一种光刻胶烘烤单元的排风机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种光刻胶烘烤单元的排风机构，涉及光刻胶烘烤技术领域。该光刻胶烘烤单元的排风机构，包括安装板、排风结构和安装结构，所述安装板的顶部固定连接有烘烤箱，烘烤箱的前侧铰接安装有活动门，所述排风结构位于烘烤箱的内部，所述安装结构位于盖板上，安装结构为两组且为对称设置，烘烤箱的顶部开设有第一开口，烘烤箱的上方设置有盖板。该光刻胶烘烤单元的排风机构，通过电机、转杆、第一齿轮、连接杆、第二齿轮、转轴和扇叶的配合使用，从而实现对烘烤箱内部进行排风，一方面避免过高的温度会导致机械零部件的失效，另一方面有利于提高排风的均匀性，且通过滤网的使用，保障排出风的质量，防止对空气造成污染。防止对空气造成污染。防止对空气造成污染。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶烘烤单元的排风机构


[0001]本技术涉及光刻胶烘烤
，具体为一种光刻胶烘烤单元的排风机构。

技术介绍

[0002]光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料，在半导体器件的制备过程中，需在晶圆表面涂敷光刻胶并进行烘烤，使光刻胶中的溶剂受热挥发以便于对晶圆进行曝光和显影。
[0003]申请号CN202222461504.6，一种光刻胶烘烤装置，包括：顶针座；顶针，多个所述顶针竖直安装在所述顶针座上，多个所述顶针均匀排列为顶针阵列，所述顶针阵列顶端用于放置晶圆；第一加热板，所述第一加热板上开设有与所述顶针阵列对应的开孔，所述顶针活动穿设在所述开孔中；导热片，放置在所述顶针与所述晶圆的间隙处；驱动件，与所述顶针座底部相连接，用于驱动所述顶针座沿竖直方向运动。
[0004]该装置利用底座和保温壳形成的密封空间来改善加热空间中空气介质热量的分布均匀性，缩小翘曲处晶圆与未翘曲处晶圆对应的光刻胶溶剂烘烤温度差异；但是该装置没有设置排风结构，过高的温度会导致机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶烘烤单元的排风机构，包括安装板(1)、排风结构(5)和安装结构(8)，其特征在于：所述安装板(1)的顶部固定连接有烘烤箱(2)，烘烤箱(2)的前侧铰接安装有活动门(3)；所述排风结构(5)位于烘烤箱(2)的内部；所述安装结构(8)位于盖板(6)上，安装结构(8)为两组且为对称设置，烘烤箱(2)的顶部开设有第一开口(4)，烘烤箱(2)的上方设置有盖板(6)。2.根据权利要求1所述的一种光刻胶烘烤单元的排风机构，其特征在于：所述排风结构(5)包括电机(501)、转杆(502)、第一齿轮(503)、连接杆(504)、第二齿轮(505)、转轴(506)和扇叶(507)，烘烤箱(2)的一侧外壁固定安装有电机(501)，烘烤箱(2)的相邻内壁转动安装有转杆(502)，电机(501)的输出轴通过联轴器和转杆(502)固定连接，转杆(502)上焊接安装有两组第一齿轮(503)，烘烤箱(2)的内侧底部转动安装有两组连接杆(504)，连接杆(504)的自由端焊接安装有...

【专利技术属性】
技术研发人员：安礼余，肖山竹，
申请(专利权)人：宇弘研科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：