一种具有退火功能的匀胶机制造技术

本发明专利技术涉及一种匀胶机，尤其涉及一种具有退火功能的匀胶机

【技术实现步骤摘要】
一种具有退火功能的匀胶机


[0001]本专利技术涉及一种匀胶机，尤其涉及一种具有退火功能的匀胶机
。

技术介绍

[0002]匀胶机主要用于制作薄膜，薄膜制作时，需要将溶液旋涂至衬底片上，然后再对衬底片上的溶液进行退火和冷却
。
[0003]专利公告号为
CN209580253U
的专利，公开了一种匀胶机，包括载片台，所述载片台上设有用于放置衬底片的圆盘，所述圆盘周向均匀设有用于将所述衬底片夹持固定的多个夹持杆，使用时，先将载玻片放在圆盘上，然后再往载玻片上滴胶，之后再驱动圆盘带动载玻片进行转动，使得溶胶均匀的覆盖在载玻片上，带载玻片上的溶胶干燥成膜后，再利用紫外灯载玻片上的膜进行加热退火，当退火结束后，再关闭紫外灯，然载玻片上的膜自然冷却至室温，之后再重复涂膜工作
。
[0004]上述专利的匀胶机进行制膜工艺的过程中，需要对载玻片上的膜进行冷却时，由于自然冷却的速度较慢，冷却的时间较长，因此整个制膜工艺的时长将会变长，从而影响制作效率，因此，现研发一种能够缩短冷却时间的具有退火功能的匀胶机
。

