一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及显影机技术领域，尤其涉及一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置。本发明专利技术提供一种水在循环冷却时效果稳定的用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置。一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置，包括有：框体和热处理模块，框体上部内侧安装有热处理模块；I型导管，框体上部左前侧和右后侧均连接有I型导管；Z型导管，框体右部后上侧连接有Z型导管。第一活塞杆挤压冷却水箱左部的水，水流经连接管、I型导管、Z型导管、L型导管和冷凝管，再重新进入冷却水箱右部，实现水循环对热处理模块进行降温散热，并齿杆通过齿轮带动冷凝管转动，调节冷凝管与热处理模块的接触面，使得水在循环冷却时效果稳定。环冷却时效果稳定。环冷却时效果稳定。

【技术实现步骤摘要】
一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置


[0001]本专利技术涉及显影机
，尤其涉及一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置。

技术介绍

[0002]涂胶显影机一般包括1个匀胶模块、1个显影模块、2个热处理模块，可实现半自动匀胶、显影及烘烤工艺操作。而涂胶显影机中热处理模块的控制对晶圆的显影效果和成品率均具有较大的影响。热处理模块在运行时，自身也需要进行冷却散热，提高热处理模块的使用寿命和工作效率。目前，现有技术一般是通过设置供水流通的容器与热处理模块紧贴，利用水循环实现对热处理模块进行冷却，但是，由于容器的接触面一直紧贴热处理模块，因此会使容器的接触面温度升高，导致水需要对容器进行降温，再通过容器对热处理模块进行降温，致使冷却效果降低。
[0003]如何设计一种水在循环冷却时效果稳定的用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置是本专利需要解决的技术问题。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术由于容器的接触面一直紧贴热处理模块，因此会使容器的接触面温度升高，导致冷却液需要对容器进行降温，再通过容器对热处理模块进行降温，致使冷却效果降低的缺点，要解决的技术问题为：提供一种水在循环冷却时效果稳定的用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置。
[0005]本专利技术的技术方案为：一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置，包括有：
[0006]框体和热处理模块，框体上部内侧安装有热处理模块；
[0007]I型导管，框体上部左前侧和右后侧均连接有I型导管；
[0008]Z型导管，框体右部后上侧连接有Z型导管；
[0009]L型导管，框体左部后上侧连接有L型导管；
[0010]冷凝管，L型导管右部与前侧的I型导管左部之间转动式连通有冷凝管，I型导管之间转动式连通有冷凝管，后侧的I型导管右部与Z型导管前部之间转动式连通有冷凝管，冷凝管均与热处理模块接触；
[0011]循环机构，框体后侧设有用于通过水循环对热处理模块进行降温散热的循环机构；
[0012]旋转机构，循环机构与Z型导管和L型导管连通，框体上部设有用于水在循环冷却时效果稳定的旋转机构。
[0013]优选的是，循环机构包括有：
[0014]冷却水箱，框体后侧安装有冷却水箱；
[0015]气缸，冷却水箱左侧安装有气缸；
[0016]第一活塞杆，冷却水箱顶部左侧滑动式连接有第一活塞杆，第一活塞杆顶部与气
缸伸缩杆连接；
[0017]连接管，冷却水箱底部左侧与L型导管之间连通有连接管，冷却水箱顶部右侧与Z型导管之间连通有连接管；
