一种防止胶吸入的匀胶机托盘制造技术

本发明专利技术涉及匀胶机设备领域，尤其涉及一种防止胶吸入的匀胶机托盘

【技术实现步骤摘要】
一种防止胶吸入的匀胶机托盘


[0001]本专利技术涉及匀胶机设备领域，尤其涉及一种防止胶吸入的匀胶机托盘
。

技术介绍

[0002]匀胶机是一种利用离心力使得滴在基片上的胶均匀涂覆在基片上的设备
。
[0003]专利公开号
CN203725340U
公开了一种防止胶吸入的匀胶机托盘，包括：硅片承片台
、
真空吸片结构和位于真空吸片结构上的吸口保护结构；所述硅片承片台的上端设有硅片承载平面
、
中间开设有一凹进的储胶槽，在所述储胶槽的中间设有一凸台；所述真空吸片结构包括：上端和真空吸片口，所述上端位于所述凸台内，所述真空吸片口位于所述上端的顶部；所述吸口保护结构位于所述凸台的顶端
。
该装置通过储胶槽和改变真空气流方向来放置胶被吸入真空吸附口中，仍然无法有效的保证胶不会顺着基片边缘流入真空吸附口
。
[0004]因此，我们亟需设计一种能够有效防止胶进入真空吸附口的防止胶吸入的匀胶机托盘
。

