延时测量电路、AC校准装置及IC测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及集成电路测试技术领域，公开了一种延时测量电路、AC校准装置及IC测量装置，延时测量电路包括同步信号源，用以分多次且每次产生一个不同频率的连续方波信号；被测通道，用以与同步信号源连接并分多次接收连续方波信号；参考电路，用以与同步信号源连接并分多次接收连续方波信号；鉴相器，用以与被测通道和参考电路连接并分多次接收被测信号和参考信号，且每次产生一个输出电压；数据处理模块，用以根据输出电压随连续方波信号的频率变化所呈现的三角波函数的周期值计算被测信号相对参考信号的延时，并根据不同被测通道中被测信号相对参考信号的延时得到不同被测通道之间的延时。本发明专利技术延时测量电路可大幅提升延时测量的精度。时测量的精度。时测量的精度。

【技术实现步骤摘要】
延时测量电路、AC校准装置及IC测量装置


[0001]本专利技术涉及集成电路测量
，特别涉及一种延时测量电路、AC校准装置及IC测量装置。

技术介绍

[0002]在集成电路的自动测试设备领域，对于数字测试通道的时间精确性要求很高，但是各个数字测试通道之间由于硬件固有的不一致性造成了电信号传输延时的差异，因此需要通过交变信号校准（下文称为AC校准）来纠正。AC校准首先要精确标定各通道硬件固有的电信号传输延时的差异，为此可以在同步信号输入条件下测量各通道的输出信号相对于同一个参考信号的时间间隔。
[0003]通常测量两个数字信号的时间间隔是比对两个信号的变化沿，例如两个信号都是从0变到1，则测量两个信号的上升沿的时间间隔。传统的时间间隔测量单元技术受限于硅基半导体工艺的晶体管开关速度，测量分辨率大约可做到100ps量级。例如用于计数的逻辑电路测量分辨率受限于电路时钟的频率，抽头延迟线法的测量分辨率受限于相邻抽头之间的信号延迟时间。再考虑电路工作状态下的噪声干扰，时间测量精度往往劣于时间测量分辨率。因此传统手段无法进行更精细的时间测量。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种延时测量电路，其特征在于，包括：同步信号源，用以分多次且每次产生一个不同频率的连续方波信号；被测通道，用以与所述同步信号源连接并分多次接收所述连续方波信号，且将其作为被测信号；参考电路，用以与所述同步信号源连接并分多次接收所述连续方波信号，且将其作为参考信号；鉴相器，用以与被测通道和参考电路连接并分多次接收被测信号和参考信号，且每次产生一个输出电压；数据处理模块，用以根据输出电压随所述连续方波信号的频率变化所呈现的三角波函数的周期值计算出被测信号相对参考信号的延时，并根据不同被测通道中被测信号相对参考信号的延时计算出不同被测通道之间的延时。2.如权利要求1所述的延时测量电路，其特征在于，所述根据输出电压随所述连续方波信号的频率变化所呈现的三角波函数的周期值计算出被测信号相对参考信号的延时，具体包括：根据所述三角波函数的周期值的最优解计算出被测信号相对参考信号的延时；所述周期值的最优解通过以下步骤得出：A、根据以下公式，对三角波函数中每一个数据点 算出，得到数据点组合；其中，为连续方波信号的频率，为输出电压；，函数为对x向下取整，为三角波函数的周期值的预估值；和分别为鉴相器输出电压的最大值和最小值；B、对数据点组合进行线性拟合，得到三角波函数的周期值的最优解。3.如权利要求2所述的延时测量电路，其特征在于，步骤B具体包括：以所述周期值的预估值为初始值，根据斜截率公式通过最小二乘法进行线性拟合，得到最小二乘法的误差平方和；并在所述周期值的预估值的正负预定范围内取一个新的值作为周期值，代入步骤A的公式中，得到新的周期值对应的误差平方和；通过多次选择不同的周期值并计算其对应的误差平方和，最后在多次计算结果中选择最小误差平方和所对应的周期值为最优解；所述斜截率公式如下：
其中，和为系数。4.如权利要求2所述的延时测量电路，其特征在于，数据点组合中包括数据点。5.如权利要求1所述的延时测量电路，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏津，胡雪原，徐润生，
申请(专利权)人：绅克半导体科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：