一种快速定位晶圆中心的装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种快速定位晶圆中心的装置，该装置包括至少两组对射的光电传感器组，所述的光电传感器组包括发射传感器(1)和接收传感器(2)，所述的光电传感器组用于晶圆从发射传感器(1)和接收传感器(2)之间水平移动时定位晶圆中心，所述的晶圆水平移动时，所述的发射传感器(1)的光信号垂直于晶圆水平移动的平面，该装置还包括用于获取接收传感器(2)接收信号并定位晶圆中心的处理器；所述的处理器根据接收传感器(2)接收信号确定晶圆水平移动通过时晶圆的圆周上的至少两条弦，并根据两条弦计算晶圆中心点位置。与现有技术相比，本发明专利技术具有结构简单、定位快速精准等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种快速定位晶圆中心的装置
本专利技术涉及半导体晶圆自动化生产
，尤其是涉及一种快速定位晶圆中心的装置。
技术介绍
随着科技产业的发展，半导体行业扮演着越来越重要的角色，在晶圆生产过程中，对晶圆中心的定位尤其重要。现有的晶圆定位方式包括机械式的定位方式以及光学式的定位方式，其中，机械式的定位方式是用复杂的机械装置直接接触晶圆，由于机械装置和晶圆的边缘直接接触，极易对晶圆造成污染，同时定位的精度完全受机械装置精度的影响。光学式的定位方式是采用光学测量元件对晶圆的边缘进行检测，通过一定的算法来实现晶圆的定心，圆心定位和切边的检测算法也不尽相同。可见，现有的晶圆中心定位装置结构复杂并且成本比较高。
技术实现思路
本专利技术的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种快速定位晶圆中心的装置。本专利技术的目的可以通过以下技术方案来实现：一种快速定位晶圆中心的装置，该装置包括至少两组对射的光电传感器组，所述的光电传感器组包括发射传感器和接收传感器，所述的光电传感器组用于晶圆从发射传感器和接收传感器之间水平移动时定位晶圆中心，所述的晶圆水平移动时，所述的发射传感器的光信号垂直于晶圆水平移动的平面，该装置还包括用于获取接收传感器接收信号并定位晶圆中心的处理器；所述的处理器根据接收传感器接收信号确定晶圆水平移动通过时晶圆的圆周上的至少两条弦，并根据两条弦计算晶圆中心点位置。优选地，所述的光电传感器组通过传感器支架安装固定。优选地，所述的传感器支架包括垂直支架、水平第一支架和水平第二支架，所述的垂直支架沿竖直方式固定，所述的水平第一支架和水平第二支架分别固定在垂直支架的顶部和顶部，所述的水平第一支架和水平第二支架位于垂直支架的同一侧且成相对设置，所述的发射传感器安装在水平第一支架，所述的接收传感器安装在水平第二支架，每一组光电传感器组中发射传感器和接收传感器对中。优选地，所述的水平第一支架上设有安装发射传感器的第一安装槽，所述的第一安装槽贯穿水平第一支架的上下表面。优选地，所述的水平第二支架侧面设有用于安装接收传感器的第二安装槽，所述的水平第二支架的上表面设有用于发射传感器光线通过的感光孔，所述的接收传感器的感光区域对准对应的感光孔。优选地，所述的接收传感器通过安装块安装在第二安装槽中。优选地，所述的安装块包括用于遮挡相邻的发射传感器的光信号的挡光板。优选地，所述的挡光板为L型折弯板。优选地，所述的光电传感器组包括红外光电传感器。优选地，所述的光电传感器组设置4组。与现有技术相比，本专利技术具有如下优点：(1)本专利技术快速定位晶圆中心的装置通过光电传感器组定位晶圆水平移动通过时的晶圆圆周上的至少两条弦，然后通过弦的尺寸来确定晶圆中心，该装置结构简单可靠，不需要专门的校准机构，通过能够快速获取晶圆中心，节省时间；(2)本专利技术安装光电传感器组的传感器支架结构稳定可靠，同时，接收传感器安装方式巧妙，能避免光电传感器组之间的互相干扰，提高定位结果的精准性；(3)本专利技术光电传感器组设置4组，通过任意两组即可获取传感器晶圆中心，一方面设置冗余，提高整个装置的可靠性，另一方面，可以通过2组配对计算，最后取最优，进一步提高定位准确性。附图说明图1为本专利技术一种快速定位晶圆中心的装置的整体结构示意图；图2为本专利技术发射传感器与水平第一支架的安装结构示意图；图3为本专利技术接收传感器与水平第二支架的安装结构示意图；图中，1为发射传感器，2为接收传感器，3为垂直支架，4为水平第一支架，5为水平第二支架，6为第一安装槽，7为第二安装槽，8为感光孔，9为挡光板。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本专利技术进行详细说明。注意，以下的实施方式的说明只是实质上的例示，本专利技术并不意在对其适用物或其用途进行限定，且本专利技术并不限定于以下的实施方式。