技术实现思路

[0005]为了克服现有技术通过储胶槽和改变真空气流方向来放置胶被吸入真空吸附口中，仍然无法有效的保证胶不会顺着基片边缘流入真空吸附口的缺点，本专利技术的技术问题为：提供一种能够有效防止胶进入真空吸附口的防止胶吸入的匀胶机托盘
。
[0006]技术方案：一种防止胶吸入的匀胶机托盘，包括有匀胶机
、
托盘
、
真空吸附件
、
封闭机构和阻挡机构，匀胶机顶部连接有托盘，托盘内连接有真空吸附件，真空吸附件上连接有封闭机构和阻挡机构
。
[0007]此外，特别优选的是，封闭机构包括有第一气筒
、
第一导气管
、
膨胀气块
、
第一压簧
、
第一挡块
、
滑杆和第二压簧，真空吸附件下部左右两侧均连接有第一气筒，第一气筒上均连通有第一导气管，真空吸附件上部连接有膨胀气块，第一导气管均与膨胀气块连通，第一气筒上部均绕有第一压簧，真空吸附件上部内侧滑动式连接有第一挡块，第一挡块左右两侧均连接有滑杆，滑杆均与真空吸附件滑动式连接，滑杆上均绕有第二压簧，第二压簧两端分别与滑杆和真空吸附件连接
。
[0008]此外，特别优选的是，阻挡机构包括有安装板架
、
伸缩组件
、
甩块
、
第二挡块
、
导向杆和环形限流块，真空吸附件前后两侧和左右两侧上部均连接有安装板架，安装板架上均连接有伸缩组件，伸缩组件外侧均连接有甩块，安装板架外侧均滑动式连接有两根导向杆，同侧的两根导向杆上均连接有第二挡块，四个第二挡块外侧之间连接有环形限流块
。
[0009]此外，特别优选的是，甩块左上侧面为斜面，顶面为平面，第二挡块右下侧面为斜面，底面为平面
。
[0010]此外，特别优选的是，还包括有限位机构，限位机构包括有支撑架
、
推架
、
限位架和第一扭簧，安装板架外侧均连接有支撑架，支撑架上部均转动式连接有限位架，限位架上均绕有第一扭簧，第一扭簧两端分别与限位架和支撑架连接，环形限流块底部左右两侧和前
后两侧均连接有推架，推架分别与同侧的限位架配合
。
[0011]此外，特别优选的是，还包括有吹离结构，吹离机构包括有气泵
、
第二导气管和喷架，托盘外部右侧连接有气泵，气泵上连通有第二导气管，托盘内底部连接有喷架，第二导气管穿过托盘与喷架连通
。
[0012]此外，特别优选的是，还包括有定点机构，定点机构包括有转动架
、
卡块
、
拉簧
、
定位块和第二扭簧，托盘上左右两侧均滑动式连接有卡块，卡块上均绕有拉簧，拉簧两端分别与卡块和托盘连接，托盘内左右两侧均转动式连接有转动架，转动架内侧均连接有定位块，转动架均与托盘之间连接有第二扭簧
。
[0013]此外，特别优选的是，还包括有压固机构，压固机构包括有挤压筒
、
第三导气管和第二气筒，托盘前部左侧和左部均连接有挤压筒，转动架上均连接有第二气筒，第二气筒分别与相近的挤压筒上连通有第三导气管
。
[0014]本专利技术的优点在于：
1、
本专利技术通过封闭机构和阻挡机构，对基片底部进行双重防护，有效的防止基片边缘的胶渗入真空吸附件；
[0015]2、
限位架转动至竖直状态对基片进行限位，防止基片与真空吸附件脱离；
[0016]3、
通过气体形成的风墙对离心力甩出的胶点进行阻挡，防止胶点飞溅在真空吸附件上；
[0017]4、
两个定位块合拢起到定位的作用，方便人们能够准确的在基片中心位置进行滴胶；
[0018]5、
挤压筒通过第三导气管令第二气筒出气，对基片进行气压，使得基片在真空抽气时能紧紧贴靠在真空吸附件上，有效防止基片与真空吸附件之间存在缝隙导致胶渗入
。
附图说明
[0019]图1为本专利技术的第一种部分立体结构示意图
。
[0020]图2为本专利技术的第二种部分立体结构示意图
。
[0021]图3为本专利技术的封闭机构第一种部分立体结构示意图
。
[0022]图4为本专利技术的封闭机构第二种部分立体结构示意图
。
[0023]图5为本专利技术的封闭机构第三种部分立体结构示意图
。
[0024]图6为本专利技术的阻挡机构立体结构示意图
。
[0025]图7为本专利技术的限位机构第一种部分立体结构示意图
。
[0026]图8为本专利技术的限位机构第二种部分立体结构示意图
。
[0027]图9为本专利技术的吹离结构立体结构示意图
。
[0028]图
10
为本专利技术的定点机构第一种部分立体结构示意图
。
[0029]图
11
为本专利技术的定点机构第二种部分立体结构示意图
。
[0030]图
12
为本专利技术的压固机构立体结构示意图
。
[0031]在图中：
1、
匀胶机，
11、
托盘，
12、
真空吸附件，
2、
封闭机构，
21、
第一气筒，
22、
第一导气管，
23、
膨胀气块，
24、
第一压簧，
25、
第一挡块，
26、
滑杆，
27、
第二压簧，
3、
阻挡机构，
31、
安装板架，
32、
伸缩组件，
33、
甩块，
34、
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种防止胶吸入的匀胶机托盘，其特征是，包括有匀胶机
(1)、
托盘
(11)、
真空吸附件
(12)、
封闭机构
(2)
和阻挡机构
(3)
，匀胶机
(1)
顶部连接有托盘
(11)
，托盘
(11)
内连接有真空吸附件
(12)
，真空吸附件
(12)
上连接有封闭机构
(2)
和阻挡机构
(3)。2.
如权利要求1所述的一种防止胶吸入的匀胶机托盘，其特征是，封闭机构
(2)
包括有第一气筒
(21)、
第一导气管
(22)、
膨胀气块
(23)、
第一压簧
(24)、
第一挡块
(25)、
滑杆
(26)
和第二压簧
(27)
，真空吸附件
(12)
下部左右两侧均连接有第一气筒
(21)
，第一气筒
(21)
上均连通有第一导气管
(22)
，真空吸附件
(12)
上部连接有膨胀气块
(23)
，第一导气管
(22)
均与膨胀气块
(23)
连通，第一气筒
(21)
上部均绕有第一压簧
(24)
，真空吸附件
(12)
上部内侧滑动式连接有第一挡块
(25)
，第一挡块
(25)
左右两侧均连接有滑杆
(26)
，滑杆
(26)
均与真空吸附件
(12)
滑动式连接，滑杆
(26)
上均绕有第二压簧
(27)
，第二压簧
(27)
两端分别与滑杆
(26)
和真空吸附件
(12)
连接
。3.
如权利要求2所述的一种防止胶吸入的匀胶机托盘，其特征是，阻挡机构
(3)
包括有安装板架
(31)、
伸缩组件
(32)、
甩块
(33)、
第二挡块
(34)、
导向杆
(35)
和环形限流块
(36)
，真空吸附件
(12)
前后两侧和左右两侧上部均连接有安装板架
(31)
，安装板架
(31)
上均连接有伸缩组件
(32)
，伸缩组件
(32)
外侧均连接有甩块
(33)
，安装板架
(31)
外侧均滑动式连接有两根导向杆
(35)
，同侧的两根导向杆
(35)
上均连接有第二挡块
(34)
，四个第二挡块
(34)
外侧之间连接有环形限流块
(36)。4.
如权利要求3所述的一种防止胶吸入的匀胶机托盘，其特征是，甩块
(33)
左上侧面为斜面，顶面为平面，第二挡块
(34)
右下侧面为斜面，底面为平面
。5.
如权利要求4所述的一种防...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨炉发，吴想，
申请(专利权)人：江西维易尔半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：