一种涂胶显影机用晶圆吸盘制造技术

本实用新型专利技术公开了一种涂胶显影机用晶圆吸盘，包括底座，所述底座顶部固定设有盘体，所述盘体内腔开设有真空腔与安装腔，所述真空腔上方位于盘体顶部固定设有橡胶吸嘴，所述安装腔内腔设有驱动机构，所述驱动机构顶部固定连接有夹板，所述盘体顶部对称开始有导向滑槽，电动伸缩杆可以控制升降板升降，升降板升降可以控制抽气组件对真空腔内腔进行吹气或吸气，抽气组件对真空腔内腔进行吸气即可利用负压对放置在盘体顶部的晶圆进行吸附固定，反之抽气组件对真空腔内腔进行吹气即可取下晶圆，晶圆拆卸更换方便，通过设置驱动机构，驱动机构可以控制夹板左右移动，夹板可以对不同尺寸的晶圆进行二次夹持固定，固定稳定性高，晶圆不易晃动。易晃动。易晃动。

【技术实现步骤摘要】
一种涂胶显影机用晶圆吸盘


[0001]本技术涉及一种涂胶显影机用晶圆吸盘，属于晶圆吸盘


技术介绍

[0002]随着半导体、LED行业的飞速发展，晶圆种类也越来越多，对测试要求也越来越高，对于晶圆的定位精度要求也越来越高，其中在芯片的制造过程中，需要使用到半导体设备涂胶显影机，涂胶显影机使用时需要用到晶圆吸盘，传统的吸盘只能对单一尺寸的晶圆进行固定，而且固定效果差，晶圆拆卸更换不便。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题克服现有的缺陷，提供一种涂胶显影机用晶圆吸盘，可以对不同尺寸的晶圆进行固定，固定效果好，晶圆拆卸更换方便，通过设置电动伸缩杆，电动伸缩杆可以控制升降板升降，升降板升降可以控制抽气组件对真空腔内腔进行吹气或吸气，抽气组件对真空腔内腔进行吸气即可利用负压对放置在盘体顶部的晶圆进行吸附固定，反之抽气组件对真空腔内腔进行吹气即可取下晶圆，晶圆拆卸更换方便，通过设置驱动机构，驱动机构可以控制夹板左右移动，夹板可以对不同尺寸的晶圆进行二次夹持固定，固定稳定性高，晶圆不易晃动，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供了如下的技术方案：
[0005]一种涂胶显影机用晶圆吸盘，包括底座，所述底座顶部固定设有盘体，所述盘体内腔开设有真空腔与安装腔，所述真空腔上方位于盘体顶部固定设有橡胶吸嘴，所述安装腔内腔设有驱动机构，所述驱动机构顶部固定连接有夹板，所述盘体顶部对称开始有导向滑槽，所述底座内腔底部固定设有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆顶部固定设有升降板，所述升降板顶部等距固定设有抽气组件。
[0006]作为上述技术方案的进一步描述，所述底座包括底板，所述底板顶部固定设有防护罩，所述底板上位于其四角处开设有固定孔。
[0007]作为上述技术方案的进一步描述，所述驱动机构包括螺纹杆，且所述螺纹杆转动设置在安装腔内腔，所述螺纹杆外侧套设有驱动螺套，所述驱动螺套顶部固定设有滑杆，所述螺纹杆一端固定设有转动把手。
[0008]作为上述技术方案的进一步描述，所述滑杆穿设于导向滑槽内腔，且所述滑杆顶端固定连接夹板。
[0009]作为上述技术方案的进一步描述，所述夹板一侧设为弧形结构，且弧形腔内壁固定设有橡胶垫。
[0010]作为上述技术方案的进一步描述，所述抽气组件包括筒体，且所述筒体与真空腔贯通连接，所述筒体内腔设有活塞，所述活塞底部固定设有推拉杆，且所述推拉杆底端与升降板固定连接。
[0011]本技术有益效果：1、通过设置电动伸缩杆，电动伸缩杆可以控制升降板升降，
升降板升降可以控制抽气组件对真空腔内腔进行吹气或吸气，抽气组件对真空腔内腔进行吸气即可利用负压对放置在盘体顶部的晶圆进行吸附固定，反之抽气组件对真空腔内腔进行吹气即可取下晶圆，晶圆拆卸更换方便；
[0012]2、通过设置驱动机构，驱动机构可以控制夹板左右移动，夹板可以对不同尺寸的晶圆进行二次夹持固定，固定稳定性高，晶圆不易晃动。
附图说明
[0013]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。
[0014]图1是本技术一种涂胶显影机用晶圆吸盘结构图。
[0015]图2是本技术一种涂胶显影机用晶圆吸盘剖视图。
[0016]图3是本技术一种涂胶显影机用晶圆吸盘的A处放大图。
[0017]图4是本技术一种涂胶显影机用晶圆吸盘的抽气组件剖视图。
[0018]图中标号：1、底座；2、盘体；3、真空腔；4、安装腔；5、橡胶吸嘴；6、驱动机构；7、夹板；8、导向滑槽；9、电动伸缩杆；10、升降板；11、抽气组件；12、底板；13、防护罩；14、固定孔；15、螺纹杆；16、驱动螺套；17、滑杆；18、转动把手；19、筒体；20、活塞；21、推拉杆。