技术实现思路

[0005]为了克服现有技术对载玻片上的膜采用自然冷却的方法进行冷却，冷却速度的缺点，本专利技术提供一种能够缩短冷却时间的具有退火功能的匀胶机
。
[0006]一种具有退火功能的匀胶机，包括有匀胶机
、
防护罩
、
旋转件
、
加热器和承载台，匀胶机中部转动式连接有承载台，匀胶机后上侧通过阻尼套转动式连接有防护罩，防护罩后上部转动式连接有旋转件，防护罩内左壁连接有加热器，还包括有冷却机构和展开机构，防护罩上部设有冷却机构，防护罩内后壁设有展开机构
。
[0007]进一步的是，冷却机构包括有冷却器
、
连接件
、
喷气件
、
电机和皮带，防护罩上部连接有冷却器，冷却器中下侧转动式连接有连接件，连接件和冷却器连通，连接件上沿圆周方向转动式连接有四个喷气件，喷气件和连接件连通，冷却器右部连接有电机，电机输出轴和连接件上部之间通过传送轮绕卷有皮带
。
[0008]进一步的是，展开机构包括有顶出件
、
直线弹簧
、
限位件
、
挤压杆
、
压力弹簧和导向架，连接件上侧连接有挤压杆，防护罩内后壁上侧连接有导向架，导向架前部滑动式连接有顶出件，顶出件上侧和旋转件后下侧挤压配合，顶出件和导向架之间连接有直线弹簧，直线弹簧绕卷在顶出件上，导向架前上部滑动式连接有限位件，限位件后部插入顶出件上部，限位件前部和挤压杆挤压配合，限位件和导向架之间连接有压力弹簧，压力弹簧绕卷在限位件上
。
[0009]进一步的是，还包括有摆动机构，摆动机构包括有支撑架
、
挤压块和扭簧，防护罩内下部连接有支撑架，支撑架下侧沿圆周方向连接有多个挤压块，挤压块为尖嘴形状，挤压块和喷气件挤压配合，喷气件和连接件之间均连接有扭簧，扭簧均绕卷在连接件上
。
[0010]进一步的是，还包括有封闭机构，封闭机构包括有挤压架
、
下压架
、
限制架
、
复位弹簧
、
回位弹簧
、
拉伸弹簧和封闭件，防护罩下部滑动式连接有两个封闭件，两个封闭件呈左右两侧对称设置，封闭件和防护罩外侧之间均连接有拉伸弹簧，防护罩内前部滑动式连接有下压架，下压架下侧左右两部均朝向内下方倾斜设置，下压架下侧和封闭件挤压配合，下压架左右两部和防护罩之间均连接有复位弹簧，复位弹簧均绕卷在防护罩上，下压架后侧连接有挤压架，挤压架后上部为三角形，挤压架后上部和连接件配合，防护罩内前壁下侧中间开有卡槽，下压架中上部滑动式连接有限制架，限制架下部前侧被防护罩内前壁抵住，限制架下部和下压架之间连接有回位弹簧，回位弹簧绕卷在限制架下部
。
[0011]进一步的是，还包括有清洁机构，清洁机构包括有支撑件
、
清洁件
、
限制件和蓄力弹簧，承载台前后两侧均连接有支撑件，支撑件相互远离的一侧均卡接有清洁件，清洁件外侧和匀胶机内壁接触，支撑件上部均滑动式连接有限制件，限制件和支撑件之间均连接有蓄力弹簧，蓄力弹簧均绕卷在限制件上
。
[0012]进一步的是，还包括有吸附机构，吸附机构包括有支撑板
、
吸尘器
、
收集盒和吸气件，防护罩下部左右两侧中间均连接有支撑板，支撑板上侧均连接有吸尘器，吸尘器后侧均连接有吸气件，吸气件穿进防护罩内，吸气件和吸尘器连通，支撑板上侧也放置有收集盒，收集盒和相邻的吸尘器卡接，且收集盒和相邻的吸尘器连通
。
[0013]进一步的是，还包括有防护板，吸气件相互靠近的一侧均转动式连接有防护板
。
[0014]1、
本专利技术通过喷气件将冷风吹出，能够对载玻片上的膜进行冷却，如此能够加快载玻片上膜的冷却速度，同时通过顶出件上移动将旋转件顶开，能够自动将防护罩上侧打开，如此能够提高冷却效率
。
[0015]2、
本专利技术通过挤压块和扭簧之间的配合，能够扩大喷气件的冷却范围，从而提高冷却效果
。
[0016]3、
本专利技术通过封闭件向内侧移动，能够避免载玻片旋转时，将溶胶甩至喷气件上，防止喷气件出现堵塞现象，进而避免喷气件的冷却效果受到影响
。
[0017]4、
本专利技术通过清洁件进行转动，能够对附着在匀胶机内壁的溶胶进行清理，防止匀胶机附着有许多溶胶
。
[0018]5、
本专利技术通过吸尘器和吸气件之间的配合，能够对载玻片进行除尘处理，防止滴胶前，载玻片上附着有灰尘，进而提高涂膜效果
。
附图说明
[0019]图1为本专利技术的立体结构示意图
。
[0020]图2为本专利技术的部分立体结构剖面图
。
[0021]图3为本专利技术冷却机构的第一种立体结构示意图
。
[0022]图4为本专利技术冷却机构的第二种立体结构示意图
。
[0023]图5为本专利技术展开机构的第一视角立体结构示意图
。
[0024]图6为本专利技术展开机构的第二视角立体结构示意图
。
[0025]图7为本专利技术摆动机构的立体结构示意图
。
[0026]图8为本专利技术封闭机构的立体结构示意图
。
[0027]图9为本专利技术封闭机构的第一种部分立体结构示意图
。
[0028]图
10
为本专利技术封闭机构的第二种部分立体结构示意图
。
[0029]图
11
为本专利技术清洁机构的第一种立体结构示意图
。
[0030]图
12
为本专利技术清洁机构本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种具有退火功能的匀胶机，包括有匀胶机
(1)、
防护罩
(2)、
旋转件
(21)、
加热器
(22)
和承载台
(23)
，匀胶机
(1)
中部转动式连接有承载台
(23)
，匀胶机
(1)
后上侧通过阻尼套转动式连接有防护罩
(2)
，防护罩
(2)
后上部转动式连接有旋转件
(21)
，防护罩
(2)
内左壁连接有加热器
(22)
，其特征在于，还包括有冷却机构
(3)
和展开机构
(4)
，防护罩
(2)
上部设有冷却机构
(3)
，防护罩
(2)
内后壁设有展开机构
(4)。2.
如权利要求1所述的一种具有退火功能的匀胶机，其特征在于，冷却机构
(3)
包括有冷却器
(31)、
连接件
(32)、
喷气件
(33)、
电机
(34)
和皮带
(35)
，防护罩
(2)
上部连接有冷却器
(31)
，冷却器
(31)
中下侧转动式连接有连接件
(32)
，连接件
(32)
和冷却器
(31)
连通，连接件
(32)
上沿圆周方向转动式连接有四个喷气件
(33)
，喷气件
(33)
和连接件
(32)
连通，冷却器
(31)
右部连接有电机
(34)
，电机
(34)
输出轴和连接件
(32)
上部之间通过传送轮绕卷有皮带
(35)。3.
如权利要求2所述的一种具有退火功能的匀胶机，其特征在于，展开机构
(4)
包括有顶出件
(41)、
直线弹簧
(42)、
限位件
(43)、
挤压杆
(44)、
压力弹簧
(45)
和导向架
(46)
，连接件
(32)
上侧连接有挤压杆
(44)
，防护罩
(2)
内后壁上侧连接有导向架
(46)
，导向架
(46)
前部滑动式连接有顶出件
(41)
，顶出件
(41)
上侧和旋转件
(21)
后下侧挤压配合，顶出件
(41)
和导向架
(46)
之间连接有直线弹簧
(42)
，直线弹簧
(42)
绕卷在顶出件
(41)
上，导向架
(46)
前上部滑动式连接有限位件
(43)
，限位件
(43)
后部插入顶出件
(41)
上部，限位件
(43)
前部和挤压杆
(44)
挤压配合，限位件
(43)
和导向架
(46)
之间连接有压力弹簧
(45)
，压力弹簧
(45)
绕卷在限位件
(43)
上
。4.
如权利要求3所述的一种具有退火功能的匀胶机，其特征在于，还包括有摆动机构
(5)
，摆动机构
(5)
包括有支撑架
(51)、
挤压块
(52)
和扭簧
(53)
，防护罩
(2)
内下部连接有支撑架
(51)
，支撑架
(51)
下侧沿圆周方向连接有多个挤压块
(52)
，挤压块
(52)
为尖嘴形状，挤压块
(52)
和喷气件
(33)
挤压配合，喷气件
(33)
和连接件
(32)
之间均连接有扭簧
(53)
，扭簧
(53)
均绕卷在连接件
(32)
上
...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴想，杨炉发，
申请(专利权)人：江西维易尔半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：