【技术实现步骤摘要】
一种匀胶显影机的冷却装置
[0001]本技术涉及一种匀胶显影机的冷却装置，属于显影机
技术介绍
[0002]匀胶显影机需要对曝光后烘干的硅片降温到23℃左右，匀胶显影机的冷却是通过冷板对硅片冷却，冷板上设置有冷却通道，该冷却通道连通冷却液供应系统，现有的匀胶显影机的冷却装置存在以下不足：1、冷板的安装板多是通过螺栓连接固定架，使其安装及拆卸不便；2、冷却通道与管道的连接结构安装拆卸不便，使得冷板的安装拆卸变得麻烦。
技术实现思路
[0003]本技术要解决的技术问题克服现有的缺陷，提供一种匀胶显影机的冷却装置，以解决上述
技术介绍
中的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]一种匀胶显影机的冷却装置，包括底板，所述底板顶部固定连接有两个对应设置的侧板，所述侧板相对一侧设有安装组件，所述安装组件包括固定框、滑动槽、定位槽、定位条、压条，所述定位条固定连接有安装板，所述安装板上设有冷板，所述冷板上设有冷却通道，所述冷却通道两端分别连接进液口与出液口，所述进液口与出...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种匀胶显影机的冷却装置，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)顶部固定连接有两个对应设置的侧板(2)，所述侧板(2)相对一侧设有安装组件(3)，所述安装组件(3)包括固定框(4)、滑动槽(5)、定位槽(6)、定位条(7)、压条(8)，所述定位条(7)固定连接有安装板(9)，所述安装板(9)上设有冷板(10)，所述冷板(10)上设有冷却通道(11)，所述冷却通道(11)两端分别连接进液口(12)与出液口(13)，所述进液口(12)与出液口(13)均通过连接组件(14)连接有进液管(15)与出液管(16)，所述连接组件(14)包括第一接头(17)、第二接头(18)、突出管(19)、对应槽(20)、密封垫(21)、密封环(22)。2.根据权利要求1所述的一种匀胶显影机的冷却装置，其特征在于：所述滑动槽(5)设于固定框(4)上，所述定位槽(6)设于滑动槽(5)底部，所述定位条(7)设于定位槽(6)内，所述压条(8)设于定...
【专利技术属性】
技术研发人员：贺武峰，吴想，
申请(专利权)人：江西维易尔半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。