具体实施方式
[0019]以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。
[0020]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：一种涂胶显影机用晶圆吸盘，包括底座1，所述底座1顶部固定设有盘体2，所述盘体2内腔开设有真空腔3与安装腔4，所述真空腔3上方位于盘体2顶部固定设有橡胶吸嘴5，所述安装腔4内腔设有驱动机构6，所述驱动机构6顶部固定连接有夹板7，所述盘体2顶部对称开始有导向滑槽8，所述底座1内腔底部固定设有电动伸缩杆9，所述电动伸缩杆9顶部固定设有升降板10，所述升降板10顶部等距固定设有抽气组件11，通过电动伸缩杆9可以控制升降板10升降，升降板10升降可以控制抽气组件11对真空腔内腔进行吹气或吸气，抽气组件11对真空腔3内腔进行吸气即可利用负压对放置在盘体2顶部的晶圆进行吸附固定，反之抽气组件11对真空腔3内腔进行吹气即可取下晶圆。
[0021]具体的，如图1
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图2所示，所述底座1包括底板12，所述底板12顶部固定设有防护罩13，所述底板12上位于其四角处开设有固定孔14，所述夹板7一侧设为弧形结构，且弧形腔内壁固定设有橡胶垫，设为弧形结构使得夹板7可以更加稳定的对晶圆进行夹持固定。
[0022]具体的，如图3
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图4所示，所述驱动机构6包括螺纹杆15，且所述螺纹杆15转动设置在安装腔4内腔，所述螺纹杆15外侧套设有驱动螺套16，所述驱动螺套16顶部固定设有滑杆17，所述螺纹杆15一端固定设有转动把手18，所述滑杆17穿设于导向滑槽8内腔，且所述滑杆17顶端固定连接夹板7，通过转动把手18旋转螺纹杆15可以控制驱动螺套16左右移动，驱动螺套16可以通过滑杆17带动夹板7左右移动，夹板7可以对不同尺寸的晶圆进行二次夹持固定，所述抽气组件11包括筒体19，且所述筒体19与真空腔3贯通连接，所述筒体19内腔设有活塞20，所述活塞20底部固定设有推拉杆21，且所述推拉杆21底端与升降板10固定连接，
向下抽推拉杆21可以对真空腔3内腔进行吸气，向上推推拉杆21可以对真空腔3内腔进行吹气。
[0023]本技术工作原理：通过电动伸缩杆9可以控制升降板10升降，升降板10升降可以控制抽气组件11对真空腔内腔进行吹气或吸气，抽气组件11对真空腔3内腔进行吸气即可利用负压对放置在盘体2顶部的晶圆进行吸附固定，反之抽气组件11对真空腔3内腔进行吹气即可取下晶圆，通过转动把手18旋转螺纹杆15可以控制驱动螺套16左右移动，驱动螺套16可以通过滑杆17带动夹板7左右移动，夹板7可以对不同尺寸的晶圆进行二次夹持固定。
[0024]以上为本技术较佳的实施方式，本技术所属领域的技术人员还能够对上述实施方式进行变更和修改，因此，本技术并不局限于上述的具体实施方式，凡是本领域技术人员在本技术的基础上所作的任何显而易见的改进、替换或变型均属于本实用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种涂胶显影机用晶圆吸盘，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)顶部固定设有盘体(2)，所述盘体(2)内腔开设有真空腔(3)与安装腔(4)，所述真空腔(3)上方位于盘体(2)顶部固定设有橡胶吸嘴(5)，所述安装腔(4)内腔设有驱动机构(6)，所述驱动机构(6)顶部固定连接有夹板(7)，所述盘体(2)顶部对称开始有导向滑槽(8)，所述底座(1)内腔底部固定设有电动伸缩杆(9)，所述电动伸缩杆(9)顶部固定设有升降板(10)，所述升降板(10)顶部等距固定设有抽气组件(11)。2.根据权利要求1所述的一种涂胶显影机用晶圆吸盘，其特征在于，所述底座(1)包括底板(12)，所述底板(12)顶部固定设有防护罩(13)，所述底板(12)上位于其四角处开设有固定孔(14)。3.根据权利要求2所述的一种涂胶显影机用晶圆吸盘，其特征在于，所述驱动机构(6)包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺武峰，吴想，
申请(专利权)人：江西维易尔半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：