一种辅助旋涂小桌制造技术

本实用新型专利技术涉及旋涂匀胶技术领域，特别涉及一种辅助旋涂小桌，包括桌体

【技术实现步骤摘要】
一种辅助旋涂小桌


[0001]本技术涉及旋涂匀胶
，特别涉及一种辅助旋涂小桌
。

技术介绍

[0002]在利用溶液成膜制作器件的过程中，成膜的好坏决定着器件的性能好坏，要想在晶片上形成均匀平整的膜，这就需要我们利用移液装置将溶液滴在晶片的中心，结合匀胶机的转动，以在晶片上形成均匀平整的膜
。
[0003]在实际操作过程中，移液装置滴膜操作是在手套箱内进行，通过人工将移液装置的出液口对准晶片的中心，但由于手套箱内复杂的环境以及人工操作因素往往难以实现移液装置与晶片的准确对中，移液装置没有准确对中会导致溶液没有滴在晶片的中心，在匀胶机的离心运动作用下，膜体会不均匀，并且在层层覆膜后，上一层的不均匀会在下一层叠加，导致晶体成膜不均匀
、
效果差，最终导致器件的性能受到很大的影响
。
[0004]因此，研究一种可辅助移液装置对中的旋涂小桌具有实用意义
。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种辅助旋涂小桌，以解决现有移液装置无法准确对中的问题
。
[0006]为了解决上述技术问题，本技术提供了一种辅助旋涂小桌，包括桌体
、
限位件
、
连接件和定位件；所述连接件与所述桌体固定连接，所述限位件与所述连接件转动连接，所述限位件绕所述连接件周向转动；所述限位件设有贯通定位孔；所述定位件设于所述桌体的底部，所述定位件与所述贯通定位孔可拆卸连接，邻近所述定位件的所述贯通定位孔的一端轴线与所述定位件的轴线重合；所述定位件用于套设在匀胶机的匀胶转动部件上，以使移液装置的中心对准匀胶机的中心；所述限位件的周向转动用于带动所述定位件移出或移入匀胶机
。
[0007]在其中一个实施例中，所述贯通定位孔包括常径段和变径段；所述常径段用于限制移液装置在所述贯通定位孔上的位置；所述变径段与所述定位件可拆卸连接，所述定位件的轴线与所述变径段的轴线重合
。
[0008]在其中一个实施例中，沿邻近所述定位件的方向，所述变径段收窄
。
[0009]在其中一个实施例中，所述变径段的两端口错位布置
。
[0010]在其中一个实施例中，所述限位件还包括限位圆筒；所述限位圆筒与所述常径段固定连接，所述限位圆筒用于限制移液装置的位置
。
[0011]在其中一个实施例中，所述定位件包括定位环和至少两根定位杆；所述定位杆与所述定位环固定连接，所述定位杆与所述贯通定位孔的一端可拆卸连接；所述定位环用于套设在匀胶机的匀胶转动部件上
。
[0012]在其中一个实施例中，所述定位杆与所述贯通定位孔的一端磁性连接
。
[0013]在其中一个实施例中，所述连接件包括连接座和连接杆；所述连接座与所述桌体
固定连接，所述连接杆转动地置于所述连接座内，所述限位件与所述连接杆固定连接，所述限位件绕所述连接杆转动连接
。
[0014]在其中一个实施例中，所述桌体包括桌面；所述桌面上设有贯通容纳孔和多个容纳槽；所述限位件设于所述贯通容纳孔内，所述限位件通过所述连接件转入或转出所述贯通容纳孔
。
[0015]在其中一个实施例中，所述桌体还包括多个桌脚；多个所述桌脚均与所述桌体可折叠连接
。
[0016]本技术的有益效果如下：
[0017]由于限位件设有贯通定位孔，贯通定位孔与定位件可拆卸连接，邻近定位件的贯通定位孔的一端轴线与定位件的轴线重合，所以在进行应用时，使用者需要进行匀胶时，将定位件套于匀胶机的匀胶部件外，随后移动桌体，使得定位件与贯通定位孔连接，使得贯通定位孔与匀胶机实现对中，当移液装置插入贯通定位孔后，可实现移液装置的中心与匀胶机中心准确对中的目的
