本实用新型专利技术公开了一种匀胶显影机的冷却装置，包括底板，所述底板顶部固定连接有两个对应设置的侧板，所述侧板相对一侧设有安装组件，所述安装组件包括固定框、滑动槽、定位槽、定位条、压条，所述定位条固定连接有安装板，所述安装板上设有冷板，所述冷板上设有冷却通道，所述冷却通道两端分别连接进液口与出液口，所述进液口与出液口均通过连接组件连接有进液管与出液管，所述连接组件包括第一接头、第二接头、突出管、对应槽、密封垫、密封环，该匀胶显影机的冷却装置设置了安装组件，便于冷板的安装及拆卸，并且设置了连接组件，便于冷板与管道的分离，进一步方便冷板的安装与拆卸。进一步方便冷板的安装与拆卸。进一步方便冷板的安装与拆卸。
【技术实现步骤摘要】
一种匀胶显影机的冷却装置
[0001]本技术涉及一种匀胶显影机的冷却装置，属于显影机
技术介绍
[0002]匀胶显影机需要对曝光后烘干的硅片降温到23℃左右，匀胶显影机的冷却是通过冷板对硅片冷却，冷板上设置有冷却通道，该冷却通道连通冷却液供应系统，现有的匀胶显影机的冷却装置存在以下不足：1、冷板的安装板多是通过螺栓连接固定架，使其安装及拆卸不便；2、冷却通道与管道的连接结构安装拆卸不便，使得冷板的安装拆卸变得麻烦。
技术实现思路
[0003]本技术要解决的技术问题克服现有的缺陷，提供一种匀胶显影机的冷却装置，以解决上述
技术介绍
中的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]一种匀胶显影机的冷却装置，包括底板，所述底板顶部固定连接有两个对应设置的侧板，所述侧板相对一侧设有安装组件，所述安装组件包括固定框、滑动槽、定位槽、定位条、压条，所述定位条固定连接有安装板，所述安装板上设有冷板，所述冷板上设有冷却通道，所述冷却通道两端分别连接进液口与出液口，所述进液口与出液口均通过连接组件连接有进液管与出液管，所述连接组件包括第一接头、第二接头、突出管、对应槽、密封垫、密封环。
[0006]进一步的，所述滑动槽设于固定框上，所述定位槽设于滑动槽底部，所述定位条设于定位槽内，所述压条设于定位条上方，且所述压条设于滑动槽内，所述压条紧压定位条。
[0007]进一步的，所述定位条上设有定位孔，所述定位槽内与定位孔相对应的位置设有定位柱，所述定位柱活动连接定位孔。
[0008]进一步的，所述冷板顶部设有定位块，所述定位块内侧设有通孔，所述通孔设于冷板上。
[0009]进一步的，所述突出管与对应槽分别设于第一接头底部与第二接头顶部，所述突出管设于对应槽内。
[0010]进一步的，所述密封垫设于对应槽内，所述密封环设于第一接头与第二接头之间。
[0011]本技术的有益效果是：1、通过设置安装组件，其结构包括固定框、滑动槽、定位槽、定位条、压条，便于安装板的安装拆卸，使得冷板的更换及检修十分便利，有利于冷板的使用；
[0012]2、通过设置连接组件，其结构包括第一接头、第二接头、突出管、对应槽、密封垫、密封环，便于管道与冷板分离，在安装及拆卸冷板时更加的方便。
附图说明
[0013]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用
新型的具体实施方式一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。
[0014]图1是本技术一种匀胶显影机的冷却装置的外观图；
[0015]图2是本技术一种匀胶显影机的冷却装置的固定框的外观图；
[0016]图3是本技术一种匀胶显影机的冷却装置的定位条的外观图；
[0017]图4是本技术一种匀胶显影机的冷却装置的冷板的剖视图；
[0018]图5是本技术一种匀胶显影机的冷却装置的剖视图；
[0019]图6是本技术一种匀胶显影机的冷却装置的连接组件的结构示意图。
