塔式升降机、塔式升降机驱动方法和机器可读介质技术

本发明专利技术涉及塔式升降机、塔式升降机驱动方法和机器可读介质。一种塔式升降机包括：轨道模块，所述轨道模块在竖直方向上延伸；多个托架模块，所述多个托架模块沿着所述轨道模块可移动，各托架模块具有运送物体的托架；以及干扰避免模块，所述干扰避免模块避免在沿着所述轨道模块移动的所述托架模块之间的行进干扰。轨道模块移动的所述托架模块之间的行进干扰。轨道模块移动的所述托架模块之间的行进干扰。

【技术实现步骤摘要】
塔式升降机、塔式升降机驱动方法和机器可读介质
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2020年3月30日提交韩国知识产权局的、申请号为10
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2020
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0038542的韩国专利申请的优先权和权益，其全部内容通过引用结合在本申请中。


[0003]本文中描述的本专利技术构思的实施方式涉及一种塔式升降机(tower lift)、塔式升降机驱动方法以及机器可读介质，并且更具体地，涉及一种用于在多层建筑中在竖直方向上运送物体的塔式升降机、用于驱动该塔式升降机的方法以及机器可读介质。

技术介绍

[0004]通常，半导体或显示器生产线具有多个层。用于执行诸如沉积、曝光、蚀刻、离子注入和清洁等工艺的设施可以设置在半导体生产线的层上。设置在半导体生产线的层上的设施可以对用作半导体基板的半导体晶圆或用作显示基板的玻璃基板重复地执行一系列单元工艺。
[0005]诸如半导体晶圆或玻璃基板的物体可以由塔式升降机在半导体生产线的层之间运送，所述塔式升降机穿过半导体生产线的层竖直地安装。
[0006]塔式升降机具有用于运送物体的托架模块(carriage module)和用于竖直地引导托架模块的轨道模块(rail module)。轨道模块配备有驱动皮带，例如用于升高和降低托架模块的正时皮带。正时皮带与托架模块耦接，并且使托架模块上下移动。然而，在塔式升降机中驱动正时皮带时可能产生颗粒。例如，正时皮带可以通过与皮带轮的摩擦来驱动，并且颗粒可以通过正时皮带与皮带轮之间的摩擦而产生。
[0007]在塔式升降机中，一个托架模块耦接到一个正时皮带。这是因为当多个托架模块耦接到一个正时皮带时，多个托架模块全部由该正时皮带在相同方向上升高/降低，并因此难以独立地控制托架模块的运动。在塔式升降机具有一个托架模块的情况下，物体由一个托架模块运送，并且因此可能会使在半导体生产线的层之间运送物体的效率劣化。

