一种硅片真空传送机械手臂制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体材料加工技术领域，尤其涉及一种硅片真空传送机械手臂，其包括手臂本体，多个均匀固定设于手臂本体上用于硅片限位的限位块，手臂本体上设有第一吸气口，手臂本体上还设有至少两个用于吸附硅片的真空吸附机构，手臂本体的底部设有第一凹槽，第一凹槽内设有第二凹槽，第一凹槽上固定设有贴片，贴片和第二凹槽构成了用于吸气的吸气通道，吸气通道的一端对应于第一吸气口，其另一端分别设有第二吸气口和第三吸气口，真空吸附机构分别与设于手臂本体的第二吸气口和第三吸气口相对应，其不仅结构简单，所需成本低，且能保证硅片安全，提高工作效率，可以满足市场需求。需求。需求。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片真空传送机械手臂


[0001]本技术涉及半导体材料加工
，尤其涉及一种硅片真空传送机械手臂。

技术介绍

[0002]现有硅片传送手臂一般采用托起的方式，托起硅片，移动中容易产生震动，存在导致硅片掉落的风险，造成不必要的浪费，同时，现有的机械手臂结构外形复杂，调机中狭小位置易和硅片发生碰擦，也不能保证硅片的安全。
[0003]而且通过传送手臂对硅片进行打胶时，传送手臂运送的硅片尺寸比较单一，针对不同尺寸硅片需更换不同尺寸传送手臂，降低了工作效率，无法满足市场的需求。