[0018]挡板，冷却水箱中间滑动式连接有挡板；
[0019]管道，冷却水箱顶部左侧连通有管道，冷却水箱对水进行冷却，气缸驱动第一活塞杆进行升降，第一活塞杆向下移动挤压冷却水箱左部的水，水流经连接管、I型导管、Z型导管、L型导管和冷凝管，水通过冷凝管对热处理模块进行降温散热。
[0020]优选的是，旋转机构包括有：
[0021]齿轮，冷凝管后部均连接有齿轮；
[0022]齿杆，框体后部右上侧滑动式连接有齿杆，齿杆与齿轮啮合；
[0023]把手，齿杆右侧连接有把手，通过把手手动左右移动齿杆，齿杆通过齿轮带动冷凝管转动，调节冷凝管与热处理模块的接触面。
[0024]优选的是，还包括有用于加快冷却水箱右部的水流至冷却水箱左部的推动机构，推动机构包括有：
[0025]第二活塞杆，冷却水箱顶部左侧滑动式连接有用于挤压冷却水箱右部的水流至冷却水箱左部的第二活塞杆，右侧的连接管下部穿过第二活塞杆下部；
[0026]第一拉伸弹簧，第二活塞杆上部与冷却水箱顶部之间连接有第一拉伸弹簧，第一拉伸弹簧套在第二活塞杆上部；
[0027]导向轮，框体后壁上侧连接有两个导向轮；
[0028]拉绳，第一活塞杆顶部与第二活塞杆顶部之间连接有拉绳，拉绳绕在两个导向轮上，第一活塞杆向上移动，拉绳被放松，在第一拉伸弹簧复位的作用下带动第二活塞杆向下移动，第二活塞杆挤压冷却水箱右部的水流至冷却水箱左部。
[0029]优选的是，还包括有用于冷凝管对热处理模块进行均衡降温的震动机构，震动机构包括有：
[0030]震动杆，框体上部后侧滑动式连接有用于敲击后侧的I型导管、Z型导管和L型导管的震动杆，震动杆为横向排列，左侧的震动杆顶部与L型导管接触，中间的震动杆顶部与后侧的I型导管接触，右侧的震动杆顶部与Z型导管接触；
[0031]第一压缩弹簧，震动杆上部均与框体之间连接有第一压缩弹簧，第一压缩弹簧套在震动杆上；
[0032]连接板，震动杆底部之间连接有连接板；
[0033]滑杆，框体后部右上侧滑动式连接有滑杆，滑杆位于齿杆的下侧，滑杆右侧与把手连接，滑杆和连接板上都均匀间隔连接有凸块，滑杆上的凸块左右移动与连接板上的凸块接触，把手带动滑杆左右移动，滑杆上的凸块与连接板上的凸块配合，在第一压缩弹簧复位的作用下带动震动杆向上移动敲击I型导管、Z型导管和后侧的L型导管，I型导管、Z型导管和后侧的L型导管震动混合内部的水。
[0034]优选的是，还包括有用于加快水的冷却的混合机构，混合机构包括有：
[0035]电机，冷却水箱底部右侧安装有电机；
[0036]混合杆，冷却水箱底部左右两侧均转动式连接有用于混合冷却水箱内的水的混合杆，右侧的混合杆下端与电机的输出轴通过联轴器连接；
[0037]传动带，混合杆下部通过传动轮绕有传动带。
[0038]优选的是，还包括有用于实现挡板自动向上移动进行放水的带动机构，带动机构包括有：
[0039]固定斜块，挡板左壁上侧连接有固定斜块；
[0040]凸杆，框体后壁中部连接有凸杆；
[0041]固定直杆，第一活塞杆上部右侧连接有固定直杆；
[0042]限位板，固定直杆右部滑动式连接有限位板，限位板右侧为弧形设置，限位板向上移动与凸杆接触，限位板位于固定斜块下侧；
[0043]第二压缩弹簧，限位板左部与固定直杆右侧之间连接有两个第二压缩弹簧，两个第二压缩弹簧为前后对称设置，第二压缩弹簧套在限位板上；
[0044]第二拉伸弹簧，固定斜块底部与冷却水箱顶部之间连接有第二拉伸弹簧，第一活塞杆带动固定直杆和限位板向上移动，限位板通过固定斜块带动挡板向上移动，挡板自动向上移动进行放水。
[0045]优选的是，凸杆后部呈三角形状，用于向左挤压限位板。
