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半导体设备的SECS-Ⅱ至XML资料转换方法及资料转换装置制造方法及图纸
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下载半导体设备的SECS-Ⅱ至XML资料转换方法及资料转换装置的技术资料
文档序号:2861517
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一种半导体设备的SECS-Ⅱ至XML资料转换方法,主要是在一自动化控制计算机及至少一半导体设备之间,以一资料转换装置取得符合半导体设备通讯标准的SECS-Ⅱ讯息,并个别标定该SECS-Ⅱ讯息所具有的复数SECS项目,接着分析所标定的各该SE...
该专利属于巨路国际股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过巨路国际股份有限公司授权不得商用。
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