治具平台、柔性显示组件的转移方法以及剥离转移系统技术方案

本申请公开一种治具平台、柔性显示组件的转移方法以及剥离转移系统。治具平台包括治具平台本体和单向阀，所述治具平台本体具有相对设置的第一表面和第二表面。第一表面用于放置柔性显示组件。治具平台本体上设有至少一个气体通道。气体通道包括相连接的第一腔体和第二腔体。第一腔体和第一表面连通。单向阀设置在第一腔体和第二腔体之间。其中，提高第二腔体的真空度时，单向阀打开，治具平台本体用于吸附柔性显示组件；降低第二腔体的真空度时，单向阀关闭，第一腔体内保持负压，治具平台继续吸附柔性显示组件。本申请能确保搬运过程中柔性显示器件和硬质基板不会发生脱落和相对移位，从而平稳地转移柔性显示组件。从而平稳地转移柔性显示组件。从而平稳地转移柔性显示组件。

【技术实现步骤摘要】
治具平台、柔性显示组件的转移方法以及剥离转移系统


[0001]本申请涉及显示
，具体涉及一种治具平台、柔性显示组件的转移方法以及剥离转移系统。

技术介绍

[0002]近几年，柔性显示(Flexible Display)和可折叠显示(Foldable Display)技术发展迅猛，是国内外高校以及研究所关注的重点，也是显示企业、终端厂商等争相布局的关键技术。目前，柔性显示产品主要是采用S2S(sheet to sheet，片对片)生产工艺，以玻璃等硬质基板为载体，结合柔性衬底贴附取下或玻璃薄化等方法进行制备。其中，贴附取下是先将柔性衬底贴附在硬质基板上制备柔性显示器件，制备完柔性显示器件之后再剥离硬质基板，取出柔性显示器件。这种方法不影响显示器件的制作精度，且制作设备和工艺与制作传统的液晶显示器相仿，不必做太大的调整，因此短期内更接近于量产应用。另一种，玻璃薄化的方式对薄化工艺要求非常高，生产良率有待提高。
[0003]其中，贴附取下的工艺常采用激光剥离技术(Laser Lift
‑
Off,LLO)，即利用激光直接作用在柔性衬底与硬质基板的界面处，通过高能激光破坏柔性衬底与硬质基板的结合力，从而使硬质基板和柔性显示器件分离。但是，由于激光扫描后柔性衬底与硬质基板的接触界面碳化产生许多微小颗粒，为了保持LLO工作腔的洁净度，此时不适合将硬质基板剥离。然而，将已分离的柔性显示器件和硬质基板进行转移时，硬质基板和柔性显示器件易发生脱落或不可控的相对位移，导致产品良率下降。

