下载半导体设备的SECS-Ⅱ至XML资料转换方法及资料转换装置的技术资料

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一种半导体设备的SECS-Ⅱ至XML资料转换方法,主要是在一自动化控制计算机及至少一半导体设备之间,以一资料转换装置取得符合半导体设备通讯标准的SECS-Ⅱ讯息,并个别标定该SECS-Ⅱ讯息所具有的复数SECS项目,接着分析所标定的各该SE...
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