搬送机构和片材扩展装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供搬送机构和片材扩展装置，在解除吸引之后使吸引垫的底面的朝向复原。搬送机构吸引保持对象物并进行搬送，该搬送机构具有：吸引部，其具有吸引垫，利用吸引垫对对象物进行吸引保持；托架，其借助能够摆动的接头而与吸引部连接；弹性部件，其一端部固定于吸引部，另一端部固定于托架；负压控制单元，其具有配置在与吸引部连接的规定的流路上的阀，该负压控制单元对吸引部中的负压的产生进行控制；以及移动单元，其使托架移动，弹性部件根据所吸引保持的对象物的倾斜或变形而允许吸引部摆动，并且，当解除对对象物的吸引保持时，使吸引垫的朝向恢复为吸引垫未对对象物进行吸引保持时的规定的朝向。保持时的规定的朝向。保持时的规定的朝向。

【技术实现步骤摘要】
搬送机构和片材扩展装置


[0001]本专利技术涉及吸引保持对象物并进行搬送的搬送机构和对粘贴在板状物上的片材进行扩展的片材扩展装置。

技术介绍

[0002]公知有吸引并搬送具有挠性和伸缩性的片状的对象物的搬送机构。该搬送机构例如具有俯视时具有大致H字形状的金属制的托架。在托架上设置有多个吸引单元。各吸引单元具有：吸引部，其具有吸引垫；以及接头，其配设在吸引部与托架之间。
[0003]当利用搬送机构吸引保持对象物时，有时对象物发生变形或者倾斜。与此相对，公知有如下的技术：通过将接头构成为能够摇动(即，能够摆动)，即使对象物产生变形、倾斜等，也使吸引垫的底面的朝向追随对象物的表面，从而适当地保持对象物(例如，参照专利文献1)。
[0004]专利文献1：日本特开2014
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194991号公报
[0005]但是，在使吸引垫的底面的朝向追随对象物的表面的情况下，即使在搬送后解除吸引而将对象物从吸引垫释放，吸引垫的底面的朝向也不会从搬送时的朝向复原，有时无法对下一个对象物进行吸引保持。