技术实现思路

[0004]本申请提供一种治具平台、柔性显示组件的转移方法以及剥离转移系统，以解决现有技术中将硬质基板和柔性显示器件已分离的柔性显示组件进行转移时，硬质基板和柔性显示器件易发生脱落或不可控的相对位移，导致产品良率下降的技术问题。
[0005]本申请提供一种治具平台，其包括治具平台本体，所述治具平台本体具有相对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面用于放置柔性显示组件，所述治具平台本体上设有至少一个气体通道，所述气体通道包括相连接的第一腔体和第二腔体，所述第一腔体和所述第一表面连通；以及
[0006]单向阀，所述单向阀设置在所述第一腔体和所述第二腔体之间；
[0007]其中，提高所述第二腔体的真空度时，所述单向阀打开，所述第一腔体和所述第二腔体连通，所述治具平台用于吸附所述柔性显示组件；
[0008]降低所述第二腔体的真空度时，所述单向阀关闭，所述第一腔体内保持负压，所述治具平台继续吸附所述柔性显示组件。
[0009]可选的，在本申请一些实施例中，所述第一腔体和所述第二腔体共轴设置，所述第二腔体与所述第二表面连通。
[0010]可选的，在本申请一些实施例中，所述第二腔体位于所述治具平台内，所述治具平
台上设有至少一抽气口，所述抽气口与所述第二腔体连通，所述抽气口用于对所述第二腔体抽气。
[0011]可选的，在本申请一些实施例中，所述气体通道设置有多个，多个所述气体通道阵列排布，且多个所述气体通道的孔径相同。
[0012]相应的，本申请还提供一种柔性显示组件的转移方法，其包括：
[0013]将柔性显示组件放置于上述任一项所述的治具平台的第一表面上，所述柔性显示组件包括叠层设置的柔性显示器件和硬质基板，所述柔性显示器件朝向所述第一表面；
[0014]利用所述治具平台吸附所述柔性显示组件；
[0015]对所述硬质基板与所述柔性显示器件进行预剥离处理；
[0016]转移吸附有所述柔性显示组件的所述治具平台。
[0017]可选的，在本申请一些实施例中，所述利用所述治具平台吸附所述柔性显示组件的步骤具体为：
[0018]提高所述第二腔体的真空度，以打开所述单向阀，并使所述治具平台吸附所述柔性显示组件；
[0019]可选的，在本申请一些实施例中，所述通过所述第一剥离平台将所述硬质基板与所述柔性显示器件分离的步骤后还包括：
[0020]降低所述第二腔体的真空度，所述单向阀关闭，所述第一腔体内保持负压，所述第一剥离平台与所述治具平台分离，所述治具平台与所述柔性显示组件保持吸附。
[0021]可选的，在本申请一些实施例中，当所述第二腔体的真空度大于或等于第一真空度时，所述单向阀打开，并用于控制气体从所述第一腔体通入至所述第二腔体；
[0022]当所述第二腔体的真空度小于第一真空度时，所述单向阀关闭；
[0023]其中，所述第一真空度为65千帕至75千帕。
[0024]可选的，在本申请一些实施例中，所述治具平台上设有与所述第二腔体连通的抽气口，所述利用所述治具平台吸附所述柔性显示组件的步骤具体为：
[0025]通过所述抽气口对所述气体通道进行抽真空操作，提高所述第二腔体的真空度，以打开所述单向阀，所述治具平台吸附所述柔性显示组件；
[0026]通过所述抽气口向所述气体通道注入空气，降低所述第二腔体的真空度，所述单向阀关闭，所述第一腔体内保持负压，并使所述治具平台与所述柔性显示组件保持吸附。
[0027]本申请还提供一种柔性显示组件的剥离转移系统，其包括：
[0028]上述任一项所述的治具平台，用于放置柔性显示组件，所述柔性显示组件包括叠层设置的柔性显示器件和硬质基板，所述柔性显示器件朝向所述第一表面；
[0029]第一剥离平台，用于放置所述治具平台，所述治具平台的第二表面与所述第一剥离平台贴合；
[0030]激光扫描组件，用于对所述柔性显示器件和所述硬质基板之间的界面进行激光扫描处理；
[0031]第二剥离平台，用于承载经所述第一剥离平台转移的所述治具平台和所述柔性显示组件，还用于对经过激光扫描处理的柔性显示组件进行机械剥离处理，以将所述柔性显示器件和所述硬质基板分离。
[0032]本申请提供一种治具平台、柔性显示组件的转移方法以及剥离转移系统，在不设
置粘结层或过程保护膜的情况下，可以利用治具平台吸附柔性显示组件。由于治具平台可循环利用，从而可以降低生产成本。同时，在柔性显示组件中的硬质基板和柔性显示器件分离后，利用治具平台将仍与其吸附贴合的柔性显示组件从第一剥离平台转移至第二剥离平台。则治具平台作为柔性显示组件的载体能确保搬运过程中柔性显示器件和硬质基板不会发生脱落和相对移位，从而平稳地转移柔性显示组件。
附图说明
[0033]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0034]图1是本申请提供的治具平台和柔性显示组件的第一结构示意图；
[0035]图2是图1所示的治具平台的俯视示意图；
[0036]图3是图2所示的治具平台沿XX
’
处的第一剖面结构示意图；...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种治具平台，其特征在于，所述治具平台包括：治具平台本体，所述治具平台本体具有相对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面用于放置柔性显示组件，所述治具平台本体上设有至少一个气体通道，所述气体通道包括相连接的第一腔体和第二腔体，所述第一腔体和所述第一表面连通；以及单向阀，所述单向阀设置在所述第一腔体和所述第二腔体之间；其中，提高所述第二腔体的真空度时，所述单向阀打开，所述第一腔体和所述第二腔体连通，所述治具平台本体用于吸附所述柔性显示组件；降低所述第二腔体的真空度时，所述单向阀关闭，所述第一腔体内保持负压，所述治具平台本体继续吸附所述柔性显示组件。2.根据权利要求1所述的治具平台，其特征在于，所述第一腔体和所述第二腔体共轴设置，所述第二腔体与所述第二表面连通。3.根据权利要求1所述的治具平台，其特征在于，所述第二腔体位于所述治具平台内，所述治具平台上设有至少一抽气口，所述抽气口与所述第二腔体连通，所述抽气口用于对所述第二腔体抽气。4.根据权利要求1所述的治具平台，其特征在于，所述气体通道设置有多个，多个所述气体通道阵列排布，且多个所述气体通道的孔径相同。5.一种柔性显示组件的转移方法，其特征在于，包括：将柔性显示组件放置于如权利要求1
‑
4任一项所述的治具平台的第一表面上，所述柔性显示组件包括叠层设置的柔性显示器件和硬质基板，所述柔性显示器件朝向所述第一表面；利用所述治具平台吸附所述柔性显示组件；对所述硬质基板与所述柔性显示器件进行预剥离处理；转移吸附有所述柔性显示组件的所述治具平台。6.根据权利要求5所述的柔性显示组件的转移方法，其特征在于，所述利用所述治具平台吸附所述柔性显示组件的步骤具体为：提高所述第二腔体的真空度，以打开所述单向阀，并使所述治具平台吸附所述柔性显示组...

【专利技术属性】
技术研发人员：桓思恒，高卓，
申请(专利权)人：广东聚华印刷显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：