下载永久磁铁薄膜及其制造方法的技术资料

文档序号:3109711

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在基板上形成高熔点金属层2、4、6、8和10以及稀土合金磁性层3、5、7、9、11和12交互层叠的4层以上的层叠结构。高熔点金属层2、4、6、8、10由选自Ti、V、Cr、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta和W中的至少一种材料形成,具有5nm以上...
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