[0020]图中标号：1、底板；2、侧板；3、安装组件；4、固定框；5、滑动槽；6、定位槽；7、定位条；8、压条；9、安装板；10、冷板；11、冷却通道；12、进液口；13、出液口；14、连接组件；15、进液管；16、出液管；17、第一接头；18、第二接头；19、突出管；20、对应槽；21、密封垫；22、密封环；23、定位孔；24、定位柱；25、定位块；26、通孔。
具体实施方式
[0021]以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。
[0022]如图1
‑
图6所示，一种匀胶显影机的冷却装置，包括底板1，所述底板1顶部固定连接有两个对应设置的侧板2，所述侧板2相对一侧设有安装组件3，所述安装组件3包括固定框4、滑动槽5、定位槽6、定位条7、压条8，所述定位条7固定连接有安装板9，所述安装板9上设有冷板10，所述冷板10上设有冷却通道11，所述冷却通道11两端分别连接进液口12与出液口13，所述进液口12与出液口13均通过连接组件14连接有进液管15与出液管16，所述连接组件14包括第一接头17、第二接头18、突出管19、对应槽20、密封垫21、密封环22。
[0023]具体的，如图1所示，所述冷板10顶部设有定位块25，所述定位块25内侧设有通孔26，所述通孔26设于冷板10上。
[0024]具体的，如图2和图3所示，所述定位条7上设有定位孔23，所述定位槽6内与定位孔23相对应的位置设有定位柱24，所述定位柱24活动连接定位孔23。
[0025]具体的，如图2、图3、图5所示，所述滑动槽5设于固定框4上，所述定位槽6设于滑动槽5底部，所述定位条7设于定位槽6内，所述压条8设于定位条7上方，且所述压条8设于滑动槽5内，所述压条8紧压定位条7。
[0026]具体的，如图6所示，所述突出管19与对应槽20分别设于第一接头17底部与第二接头18顶部，所述突出管19设于对应槽20内，所述密封垫21设于对应槽20内，所述密封环22设于第一接头17与第二接头18之间。
[0027]本技术工作原理：在拆卸安装板9时，将安装组件3的压条8拉出滑动槽5，进而向上抬起安装板9，使定位条7离开定位槽6进入滑动槽5，与此同时，连接组件14的突出管19离开对应槽20，即可将安装板9连通冷板10拉出，即可完成冷板10的拆卸。
[0028]以上为本技术较佳的实施方式，本技术所属领域的技术人员还能够对上述实施方式进行变更和修改，因此，本技术并不局限于上述的具体实施方式，凡是本领域技术人员在本技术的基础上所作的任何显而易见的改进.替换或变型均属于本技术的保护范围。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种匀胶显影机的冷却装置，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)顶部固定连接有两个对应设置的侧板(2)，所述侧板(2)相对一侧设有安装组件(3)，所述安装组件(3)包括固定框(4)、滑动槽(5)、定位槽(6)、定位条(7)、压条(8)，所述定位条(7)固定连接有安装板(9)，所述安装板(9)上设有冷板(10)，所述冷板(10)上设有冷却通道(11)，所述冷却通道(11)两端分别连接进液口(12)与出液口(13)，所述进液口(12)与出液口(13)均通过连接组件(14)连接有进液管(15)与出液管(16)，所述连接组件(14)包括第一接头(17)、第二接头(18)、突出管(19)、对应槽(20)、密封垫(21)、密封环(22)。2.根据权利要求1所述的一种匀胶显影机的冷却装置，其特征在于：所述滑动槽(5)设于固定框(4)上，所述定位槽(6)设于滑动槽(5)底部，所述定位条(7)设于定位槽(6)内，所述压条(8)设于定...
【专利技术属性】
技术研发人员：贺武峰，吴想，
申请(专利权)人：江西维易尔半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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