曝光机的对准定位装置制造方法及图纸

一种曝光机的对准定位装置，包括：一机台、一工件承座、一光罩承座、一曝光头；该工件承座是设于该机台上，其是用以固定一工件，工件承座至少有一第一伸缩装置、一固定座、一活动座及一活动座固定装置；第一伸缩装置是介于机台与固定座间，固定座设一半球凹部，活动座设一与该半球凹部相对应的半球凸部，使半球凹部与半球凸部相配合而可任意方向微量倾斜，活动座固定装置供固定活动座；光罩承座用以固定一光罩；曝光头用以发出预定光线穿透该光罩使工件曝光。本实用新型专利技术具有较佳的调整效果，且调整快速，可多方向自动调整，其调整后的光罩与工件间具有一预定间隙。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种曝光机的对准定位装置，包括：一机台、一工件承座、一光罩承座、一曝光头；其特征在于，　　　　该工件承座是设于该机台上，其是用以固定一工件，该工件承座至少具有一第一伸缩装置、一固定座、一活动座及一活动座固定装置；该第一伸缩装置是介于该机台与该固定座间，该固定座设一半球凹部，该活动座设一与该半球凹部相对应的半球凸部，使该半球凹部与该半球凸部相配合而可任意方向微量倾斜，该活动座固定装置供固定活动座；　　　　所述光罩承座，用以固定一光罩；　　　　所述曝光头，用以发出预定光线穿透该光罩。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：林宪维，
申请(专利权)人：科毅科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]