技术实现思路

[0004]为了克服上述技术缺陷，本技术的目的是提供一种结构简单，所需成本低，保证硅片安全，提高工作效率，可以满足市场需求的硅片真空传送机械手臂。
[0005]为实现上述目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：
[0006]一种硅片真空传送机械手臂，包括手臂本体，多个均匀固定设于所述手臂本体上用于硅片限位的限位块，所述手臂本体上设有第一吸气口，所述手臂本体上还设有至少两个用于吸附硅片的真空吸附机构，所述手臂本体的底部设有第一凹槽，第一凹槽内设有第二凹槽，第一凹槽上固定设有贴片，贴片和第二凹槽构成了用于吸气的吸气通道，吸气通道的一端对应于所述第一吸气口，其另一端分别设有第二吸气口和第三吸气口，所述真空吸附机构分别与设于所述手臂本体的第二吸气口和第三吸气口相对应。
[0007]进一步的，所述真空吸附机构分别包括定位板和真空吸嘴，真空吸嘴经定位板固定设于所述手臂本体上。
[0008]进一步的，所述手臂本体上还设有安装槽，所述真空吸嘴经所述定位板固定设于安装槽内。
[0009]进一步的，所述手臂本体上还设有呈均匀分布的至少三个支撑凸块。
[0010]进一步的，所述限位块、所述定位板、所述真空吸嘴和所述支撑凸块分别为peek式限位块、peek式定位板，peek式真空吸嘴和peek式支撑凸块。
[0011]进一步的，所述手臂本体的一端还设有便于其安装的限位凹槽。
[0012]进一步的，所述贴片为不锈钢贴片。
[0013]综上所述，本技术的优点是：该真空传送机械手臂，其包括手臂本体，多个均匀固定设于手臂本体上用于硅片限位的限位块，手臂本体上设有第一吸气口，手臂本体上还设有至少两个用于吸附硅片的真空吸附机构，手臂本体的底部设有第一凹槽，第一凹槽内设有第二凹槽，第一凹槽上固定设有贴片，贴片和第二凹槽构成了用于吸气的吸气通道，吸气通道的一端对应于第一吸气口，其另一端分别设有第二吸气口和第三吸气口，真空吸附机构分别与设于手臂本体的第二吸气口和第三吸气口相对应。硅片通过真空吸附机构吸
附在该机械手臂上进行传送，且在手臂本体还设有至少三个高度相同的支撑凸块，既使硅片能放平于手臂本体，也能起保护做用，其不仅结构简单，所需成本低，且能保证硅片安全，提高工作效率，可以满足市场需求。
附图说明
[0014]图1是本技术一实施例的结构示意图；
[0015]图2是本技术一实施例的反面结构示意图；
[0016]图3是本技术一实施例的爆炸结构示意图；
[0017]图4是本技术一实施例的另一爆炸结构示意图；
[0018]其中，1、手臂本体，2、限位块，3、支撑凸块，4、真空吸附机构，401、定位板，402、真空吸嘴，5、第一吸气口，6、限位凹槽，7、贴片，8、安装槽，9、第一凹槽，10、第二凹槽，11、第二吸气口，12、第三吸气口。
具体实施方式
[0019]下面将结合附图以及具体实施方式对技术作进一步的说明：
[0020]如图1、图2、图3和图4所示，一种硅片真空传送机械手臂，包括手臂本体1，多个均匀固定设于所述手臂本体1上用于硅片限位的限位块2，所述手臂本体1上设有第一吸气口5，所述手臂本体1上还设有至少两个用于吸附硅片的真空吸附机构4，所述手臂本体1的底部设有第一凹槽9，第一凹槽9内设有第二凹槽10，第一凹槽9上固定设有贴片7，贴片7和第二凹槽10构成了用于吸气的吸气通道，吸气通道的一端对应于所述第一吸气口5，其另一端分别设有第二吸气口11和第三吸气口12，所述真空吸附机构4分别与设于所述手臂本体1的第二吸气口11和第三吸气口12相对应。
[0021]其中，所述真空吸附机构4分别包括定位板401和真空吸嘴402，真空吸嘴402经定位板401固定设于所述手臂本体1上。
[0022]其中，所述手臂本体1上还设有安装槽8，所述真空吸嘴402经所述定位板401固定设于安装槽8内。
[0023]其中，所述手臂本体1上还设有呈均匀分布的至少三个支撑凸块3。
[0024]其中，所述限位块2、所述定位板401、所述真空吸嘴402和所述支撑凸块3分别为peek式限位块、peek式定位板，peek式真空吸嘴和peek式支撑凸块。
[0025]其中，所述手臂本体1的一端还设有便于其安装的限位凹槽6。
[0026]其中，所述贴片7为不锈钢贴片。
[0027]其中，peek材料的中文名称为聚醚醚酮，英文名称polyetheretherketone(简称peek)，它是分子主链中含有链节的线性芳香族高分子化合物。其构成单位为氧
‑
对亚苯基
‑
氧
‑
羰
‑
对亚苯基，是半结晶性、热塑性塑料。peek材料作为一种新型的半晶态芳香族塑性工程塑料，具有极其出色的物理、力学性能，在许多特殊领域可以替代金属、陶瓷等传统材料，在减轻质量，提高性能方面贡献突出，成为当今最热门的高性能工程塑料之一。PEEK材料耐高温热性能十分突出，可在260℃下长期使用，瞬间使用温度可达300℃；其刚性大，尺寸稳定性，线胀系数较小，接近于金属铝材料；PEEK材料化学稳定性好，对酸、碱及几乎所有的有机溶剂都有很强的抗腐蚀能力，同时具有阻燃、抗辐射等性能；PEEK材料耐滑动磨损和微动
磨损耗的性能优异，尤其是能在250℃下保持高耐磨性和低摩擦因数；此外，PEEK材料易于挤出和注射击成型。凭借些优异的综合性能。
[0028]定位板401、真空吸嘴402和支撑凸块3分别为peek式限位块、peek式定位板，peek式真空吸嘴和peek式支撑凸块，是有利于硅片在传送过程中对其的保护，防止其在传送过程中发生碰撞，从而导致影响其质量。
[0029]硅片在传送时，通过限位凹槽6将该手臂本体1安装至指定设备上，再通过第一吸气口5经吸气通道配合第二吸气口11和第三吸气口12上的真空吸嘴402将硅片吸附在手臂本体1上，并通过限位块2对已经吸附在手臂本体1上的硅片进行限位，同时，硅片设于手臂本体(1)上的支撑凸块3上，保证其在传送时的安全，当传送至指定位置时，停止吸气，真空吸嘴402将硅片松开，取下硅片即可。
[0030]综上所述，其不仅结构简单，所需成本低，且能保证硅片安全，提高工作效率，可以满足市场需求。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片真空传送机械手臂，包括手臂本体(1)，多个均匀固定设于所述手臂本体(1)上用于硅片限位的限位块(2)，所述手臂本体(1)上设有第一吸气口(5)，其特征在于：所述手臂本体(1)上还设有至少两个用于吸附硅片的真空吸附机构(4)，所述手臂本体(1)的底部设有第一凹槽(9)，第一凹槽(9)内设有第二凹槽(10)，第一凹槽(9)上固定设有贴片(7)，贴片(7)和第二凹槽(10)构成了用于吸气的吸气通道，吸气通道的一端对应于所述第一吸气口(5)，其另一端分别设有第二吸气口(11)和第三吸气口(12)，所述真空吸附机构(4)分别与设于所述手臂本体(1)的第二吸气口(11)和第三吸气口(12)相对应。2.根据权利要求1所述的一种硅片真空传送机械手臂，其特征在于：所述真空吸附机构(4)分别包括定位板(401)和真空吸嘴(402)，真空吸嘴(402)经定位板(401)固...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴想，戴文海，
申请(专利权)人：江西维易尔半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：