组合式电感组件制造技术

本发明专利技术公开了一种组合式电感组件，可形成于半导体基底或绝缘体的表面处，包括有数个彼此串联的螺旋状导体。由于此等螺旋状导体可利用同一金属工艺予以实现，故每一螺旋状导体均可位于同一平面上，以形成组合式电感结构。相邻螺旋状电感间的串联方式，可采用顺向或反向，其中任一螺旋状导体，最少有一相邻螺旋状导体与之反向串联，经由相邻螺旋电感的顺向或反向交替串接，可明显提升串联电感的单位面积电感值。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种电感组件，特别是一种以半导体工艺制成的组合式电感组件。随着科技不断地进步，半导体技术日益成熟，使得电信技术的发展一日千里，发展日渐蓬勃。一般而言，在半导体组件中制作高频电感组件是十分困难的，而特性良好的半导体电感组件，至少需要具备高电感密度、高品质因子与高稳定性等特点。故使其制作难度也相对地提高。在电感的制作过程中，可用增加电感的匝数的方法使电感量增加，但电感匝数增加后，基底的寄生电容亦随之增加，使自振频率(self-resonant frequency)逐渐降低。通常，我们可利用多层(multi-level)电感结构解决此等问题，其具体作法将于下文中加以说明。请参照附图说明图1，是现有技术的一种多层电感组件，公开于美国专利案第5,610,433号。如图所示，电感10可由线圈M1、M2和M3所组成，而架构出三层式电感结构；其中，每一线圈均可由数个不同口径的金属线圈所构成，如图式中的内外层金属线圈即其中一例。金属线圈的直径介于数十微米至数千微米之间，金属材质可以是铝或其它具高导电系数的材料。每一层金属线圈彼此间的连线(interconnections)关系如图所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种组合式电感组件，位于一绝缘体的表面处，其特征在于：该组合式电感组件包括： 复数个串联的螺旋状导体，该等复数个螺旋状导体中，有一个螺旋状导体为反向串联。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：周国煜，苏翔，郭仁财，
申请(专利权)人：华邦电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]