技术实现思路

[0008]本专利技术构思的实施方式提供一种用于最小化在运送物体时产生的颗粒的塔式升降机、用于驱动该塔式升降机的方法和机器可读介质。
[0009]另外，本专利技术构思的实施方式提供一种用于操作可彼此独立移动的多个托架模块的塔式升降机、用于驱动该塔式升降机的方法和机器可读介质。
[0010]此外，本专利技术构思的实施方式提供一种用于避免当操作多个托架模块时多个托架模块间的行进干扰(travel interference)的塔式升降机，用于驱动该塔式升降机的方法和机器可读介质。
[0011]通过本专利技术构思要解决的技术问题不限于上述问题，且本专利技术构思所属领域的技术人员将从以下描述中清楚地理解本文中未提及的任何其他技术问题。
[0012]根据一实施方式，塔式升降机包括：轨道模块，所述轨道模块在竖直方向上延伸；多个托架模块，所述多个托架模块沿着轨道模块可移动，各托架模块具有运送物体的托架；以及干扰避免模块，所述干扰避免模块避免沿着轨道模块移动的托架模块之间的行进干扰。
[0013]根据一实施方式，托架模块可以沿着所述轨道模块以磁悬浮的方式可移动。
[0014]根据一实施方式，干扰避免模块可以包括：多个轨道，所述多个轨道具有能够与轨道模块结合的形状；主体，所述主体具有安装在其上的轨道；以及驱动部件，所述驱动部件在水平方向上移动主体。
[0015]根据一实施方式，轨道可以具有平行于竖直方向的纵向方向并且可以安装在主体上，以便沿着水平方向彼此间隔开。
[0016]根据一实施方式，轨道模块可以被分成至少两个部段，并且干扰避免模块可以设置在轨道模块的部段之间。
[0017]根据一实施方式，塔式升降机还可以包括控制器，并且当预测在为托架模块中的一个托架模块的第一托架模块与为托架模块中的另一托架模块的第二托架模块之间出现行进干扰时，控制器可以控制驱动部件和托架模块，使得第一托架模块和第二托架模块中的一个移动到多个轨道中的与托架模块结合的一个轨道，并且主体在水平方向上移动，使得多个轨道的另一轨道与轨道模块结合。
[0018]根据一实施方式，当另一轨道与轨道模块结合时，控制器可以控制驱动部件和托架模块，使得第一托架模块和第二托架模块中的另一个沿着另一轨道移动，并且主体在水平方向上移动，使得一个轨道与轨道模块结合。
[0019]根据一实施方式，轨道模块可以包括：框架，所述框架在竖直方向上延伸；以及线性马达线圈，所述线性马达线圈安装在框架上。托架模块中的各托架模块可以包括线性马达磁体，所述线性马达磁体与托架耦接并且与线性马达线圈相互作用以在竖直方向上移动托架。
[0020]根据一实施方式，线性马达线圈可以包括安装在框架上的多个线性马达线圈，以便沿着竖直方向彼此间隔开。
[0021]根据一实施方式，轨道模块还可以包括安装在框架上的至少一个导轨，托架模块还可以包括沿着导轨移动的引导部件，并且导轨和引导部件可以由磁排斥力彼此间隔开。
[0022]根据一实施方式，轨道模块还可以包括功率发送器(power transmitter)，托架模块还可以包括功率接收器(power receiver)，所述功率接收器接收由功率发送器发送的功率，并且功率发送器可以以非接触的方式将功率发送到功率接收器。
[0023]根据一实施方式，提供了一种用于驱动塔式升降机的方法，其中，运送容器的多个托架模块沿着在竖直方向上延伸的轨道模块移动，所述容器具有接收在其中的物体，并且当预测在为托架模块中的一个托架模块的第一托架模块与为托架模块中的另一托架模块的第二托架模块之间出现行进干扰时，第一托架模块和第二托架模块中的一个移动到干扰避免模块，所述干扰避免模块具有能够与轨道模块结合的多个轨道，并且轨道中的与轨道模块结合的一个轨道的位置被改变，使得移动到干扰避免模块的一个托架模块横向地移动。
[0024]根据一实施方式，在一个轨道的位置被完全改变时，轨道中的另一轨道可以与轨
pod，FOUP)。替代地，其中接收有物体的容器可以是POD。在另一情况下，其中接收有物体的容器可以是其中接收有多个印刷电路的盒子(magazine)或其中接收有多个半导体封装的托盘等。
[0040]图1是示出安装根据本专利技术构思的一实施方式的塔式升降机的半导体生产线的示意图。参照图1，半导体生产线10可以具有多层结构。例如，半导体生产线10可以具有第一层11、第二层12和第三层13。然而，不限于此，可以以各种形式修改半导体生产线10的多层结构。
[0041]塔式升降机100、容器储存器200、运输轨道300和执行半导体制造工艺的半导体制造装置(未示出)可以提供在半导体生产线10中。
[0042]塔式升降机100可以在半导体生产线10的层11、12和13之间运送容器F，各容器在其中接收有物体。塔式升降机100可以包括阶段模块120、轨道模块140、托架模块160和干扰避免模块180。
[0043]阶段模块120可以分别安装在半导体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种塔式升降机，其包括：轨道模块，所述轨道模块在竖直方向上延伸；多个托架模块，所述多个托架模块配置为沿着所述轨道模块可移动，各托架模块具有配置为运送物体的托架；以及干扰避免模块，所述干扰避免模块配置为避免在配置为沿着所述轨道模块移动的所述托架模块之间的行进干扰。2.根据权利要求1所述的塔式升降机，其中，所述托架模块沿着所述轨道模块以磁悬浮的方式可移动。3.根据权利要求1所述的塔式升降机，其中，所述干扰避免模块包括：多个轨道，所述多个轨道具有能够与所述轨道模块结合的形状；主体，所述主体具有安装在其上的所述轨道；以及驱动部件，所述驱动部件配置为在水平方向上移动所述主体。4.根据权利要求3所述的塔式升降机，其中，所述轨道具有与所述竖直方向平行的纵向方向并且安装在所述主体上，以便沿着所述水平方向彼此间隔开。5.根据权利要求3所述的塔式升降机，其中，所述轨道模块被分成至少两个部段，并且其中，所述干扰避免模块设置在所述轨道模块的所述部段之间。6.根据权利要求3所述的塔式升降机，其中，所述塔式升降机还包括控制器，并且其中，当预测在为所述托架模块中的一个托架模块的第一托架模块与为所述托架模块中的另一托架模块的第二托架模块之间出现行进干扰时，所述控制器控制所述驱动部件和所述托架模块，使得：所述第一托架模块和所述第二托架模块中的一个移动到所述多个轨道中的与所述轨道模块结合的一个轨道；并且所述主体在所述水平方向上移动，并且所述多个轨道中的另一轨道与所述轨道模块结合。7.根据权利要求6所述的塔式升降机，其中，当另一轨道与所述轨道模块结合时，所述控制器控制所述驱动部件和所述托架模块，使得：所述第一托架模块和所述第二托架模块中的另一个沿着所述另一轨道移动；并且所述主体在所述水平方向上移动，并且所述一个轨道与所述轨道模块结合。8.根据权利要求1至7中任一项所述的塔式升降机，其中，所述轨道模块包括：框架，所述框架在所述竖直方向上延伸；以及线性马达线圈，所述线性马达线圈安装在所述框架上，并且其中，所述托架模块中的各托架模块包括线性马达磁体，所述线性马达磁体与所述托架耦接并且配置为与所述线性马达线圈相互作用以在所述竖直方向上移动所述托架。9.根据权利要求8所述的塔式升降机，其中，所述线性马达线圈包括安装在所述框架上的多个线性马达线圈，以便沿着所述竖直方向彼此间隔开。10.根据权利要求9所述的塔式升降机，其中，所述线...

【专利技术属性】
技术研发人员：李娜贤，金相吴，李明振，边熙宰，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：