。
[0018]并且由于限位件可绕连接件进行周向转动，所以在进行应用时，当定位件与贯通定位孔对准后，即桌体与匀胶机的相对位置固定后，将限位件转动出来，拆卸掉定位件，随后将限位件复位，插入移液装置，在匀胶机的匀胶部件的中心上放入晶片，启动匀胶机，即可实现液滴精准滴入晶片中心的目的，有效提高晶片的旋涂均匀性
。
[0019]综上所述，通过定位件与贯通定位孔的配合，可实现移液装置与匀胶机的准确对中，通过限位件的转动配合，实现定位件的拿取，不会干扰匀胶机的正常运转，有效解决了现有技术中移液装置无法准确对中的问题
。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0021]图1是本技术优选实施方式提供的整体结构的翻折示意图；
[0022]图2是本技术优选实施方式提供的整体结构的俯视图；
[0023]图3是本技术优选实施方式提供的定位件的结构示意图；
[0024]图4是本技术优选实施方式提供的定位件的俯视图；
[0025]图5是本技术优选实施方式提供的整体结构应用在匀胶机和移液枪时的场景示意图
。
[0026]附图标记如下：
[0027]1、
桌体；
10、
桌面；
100、
贯通容纳孔；
101、
培养皿容纳槽；
102、
镊子容纳槽；
103、
试剂瓶容纳槽；
104、
移液枪容纳槽；
105、
定位件容纳槽；
11、
桌脚；
[0028]2、
限位件；
20、
限位板；
21、
限位圆筒；
[0029]3、
连接件；
30、
连接座；
31、
连接杆；
[0030]4、
定位件；
40、
定位环；
41、
定位杆；
42、
母磁性块；
43、
子磁性块；
[0031]5、
贯通定位孔；
50、
常径段；
51、
变径段；
[0032]6、
匀胶机；
[0033]7、
移液枪
。
具体实施方式
[0034]下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚
、
完整地描述
。
[0035]在利用溶液成膜制作器件的过程中，成膜的好坏决定着器件的性能好坏，要想在镜片上形成均匀平整的膜，这就需要我们利用移液枪将溶液滴在晶片的中心
。
[0036]在现有技术的实际操作过程中，旋涂成膜的操作多为人工操作，将移液枪本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种辅助旋涂小桌，其特征在于，包括桌体
、
限位件
、
连接件和定位件；所述连接件与所述桌体固定连接，所述限位件与所述连接件转动连接，所述限位件绕所述连接件周向转动；所述限位件设有贯通定位孔；所述定位件设于所述桌体的底部，所述定位件与所述贯通定位孔可拆卸连接，邻近所述定位件的所述贯通定位孔的一端轴线与所述定位件的轴线重合；所述定位件用于套设在匀胶机的匀胶转动部件上，以使移液装置的中心对准匀胶机的中心；所述限位件的周向转动用于带动所述定位件移出或移入匀胶机
。2.
根据权利要求1所述的辅助旋涂小桌，其特征在于，所述贯通定位孔包括常径段和变径段；所述常径段用于限制移液装置在所述贯通定位孔上的位置；所述变径段与所述定位件可拆卸连接，所述定位件的轴线与所述变径段的轴线重合
。3.
根据权利要求2所述的辅助旋涂小桌，其特征在于，沿邻近所述定位件的方向，所述变径段收窄
。4.
根据权利要求3所述的辅助旋涂小桌，其特征在于，所述变径段的两端口错位布置
。5.
根据权利要求2所述的辅助旋涂小桌，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐进，杜珂，
申请(专利权)人：东莞理工学院，
类型：新型
国别省市：