一种硅片匀胶机制造技术

本发明专利技术涉及匀胶设备技术领域，尤其涉及一种硅片匀胶机

【技术实现步骤摘要】
一种硅片匀胶机


[0001]本专利技术涉及匀胶设备
，尤其涉及一种硅片匀胶机
。

技术介绍

[0002]匀胶也叫旋转涂胶或者甩胶，是光刻工艺的基本步骤之一，在硅片气象成底膜处理后，需要马上通过旋转涂胶的方式在硅片表面涂上光刻胶
。
[0003]专利授权公告号为
CN105543977A
的专利公布了自动硅片匀胶机，该硅片匀胶机包括机柜
、
上料机构
、
涂胶机构
、
烘干机构
、
移片机构
、
下料机构
、
片篮和电气控系统，上料机构
、
下料机构分别固定于机柜的工作台长向两端并同一条中心线上，在工作台的同一条中心线上并上料机构和下料机构间，依次固定涂胶机构
、
烘干机构，移片机构固定工作台的下面，移片机构的载片位于涂胶机构
、
烘干机构的上方
。
该硅片匀胶机实现了自动上下料
、
涂胶
、
烘干等工艺流程，自动化高
。
但是该硅片匀胶机无法根据硅片的大小调节出胶的量，在旋转甩胶时，胶液容易拉丝，该硅片匀胶机也无法切断胶丝，导致匀胶效果不佳
。
[0004]为此，我们提出一种能够通过调节出胶量和切断胶丝来保证匀胶效果的硅片匀胶机
。

