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一种检测掺硼硅玻璃膜缺陷的方法，工艺步骤为：在控片上沉积掺硼硅酸盐玻璃膜；在控片的掺硼硅酸盐玻璃膜上形成多晶硅膜；检测控片的表面。本方法不仅大大的缩短了检测掺硼硅酸盐玻璃膜缺陷的周期，而且提高了晶圆的良率。...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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