由移动的方式在上述微观检查部和上述边缘部检查部之间共用上 述微观检查部的上述保持单元。5. 根据权利要求4所述的外观检査装置，其特征在于，该外观检査 装置具有如下功能对利用上述微观检査部或者上述边缘部检查部中的 任意一个检查部进行检査时的观察位置的坐标进行记录，在利用另一个 检查部进行检查时，根据所记录的上述观察位置的坐标，将上述观察位 置移动到另一个检査部的观察位置上。6. 根据权利要求1至5中的任意一项所述的外观检査装置，其特征 在于，上述保持单元和上述边缘部检査部设置在经过减振的同一块安装 板上。7. —种外观检查方法，其特征在于，该外观检查方法具有 利用保持单元保持工件并对上述工件正面进行外观检査的步骤； 使边缘部检査部与上述保持单元相对接近的步骤，其中，该边缘部检查部取得上述工件的边缘部的放大像；以及在使上述保持单元相对接近的状态下，利用边缘部检査部取得上述 工件的边缘部的放大像的步骤。8. —种可安装在外观检查装置上的边缘部检查单元，其特征在于，该边缘部检査单元具有固定部，其相对于外观检查部可自由拆装，该外观检查部在以可自 由移动的方式将工件保持在保持单元上的状态下对工件正面实施外观检 查；以及放大像取得部，其被配置成朝向上述保持单元所保持的上述工件的 边缘部，可取得上述工件的边缘部的放大像。9. 根据权利要求8所述的可安装在外观检查装置上的边缘部检查单 元，其特征在于，上述固定部和上述放大像取得部通过可在一轴方向上 自由移动的台进行连接。10. 根据权利要求1所述的外观检查装置，该外观检查装置具有可变 视野方向观察装置，其特征在于，上述工件是平板状的试样， 上述边缘部检查部具有观察光学系统，其观察上述平板状的试样的外周端面；以及镜部，使上述观察光学系统的光轴偏向而到达上述试样的外周端面上，上述边缘部检查部通过上述镜部的转动来变更视野方向，同时将上 述观察光学系统和上述试样的外周端面的距离保持为大致恒定，并观察 上述试样的外周端面。11. 根据权利要求1所述的外观检查装置，该外观检查装置具有可变 视野方向观察装置，其特征在于，上述工件是平板状的试样， 上述边缘部检查部具有基座部，其固定在可观察上述平板状的试样的外周端面的位置上； 观察光学系统，其具有与上述试样的表面正交的光轴； 二轴台，其支撑上述观察光学系统，在上述试样的上述表面的正交 方向和平行方向上可动；镜部，其可自由转动地支撑在上述二轴台上，使上述观察光学系统 的光轴偏向而到达上述试样的外周端面上；以及转动引导部，其设置在上述基座部上，为了上述镜部进行滑动而推 压并抵接，当上述二轴台在正交方向上移动时，转动上述镜部，使得使 上述观察光学系统的光轴偏向而到达上述试样的外周端面上，上述边缘部检查部通过上述镜部的转动来变更视野方向，同时将上 述观察...

【专利技术属性】
技术研发人员：横田敦俊，蛇石广康，土坂新一，
申请(专利权)人：奥林巴斯株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]