【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种资料的转换方法及资料转换装置，特别是涉及一种配合在半导体高阶过程控制过程中，将半导体设备产生的SECS讯息转换为XML资料的转换方法及资料转换装置。
技术介绍
目前半导体制程的半导体高阶过程控制(Advanced Process Control；APC)，大致可分为实时回馈调整及失误侦测与分类等技术，实时回馈调整是整合许多制造设备，主要是将制程的品质、状态等各种变量，透过预先建立的制程模式加以估算，并进行实时的线上回馈调整制程参数，来减少制程变异及提升半导体产品的良率。而失误侦测与分类是透过失误分类技术，来预测制造设备或组件的异常状态并加以分析其原因，以掌握制造设备状态，达成预测性维修的作用，因此，半导体高阶过程控制牵涉到如何控制制程步骤，而每个步骤需要不同的半导体设备加以配合。在进行半导体高阶过程控制时，是以一种符合半导体设备通讯标准(SEMIEquipment Communications Standard；SECS)的语法，来进行相关讯息的交换，所谓的SECS语法，是由半导体设备及材料国际贸易协会(Semiconductor Equip...
【技术保护点】
一种半导体设备的ＳＥＣＳ－Ⅱ至ＸＭＬ资料转换方法，其特征在于包含下述步骤：ａ）取得一ＳＥＣＳ－Ⅱ讯息并个别标定该ＳＥＣＳ－Ⅱ讯息所具有的复数ＳＥＣＳ项目；ｂ）分析所标定的各该ＳＥＣＳ项目以抽取出感兴趣的ＳＥＣＳ项目； ｃ）判断所抽取的各该ＳＥＣＳ项目之间的相依性，将具有相依性的该等ＳＥＣＳ项目加以配对；及ｄ）结合所有配对后的该等ＳＥＣＳ项目后，将其转换为ＸＭＬ资料。
【技术特征摘要】
1.一种半导体设备的SECS-II至XML资料转换方法，其特征在于包含下述步骤a)取得一SECS-II讯息并个别标定该SECS-II讯息所具有的复数SECS项目；b)分析所标定的各该SECS项目以抽取出感兴趣的SECS项目；c)判断所抽取的各该SECS项目之间的相依性，将具有相依性的该等SECS项目加以配对；及d)结合所有配对后的该等SECS项目后，将其转换为XML资料。2.如权利要求1所述的半导体设备的SECS-II至XML资料转换方法，其特征在于步骤a)的标定方式是依据各该SECS项目所属层级而标记相对应的一代码。3.如权利要求2所述的半导体设备的SECS-II至XML资料转换方法，其特征在于标记各该SECS项目的代码的方式，是当该SECS-II讯息具有n个SECS根项目时，则该等SECS根项目的代码标记为A0-An-1。4.如权利要求3所述的半导体设备的SECS-II至XML资料转换方法，其特征在于当第n个SECS根项目具有i个SECS子项目时，则各该SECS子项目的代码标记为An-1.0-An-1.i-1。5.如权利要求1所述的半导体设备的SECS-II至XML资料转换方法，其特征在于该半导体设备的SECS-II至XML资料转换方法更包含步骤b-1)，将感兴趣的SECS项目标定为项目名称An-1.*。6.如权利要求1所述的半导体设备的SECS-II至XML资料转换方法，其特征在于该半导体设备的SECS-II至XML资料转换方法更包含步骤c-1)，将具有依附性的被依附的该SECS项目标定为项目名称An-1.@。7.一种纪录媒体，其特征在于该纪录媒体包含有如权利要求1所述的半导体设备的SECS-II至XML资料转换...
【专利技术属性】
技术研发人员：于文贞，江国平，谢政宏，王俊义，
申请(专利权)人：巨路国际股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
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