技术实现思路

[0005]为了克服现有的匀胶机无法根据硅片的大小调节出胶的量，也无法切断胶丝的缺点，本专利技术提供一种能够通过调节出胶量和切断胶丝来保证匀胶效果的硅片匀胶机
。
[0006]一种硅片匀胶机，包括有机壳
、
伺服电机
、
真空吸盘
、
控制机构和切断机构，机壳内下部的中部位置连接有伺服电机，伺服电机的输出轴上连接有真空吸盘，机壳后部设有用于往硅片上添加一定量胶液的控制机构，机壳与伺服电机之间设有用于切断甩出胶丝的切断机构
。
[0007]进一步的，控制机构包括有储蓄罐
、
定量管
、
下料管
、
活塞和第一丝杆，机壳后上部连接有储蓄罐，储蓄罐下侧连接有定量管，定量管与储蓄罐的相通处装有单向阀，定量管前侧上部连接有下料管，定量管内滑动式连接有活塞，活塞下部伸出定量管外，定量管下部通过螺纹连接有第一丝杆，活塞向下滑动与第一丝杆接触
。
[0008]进一步的，切断机构包括有第一齿轮
、
第二齿轮
、
齿圈
、
滑轨
、
切板和第二丝杆，伺服电机的输出轴上连接有第一齿轮，机壳内右后部转动式连接有第二齿轮，第二齿轮与第一齿轮啮合，机壳内上部转动式连接有齿圈，齿圈与第二齿轮啮合，齿圈后部连接有滑轨，滑轨内滑动式连接有切板，滑轨内转动式连接有第二丝杆，第二丝杆与切板通过螺纹连接
。
[0009]进一步的，还包括有用于刮除机壳内壁胶液的刮料机构，刮料机构包括有圆形轨
、
滑块和刮板，机壳上侧后部连接有圆形轨，圆形轨内滑动式连接有滑块，滑块上连接有刮板，刮板与机壳内壁贴合，切板转动与刮板接触
。
[0010]进一步的，还包括有用于对机壳进行减震的减震机构，减震机构包括有第一安装块
、
受力板
、
压块和第一弹性件，机壳左右两侧均连接有两个压块，压块上均滑动式连接有
受力板，左右两侧的受力板之间连接有第一安装块，受力板与相邻的压块之间均连接有第一弹性件
。
[0011]进一步的，还包括有用于将刮下的胶液排出的出料机构，出料机构包括有第二安装块
、
缓冲板
、
扭力弹簧
、
出料管和收集框，机壳内左侧连接有第二安装块，第二安装块上转动式连接有缓冲板，刮板转动与缓冲板接触，缓冲板与第二安装块之间连接有扭力弹簧，机壳左部连接有出料管，机壳左上部连接有收集框，出料管上侧与收集框连接
。
[0012]进一步的，还包括有用于防止下料管内部污染灰尘的防护机构，防护机构包括有压板
、
导轨
、
堵块
、
楔形块和第二弹性件，活塞下部连接有两个压板，下料管前侧下部连接有导轨，导轨内滑动式连接有堵块，堵块与下料管下侧贴合，堵块左右两侧均连接有楔形块，楔形块均与相邻的压板接触，堵块与导轨之间连接有第二弹性件
。
[0013]进一步的，活塞下部为弧形设置，以便进行抓握
。
[0014]本专利技术具有如下优点：
1、
通过调节第一丝杆的位置来控制活塞下移的距离，以实现根据硅片大小调节胶液抽取量的目的，而在甩胶时，切板往硅片相反的方向转动，通过切板将硅片上甩出的胶丝切断，避免影响匀胶效果
。
[0015]2、
刮板转动时能够对机壳内壁残留的胶液刮除，避免影响后续匀胶工作
。
[0016]3、
第一弹性件可进行形变和复位，使得压块带动机壳上下滑动，进而对机壳进行减震，以保证本装置运作的稳定性，进一步提高匀胶效果
。
[0017]4、
刮板转动刮下的胶液会落入收集框内，而刮板与缓冲板接触，通过缓冲板减缓刮板转动的速度，同时缓冲板也能将刮板上的胶液刮下
。
[0018]5、
堵块向后滑动堵住下料管，防止灰尘进入下料管内污染胶液
。
附图说明
[0019]图1为本专利技术的立体结构示意图
。
[0020]图2为本专利技术的部分剖视结构示意图
。
[0021]图3为本专利技术控制机构的立体结构示意图
。
[0022]图4为本专利技术控制机构的剖视结构示意图
。
[0023]图5为本专利技术切断机构的立体结构示意图
。
[0024]图6为本专利技术切断机构的部分立体结构示意图
。
[0025]图7为本专利技术刮料机构的立体结构示意图
。
[0026]图8为本专利技术减震机构的第一视角立体结构示意图
。
[0027]图9为本专利技术减震机构的第二视角立体结构示意图
。
[0028]图
10
为本专利技术出料机构的立体结构示意图
。
[0029]图
11
为本专利技术的
A
处放大图
。
[0030]图
12
为本专利技术防护机构的立体剖视结构示意图
。
[0031]图
13
为本专利技术的
B
处放大图
。
[0032]附图标记中：1‑
机壳，2‑
伺服电机，3‑
真空吸盘，4‑
控制机构，
41
‑
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种硅片匀胶机，包括有机壳
(1)、
伺服电机
(2)
和真空吸盘
(3)
，壳
(1)
内下部的中部位置连接有伺服电机
(2)
，伺服电机
(2)
的输出轴上连接有真空吸盘
(3)
，其特征是，还包括有控制机构
(4)
和切断机构
(5)
，机壳
(1)
后部设有用于往硅片上添加一定量胶液的控制机构
(4)
，机壳
(1)
与伺服电机
(2)
之间设有用于切断甩出胶丝的切断机构
(5)。2.
如权利要求1所述的一种硅片匀胶机，其特征是，控制机构
(4)
包括有储蓄罐
(41)、
定量管
(42)、
下料管
(43)、
活塞
(44)
和第一丝杆
(45)
，机壳
(1)
后上部连接有储蓄罐
(41)
，储蓄罐
(41)
下侧连接有定量管
(42)
，定量管
(42)
与储蓄罐
(41)
的相通处装有单向阀，定量管
(42)
前侧上部连接有下料管
(43)
，定量管
(42)
内滑动式连接有活塞
(44)
，活塞
(44)
下部伸出定量管
(42)
外，定量管
(42)
下部通过螺纹连接有第一丝杆
(45)
，活塞
(44)
向下滑动与第一丝杆
(45)
接触
。3.
如权利要求2所述的一种硅片匀胶机，其特征是，切断机构
(5)
包括有第一齿轮
(51)、
第二齿轮
(52)、
齿圈
(53)、
滑轨
(54)、
切板
(55)
和第二丝杆
(56)
，伺服电机
(2)
的输出轴上连接有第一齿轮
(51)
，机壳
(1)
内右后部转动式连接有第二齿轮
(52)
，第二齿轮
(52)
与第一齿轮
(51)
啮合，机壳
(1)
内上部转动式连接有齿圈
(53)
，齿圈
(53)
与第二齿轮
(52)
啮合，齿圈
(53)
后部连接有滑轨
(54)
，滑轨
(54)
内滑动式连接有切板
(55)
，滑轨
(54)
内转动式连接有第二丝杆
(56)
，第二丝杆
(56)
与切板
(55)
通过螺纹连接
。4.
如权利要求3所述的一种硅片匀胶机，其特征是，还包括有用于刮除机壳
(1)
内壁胶液的刮料机构
(6)
，刮料机构
(6)
包括有圆形轨
(61)、
滑块
(62)
和刮板
(63)
，机壳
(1)
上侧后部连接有圆形轨
(61)
，圆形轨
(61)
内滑动式连...

【专利技术属性】
技术研发人员：俞孝灵，贺武峰，
申请(专利权)人：江西维易尔半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：