实施例如图1所述，本实施例提供一种快速定位晶圆中心的装置，该装置包括至少两组对射的光电传感器组，光电传感器组包括发射传感器1和接收传感器2，光电传感器组用于晶圆从发射传感器1和接收传感器2之间水平移动时定位晶圆中心，晶圆水平移动时，发射传感器1的光信号垂直于晶圆水平移动的平面，该装置还包括用于获取接收传感器2接收信号并定位晶圆中心的处理器；处理器根据接收传感器2接收信号确定晶圆水平移动通过时晶圆的圆周上的至少两条弦，并根据两条弦计算晶圆中心点位置。本专利技术快速定位晶圆中心的装置通过光电传感器组定位晶圆水平移动通过时的晶圆圆周上的至少两条弦，然后通过弦的尺寸来确定晶圆中心，该装置结构简单可靠，不需要专门的校准机构，通过能够快速获取晶圆中心，节省时间。在本实施例中，光电传感器组包括红外光电传感器，光电传感器组设置4组，通过任意两组即可获取传感器晶圆中心，一方面设置冗余，提高整个装置的可靠性，另一方面，可以通过2组配对计算，最后取最优，进一步提高定位准确性。光电传感器组通过传感器支架安装固定。传感器支架包括垂直支架3、水平第一支架4和水平第二支架5，垂直支架3沿竖直方式固定，水平第一支架4和水平第二支架5分别固定在垂直支架3的顶部和顶部，水平第一支架4和水平第二支架5位于垂直支架3的同一侧且成相对设置，发射传感器1安装在水平第一支架4，接收传感器2安装在水平第二支架5，每一组光电传感器组中发射传感器1和接收传感器2对中。水平第一支架4上设有安装发射传感器1的第一安装槽6，第一安装槽6贯穿水平第一支架4的上下表面。水平第二支架5侧面设有用于安装接收传感器2的第二安装槽7，水平第二支架5的上表面设有用于发射传感器1光线通过的感光孔8，接收传感器2的感光区域对准对应的感光孔8。接收传感器2通过安装块安装在第二安装槽7中，安装块包括用于遮挡相邻的发射传感器1的光信号的挡光板9，挡光板9为L型折弯板，能避免光电传感器组之间的互相干扰，提高定位结果的精准性。本专利技术一种快速定位晶圆中心的装置可用于接携手搬运晶圆过程中，如采用吸附式机械手抓取晶圆移动过程中，晶圆在发射传感器1和接收传感器2之间水平移动，通过接收传感器2的接收信号判断晶圆移动过程中光信号被遮挡的时刻，从而能够确定晶圆圆周的至少两条弦(本实施例中获取4条弦)，由此根据任意两条弦的位置、大小可以解算出晶圆中心位置，从而可以确定晶圆中心与机械手的相对位置，由此，当晶圆移动至下一工位时，可以根据晶圆中心与机械手的相对位置实现晶圆中心的自动对准。上述实施方式仅为例举，不表示对本专利技术范围的限定。这些实施方式还能以其它各种方式来实施，且能在不脱离本专利技术技术思想的范围内作各种省略、置换、变更。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种快速定位晶圆中心的装置，其特征在于，该装置包括至少两组对射的光电传感器组，所述的光电传感器组包括发射传感器(1)和接收传感器(2)，所述的光电传感器组用于晶圆从发射传感器(1)和接收传感器(2)之间水平移动时定位晶圆中心，所述的晶圆水平移动时，所述的发射传感器(1)的光信号垂直于晶圆水平移动的平面，该装置还包括用于获取接收传感器(2)接收信号并定位晶圆中心的处理器；/n所述的处理器根据接收传感器(2)接收信号确定晶圆水平移动通过时晶圆的圆周上的至少两条弦，并根据两条弦计算晶圆中心点位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种快速定位晶圆中心的装置，其特征在于，该装置包括至少两组对射的光电传感器组，所述的光电传感器组包括发射传感器(1)和接收传感器(2)，所述的光电传感器组用于晶圆从发射传感器(1)和接收传感器(2)之间水平移动时定位晶圆中心，所述的晶圆水平移动时，所述的发射传感器(1)的光信号垂直于晶圆水平移动的平面，该装置还包括用于获取接收传感器(2)接收信号并定位晶圆中心的处理器；
所述的处理器根据接收传感器(2)接收信号确定晶圆水平移动通过时晶圆的圆周上的至少两条弦，并根据两条弦计算晶圆中心点位置。


2.根据权利要求1所述的一种快速定位晶圆中心的装置，其特征在于，所述的光电传感器组通过传感器支架安装固定。


3.根据权利要求2所述的一种快速定位晶圆中心的装置，其特征在于，所述的传感器支架包括垂直支架(3)、水平第一支架(4)和水平第二支架(5)，所述的垂直支架(3)沿竖直方式固定，所述的水平第一支架(4)和水平第二支架(5)分别固定在垂直支架(3)的顶部和顶部，所述的水平第一支架(4)和水平第二支架(5)位于垂直支架(3)的同一侧且成相对设置，所述的发射传感器(1)安装在水平第一支架(4)，所述的接收传感器(2)安装在水平第二支架(5)，每一组光电传感器组中发射传感器(1)和接收传感器(2)对中。

【专利技术属性】
技术研发人员：沈凯，
申请(专利权)人：芯钛科半导体设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31