[0046]本专利技术的优点是：第一活塞杆挤压冷却水箱左部的水，水流经连接管、I型导管、Z型导管、L型导管和冷凝管，再重新进入冷却水箱右部，实现水循环对热处理模块进行降温散热，并齿杆通过齿轮带动冷凝管转动，调节冷凝管与热处理模块的接触面，使得水在循环冷却时效果稳定；第二活塞杆挤压冷却水箱右部的水，从而加快冷却水箱右部的水流至冷却水箱左部，缩短水循环的时间，提高冷却效率；震动杆敲击I型导管、Z型导管和后侧的L型导管，I型导管、Z型导管和后本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置，其特征在于：包括有：框体(1)和热处理模块(2)，框体(1)上部内侧安装有热处理模块(2)；I型导管(3)，框体(1)上部左前侧和右后侧均连接有I型导管(3)；Z型导管(4)，框体(1)右部后上侧连接有Z型导管(4)；L型导管(5)，框体(1)左部后上侧连接有L型导管(5)；冷凝管(6)，L型导管(5)右部与前侧的I型导管(3)左部之间转动式连通有冷凝管(6)，I型导管(3)之间转动式连通有冷凝管(6)，后侧的I型导管(3)右部与Z型导管(4)前部之间转动式连通有冷凝管(6)，冷凝管(6)均与热处理模块(2)接触；循环机构(7)，框体(1)后侧设有用于通过水循环对热处理模块(2)进行降温散热的循环机构(7)；旋转机构(8)，循环机构(7)与Z型导管(4)和L型导管(5)连通，框体(1)上部设有用于水在循环冷却时效果稳定的旋转机构(8)。2.如权利要求1所述的一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置，其特征在于：循环机构(7)包括有：冷却水箱(71)，框体(1)后侧安装有冷却水箱(71)；气缸(72)，冷却水箱(71)左侧安装有气缸(72)；第一活塞杆(73)，冷却水箱(71)顶部左侧滑动式连接有第一活塞杆(73)，第一活塞杆(73)顶部与气缸(72)伸缩杆连接；连接管(74)，冷却水箱(71)底部左侧与L型导管(5)之间连通有连接管(74)，冷却水箱(71)顶部右侧与Z型导管(4)之间连通有连接管(74)；挡板(75)，冷却水箱(71)中间滑动式连接有挡板(75)；管道(76)，冷却水箱(71)顶部左侧连通有管道(76)，冷却水箱(71)对水进行冷却，气缸(72)驱动第一活塞杆(73)进行升降，第一活塞杆(73)向下移动挤压冷却水箱(71)左部的水，水流经连接管(74)、I型导管(3)、Z型导管(4)、L型导管(5)和冷凝管(6)，水通过冷凝管(6)对热处理模块(2)进行降温散热。3.如权利要求1所述的一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置，其特征在于：旋转机构(8)包括有：齿轮(81)，冷凝管(6)后部均连接有齿轮(81)；齿杆(82)，框体(1)后部右上侧滑动式连接有齿杆(82)，齿杆(82)与齿轮(81)啮合；把手(83)，齿杆(82)右侧连接有把手(83)，通过把手(83)手动左右移动齿杆(82)，齿杆(82)通过齿轮(81)带动冷凝管(6)转动，调节冷凝管(6)与热处理模块(2)的接触面。4.如权利要求2所述的一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置，其特征在于：还包括有用于加快冷却水箱(71)右部的水流至冷却水箱(71)左部的推动机构(9)，推动机构(9)包括有：第二活塞杆(91)，冷却水箱(71)顶部左侧滑动式连接有用于挤压冷却水箱(71)右部的水流至冷却水箱(71)左部的第二活塞杆(91)，右侧的连接管(74)下部穿过第二活塞杆(91)下部；第一拉伸弹簧(92)，第二活塞杆(91)上部与冷却水箱(71)顶部之间连接有第一拉伸弹簧(92)，第一拉伸弹簧(92)套在第二活塞杆(91)上部；
导向轮(94)，框体(1)后壁上侧连接有两个导向轮(94)；拉绳(93)，第一活塞杆(73)顶部与第二活塞杆(91)顶部之间连接有拉绳(93)，拉绳(93)绕在两个导向轮(94)上，第一活塞杆(73)向上移动，拉绳(93)被放松，在第一拉伸弹簧(92)复位的作用下带动第二活塞杆(91)向下移动，第二活塞杆(9...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺武峰，吴想，
申请(专利权)人：江西维易尔半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：