【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及。特别涉及适合在小型电动机、微传动装置、向磁阻元件外加偏移磁场的元件、磁记录媒体等使用的永久磁铁薄膜。
技术介绍
随着各种电气机械的小型化的进展，正在推进使用永久磁铁薄膜的微电机或微传动装置等的开发。永久磁铁薄膜的磁性左右这类装置的大小或性能。因此，作为永久磁铁薄膜的材料，最大磁能积高的Nd-Fe-B系磁铁材料或Sm-Co系磁铁材料受到关注，其研究开发正盛行。其中，构成Nd-Fe-B系磁铁材料的主相的正方晶Nd2Fe14B化合物，因其饱和磁化比SmCo5或Sm2Co17的饱和磁化高，作为高性能永久磁铁薄膜的材料，正受到关注。但是，在块状永久磁铁的情况下，制作最大磁能积超过400kJ/m3的Nd-Fe-B系磁铁，并达到商品化，与此相反，以正方晶Nd2Fe14B化合物作为主体的永久磁铁薄膜，使磁化和矫顽磁力两者提高是困难的，因此，目前还处于未达到实用化的状况。在永久磁铁薄膜的情况下，使磁化和矫顽磁力两者提高是困难的一个原因在于，采用薄膜堆积技术形成的Nd-Fe-B系磁铁的磁各向异性比采用粉末冶金法制成的整体状永久磁铁低。在采用粉末冶金法的情况下，在制...
【技术保护点】
一种永久磁铁薄膜，它是具备高熔点金属层和稀土合金磁性层交互层叠的４层以上的层叠结构的永久磁铁薄膜，所述高熔点金属层由选自Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｈｆ、Ｔａ和Ｗ中的至少一种材料形成，具有５ｎｍ以上、５０ｎｍ以下的厚度，所述稀土合金磁性层的主构成相是正方晶Ｒ↓［２］Ｆｅ↓［１４］Ｂ（Ｒ是Ｎｄ和／或Ｐｒ），具有５０ｎｍ以上、５００ｎｍ以下的厚度。
【技术特征摘要】
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