一种电控安装组件和去胶机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种电控安装组件和去胶机。所述电控安装组件，包括电控组件，还包括：安装板，所述安装板的一侧为电控安装侧，所述电控组件位于所述电控安装侧；电控固定件，所述电控固定件位于所述电控安装侧，所述电控固定件连接所述电控组件和所述安装板；至少一个安装板开合件，所述安装板开合件连接所述安装板的至少一侧。本实用新型专利技术解决了所述电控组件占用较大安装空间的问题。件占用较大安装空间的问题。件占用较大安装空间的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种电控安装组件和去胶机


[0001]本技术涉及半导体行业晶片湿法处理领域，尤其涉及一种电控安装组件和去胶机。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体积体电路所使用的硅晶片，其形状为圆形，故称为晶圆。目前，在晶圆撕金去胶工艺过程中，常用去胶液冲刷晶圆，来剥离晶圆上的胶和金属，使用后的去胶液经过过滤冷却等步骤进行循环利用，而流量计用于检测去胶液的流量。
[0003]目前，将流量计安装于电控区域会占用较多空间，导致需要增大去胶机尺寸才能容纳流量计。

技术实现思路

[0004]因此，本技术实施例提供一种电控安装组件和去胶机，有效解决所述电控组件占用较大安装空间的问题。
[0005]一方面，本技术实施例提供一种电控安装组件，包括电控组件，还包括：安装板，所述安装板的一侧为电控安装侧，所述电控组件位于所述电控安装侧；电控固定件，所述电控固定件位于所述电控安装侧，所述电控固定件连接所述电控组件和所述安装板；至少一个安装板开合件，所述安装板开合件连接所述安装板的至少一侧。
[0006]采用该技术方案后所达到的技术效果：电控安装侧为所述安装板的内侧，相比安装在所述去胶机的其他隔板上，更加节省空间；并且打开所述安装板可直接操作所述电控组件，无需将手伸入去胶机内操作所述电控组件，因此调试时更加便捷。
[0007]在本技术的一个实施例中，所述电控组件为流量计。
[0008]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述安装板的大小能够容纳所述流量计，因此所述流量计适用所述电控安装组件的安装方式。
[0009]在本技术的一个实施例中，所述安装板开合件为合页。
[0010]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述合页能够实现所述电控板的旋转运动，实现开合动作。
[0011]在本技术的一个实施例中，所述安装板设有相对的开合件安装侧和连接件安装侧，所述电控安装组件还包括：安装板连接件，所述安装板连接件位于所述连接件安装侧，并连接所述安装板；其中，所述开合件安装侧为所述安装板的任意一侧，所述安装板开合件连接于所述开合件安装侧。
[0012]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述安装板连接件能够实现所述安装板的可拆卸连接，在所述安装板闭合时能够稳定连接。
[0013]在本技术的一个实施例中，所述安装板连接件包括卡扣组件，所述卡扣组件朝向所述电控安装侧；所述卡扣组件包括凸起件和扣合件，所述凸起件连接所述安装板的所述电控安装侧，所述扣合件与所述凸起件配合。
[0014]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述卡扣组件能够实现所述安装板的可拆卸连接，便于安装板打开或关闭。
[0015]在本技术的一个实施例中，所述安装板连接件还包括固定片，所述固定片位于所述卡扣组件远离所述安装板的一侧；其中，所述固定片包括第一固定片和第二固定片；所述第一固定片连接所述扣合件，所述第二固定片垂直连接所述第一固定片远离所述扣合件的一侧，所述第二固定片设有至少一个固定孔。
[0016]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述固定片用于将所述卡扣组件的扣合件固定至所述去胶机内，所述安装板关闭时能够与所述去胶机稳定连接。
[0017]在本技术的一个实施例中，所述安装板连接件包括磁铁和铁片。
[0018]采用该技术方案后所达到的技术效果：通过所述磁铁和所述铁片的吸引力固定所述安装板，便于所述安装板的开合。
[0019]在本技术的一个实施例中，所述电控固定件为至少一个滑轨，所述流量计设有滑轨安装槽，所述滑轨安装槽与所述滑轨配合。
[0020]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述滑轨和所述滑轨安装槽的配合能够实现所述流量计的可拆卸连接。
[0021]在本技术的一个实施例中，还包括：把手；所述安装板设有把手安装槽，所述把手连接所述把手安装槽。
[0022]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述把手便于打开所述安装板。
[0023]另一方面，本技术实施例还提供一种去胶机，包括上述任一实施例所述的电控安装组件。
[0024]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述去胶机具有所述电控安装组件，能够充分利用所述安装板背部的空间，节省所述去胶机内电控部分的安装空间。
[0025]综上所述，本申请上述各个实施例可以具有如下一个或多个优点或有益效果：
[0026]i)所述流量计安装于所述安装板的内侧，相比安装在所述去胶机的其他隔板上，更加节省空间，并且能够充分利用所述安装板背部的空间；
[0027]ii)所述安装板开合件能够旋转所述电控安装组件，便于打开所述安装板并操作所述流量计；
[0028]iii)所述滑轨便于滑动或拆卸所述流量计；
[0029]iv)所述安装板连接件在所述安装板关闭时能够固定所述安装板。
附图说明
[0030]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0031]图1为本技术第一实施例提供的一种电控安装组件100的结构示意图。
[0032]图2为图1所示的电控安装组件100的爆炸图。
[0033]图3为图1中安装板连接件150的结构示意图。
[0034]图4为图2中电控组件110的结构示意图。
[0035]图5为本技术第二实施例提供的一种去胶机200的结构示意图。
[0036]主要元件符号说明：
[0037]100为电控安装组件；110为电控组件；111为流量传感器放大器；112为流量计通讯模块；113为滑轨安装槽；120为安装板；121为电控安装侧；122为开合件安装侧； 123为连接件安装侧；124为把手安装槽；130为电控固定件；140为安装板开合件；150 为安装板连接件；151为卡扣组件；152为凸起件；153为扣合件；1531为扣合凹槽；1532 为弹性件；154为固定片；1541为第一固定片；1542为第二固定片；160为把手。
[0038]200为去胶机；210为控制模块安装空间；220为其他控制模块。
具体实施方式
[0039]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0040]【第一实施例】
[0041]参见图1
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2，其为本技术第一实施例提供的一种电控安装组件100，包括电控组件110、安装板120、电控固定件130和至少一个安装板开合件140。其中，安装板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电控安装组件，包括电控组件，其特征在于，还包括：安装板，所述安装板的一侧为电控安装侧，所述电控组件位于所述电控安装侧；电控固定件，所述电控固定件位于所述电控安装侧，所述电控固定件连接所述电控组件和所述安装板；至少一个安装板开合件，所述安装板开合件连接所述安装板的至少一侧。2.根据权利要求1所述的电控安装组件，其特征在于，所述电控组件为流量计。3.根据权利要求1所述的电控安装组件，其特征在于，所述安装板开合件为合页。4.根据权利要求3所述的电控安装组件，其特征在于，所述安装板设有相对的开合件安装侧和连接件安装侧，所述电控安装组件还包括：安装板连接件，所述安装板连接件位于所述连接件安装侧，并连接所述安装板；其中，所述开合件安装侧为所述安装板的任意一侧，所述安装板开合件连接于所述开合件安装侧。5.根据权利要求4所述的电控安装组件，其特征在于，所述安装板连接件包括卡扣组件，所述卡扣组件朝向所述电控安装侧；所述卡扣组件包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈云清，
申请(专利权)人：宁波润华全芯微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：