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曝光机的对准定位装置制造方法及图纸
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下载曝光机的对准定位装置的技术资料
文档序号:2752334
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一种曝光机的对准定位装置,包括:一机台、一工件承座、一光罩承座、一曝光头;该工件承座是设于该机台上,其是用以固定一工件,工件承座至少有一第一伸缩装置、一固定座、一活动座及一活动座固定装置;第一伸缩装置是介于机台与固定座间,固定座设一半球凹部...
该专利属于科毅科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过科毅科技股份有限公司授权不得商用。
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