技术实现思路

[0006]本专利技术是鉴于上述问题而完成的，其目的在于，提供在解除了吸引之后吸引垫的底面的朝向复原的搬送机构。
[0007]根据本专利技术的一个方式，提供一种搬送机构，其吸引保持对象物并进行搬送，其中，该搬送机构具有：吸引部，其具有吸引垫，利用该吸引垫对该对象物进行吸引保持；托架，其借助能够摆动的接头而与该吸引部连接；弹性部件，其一端部固定于该吸引部，另一端部固定于该托架；负压控制单元，其具有配置在与该吸引部连接的规定的流路上的阀，该负压控制单元对该吸引部中的负压的产生进行控制；以及移动单元，其使该托架移动，该弹性部件根据所吸引保持的该对象物的倾斜或变形而允许该吸引部摆动，并且，当解除对该对象物的吸引保持时，使该吸引垫的朝向恢复为该吸引垫未对该对象物进行吸引保持时的规定的朝向。
[0008]优选的是，该弹性部件是橡胶片、树脂片、弹性体片或者弹簧。
[0009]根据本专利技术的另一方式，提供一种片材扩展装置，其对粘贴在板状物上的片材进行扩展，其中，该片材扩展装置具有：扩展单元，其沿规定的平面方向对粘贴在该板状物上的矩形状的该片材进行扩展；框架配置单元，其具有用于吸引环状框架的第1吸引垫，按照使该环状框架包围该板状物的周围的方式将该环状框架配置于被该扩展单元扩展后的该片材的一个面侧，其中，该环状框架形成有开口，该开口具有比该板状物的一个面的大小大的直径；切割单元，其具有切刃，用于利用该切刃对粘贴有该板状物和该环状框架的该片材中的该开口的外侧进行切割；以及搬送机构，其对该片材中的被该切刃切割而形成的孔的
外周部进行吸引保持，将该片材搬送到废弃箱，该搬送机构具有：吸引部，其具有第2吸引垫，利用该第2吸引垫对该片材进行吸引保持；托架，其借助能够摆动的接头而与该吸引部连接；弹性部件，其一端部固定于该吸引部，另一端部固定于该托架；负压控制单元，其具有配置在与该吸引部连接的规定的流路上的阀，该负压控制单元对该吸引部中的负压的产生进行控制；以及移动单元，其使该托架移动，该弹性部件根据所吸引保持的该片材的倾斜或变形而允许该吸引部摆动，并且，当解除对该片材的吸引保持时，使该第2吸引垫的朝向恢复为该第2吸引垫未对该片材进行吸引保持时的规定的朝向。
[0010]优选的是，该搬送机构在将该吸引部所吸引保持的该片材按压并粘接于先前收纳在该废弃箱中的该片材的该一个面上之后，解除对该片材的吸引，从而将按压并粘接的该片材堆叠在先前收纳于该废弃箱中的该片材上。
[0011]本专利技术的一个方式的搬送机构具有弹性部件，该弹性部件的一端部固定于吸引部，另一端部固定于托架。弹性部件根据所吸引保持的对象物的倾斜或变形而允许吸引部摆动。此外，当解除对对象物的吸引保持时，从对象物作用于吸引部的外力消失，因此吸引垫的底面的朝向由于弹性部件的复原力而自然地恢复为原来的朝向。因此，具有不妨碍对接下来要吸引的对象物进行吸引时的动作的优点。
附图说明
[0012]图1是片材扩展装置的立体图。
[0013]图2是交接单元的立体图。
[0014]图3是扩展单元的俯视图。
[0015]图4的(A)是Z轴方向移动机构等的立体图，图4的(B)是搬送机构的立体图。
[0016]图5的(A)是吸引部等的局部剖面侧视图，图5的(B)是吸引垫的底面的朝向发生了变化时的吸引部等的放大图。
[0017]图6是示出片材扩展步骤的图。
[0018]图7是示出框架配置步骤和切割步骤的图。
[0019]图8是示出器件芯片单元分离步骤的图。
[0020]图9是示出片材吸引步骤的图。
[0021]图10是示出夹持单元退避步骤的图。
[0022]图11是示出片材废弃步骤的图。
[0023]图12是示出片材的处理方法的流程图。
[0024]图13是示出变形例的片材废弃步骤的图。
[0025]图14是第2实施方式的搬送机构的局部放大图。
[0026]图15是示出吸引垫和折皱状吸引垫的位置关系的图。
[0027]标号说明
[0028]2：片材扩展装置；4：基台；8：片材提供单元；10：粘贴单元；12：支承部；14：轴部；16：基座部；18：气缸；20：卡盘工作台；20a：上表面；22：矩形板；22a：贯通开口；24：切刃部；26：加热器；28：X轴移动机构；30：导轨；32：移动板；34：滚珠丝杠；36：旋转驱动源；40：交接单元；42：移动板；44：旋转驱动源；46：圆盘；48：气缸；48a：缸筒；48b：活塞杆；50：卡盘工作台；50a：保持面；52：夹具机构；54：支柱；56：辊部；58：切割单元；58a：切刃；60：X轴移动机
构；62：导轨；64：滚珠丝杠；70：剥离机构；72：扩展单元；74A：第1夹持单元；74B：第2夹持单元；74C：第3夹持单元；74D：第4夹持单元；76a：下侧夹持部；76a1：辊；76b：上侧夹持部；76b1：辊；78：上臂；80：上侧可动板；82：导轨；84：旋转驱动源；86：X轴移动机构；88：滚珠丝杠；90：旋转驱动源；92：轴承；94：上侧夹持部；96：上臂；98：上侧可动板；100：导轨；102：旋转驱动源；104：Y轴移动机构；106：滚珠丝杠；108：旋转驱动源；110：框架配置单元；112：基座部；112a：吸引垫；114a：支承柱；114b：连接部；114c：移动板；116：Z轴方向移动机构；118：移动板；120：导轨；122：滚珠丝杠；124：旋转驱动源；126：移动块；128：导轨；130：滚珠丝杠；132：旋转驱动源；134：Y轴移动机构；136：移动单元；138：气缸；138a：缸筒；138b：活塞；140：搬送机构；142：托架；142a：直线部；142b：连结部；142c：圆筒部；142d：柱；142e：水平板；144：弹性部件；144a：上端部；144b：下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种搬送机构，其吸引保持对象物并进行搬送，其特征在于，该搬送机构具有：吸引部，其具有吸引垫，利用该吸引垫对该对象物进行吸引保持；托架，其借助能够摆动的接头而与该吸引部连接；弹性部件，其一端部固定于该吸引部，另一端部固定于该托架；负压控制单元，其具有配置在与该吸引部连接的规定的流路上的阀，该负压控制单元对该吸引部中的负压的产生进行控制；以及移动单元，其使该托架移动，该弹性部件根据所吸引保持的该对象物的倾斜或变形而允许该吸引部摆动，并且，当解除对该对象物的吸引保持时，使该吸引垫的朝向恢复为该吸引垫未对该对象物进行吸引保持时的规定的朝向。2.根据权利要求1所述的搬送机构，其特征在于，该弹性部件是橡胶片、树脂片、弹性体片或者弹簧。3.一种片材扩展装置，其对粘贴在板状物上的片材进行扩展，其特征在于，该片材扩展装置具有：扩展单元，其沿规定的平面方向对粘贴在该板状物上的矩形状的该片材进行扩展；框架配置单元，其具有用于吸引环状框架的第1吸引垫，按照使该环状框架包围该板状物的周围的方式将该环状框架配置于被该扩展单元扩展后的该片材的一个面侧，其中，该环状框架形成有开口，该...

【专利技术属性】
技术研发人员：柿沼良典，木村公，川瀬雅之，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：