曝光机的光学装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种曝光机的光学装置，其包含一发光二极管灯板、一复眼透镜组及一转向反射镜；发光二极管灯板用以朝向一水平方向投射一光束；复眼透镜组配置在发光二极管灯板的投射路径上且与发光二极管灯板层叠排列；转向反射镜配置在发光二极管灯板的投射路径上且复眼透镜组配置在发光二极管灯板与转向反射镜之间，转向反射镜用以将发光二极管灯板投射的光束反射而向下转向一垂直方向；由此将发光二极管灯板所投射的水平光束转向为垂直投射且调整为平行光。

Optical device for exposure machine

The utility model provides an optical device for an exposure machine, which includes a light emitting diode lamp board, a compound eye lens group and a steering reflector, which is used to project a beam in a horizontal direction; the compound eye lens group is arranged on the projection path of the light emitting diode lamp board and overlapped with the light emitting diode lamp board. The steering reflector is arranged on the projection path of the light emitting diode lamp plate and the compound eye lens is arranged between the light emitting diode lamp plate and the steering reflector, and the steering reflector is used to reflect the beam projecting from the light emitting diode panel to a vertical direction; thus the horizontal beam projected by the photodiode lamp board is projected. Turn to vertical projection and adjust to parallel light.

【技术实现步骤摘要】
曝光机的光学装置
本技术是有关于一种曝光机，尤其是关于一种能够垂直转向投射平行光束的曝光机的光学装置。
技术介绍
曝光机为一般印刷电路板或半导体芯片在进行曝光显影制程时常用的设备。曝光机投射的光束必需要以透镜组修正为平行光再投射至工作对象上，如此方能确保工作对象受到均匀光照。一般而言，曝光机工作时，工作对象平放而光束自工作对象上方向下投射以照射工作对象。工作对象上方需要配置光源以及透镜组并且预留光束投射路径的空间，因此，曝光机一般而言占用相当大的空间，而且其设备高度过高不易维护。
技术实现思路
本技术提供一种能够垂直转向投射平行光束的曝光机的光学装置。本技术提供一种曝光机的光学装置，其包含一发光二极管灯板、一复眼透镜组及一转向反射镜。发光二极管灯板用以朝向一水平方向投射一光束。复眼透镜组配置在发光二极管灯板的投射路径上且与发光二极管灯板层叠排列。转向反射镜，配置在发光二极管灯板的投射路径上且复眼透镜组配置在发光二极管灯板与转向反射镜之间，转向反射镜用以将发光二极管灯板投射的光束反射而向下转向一垂直方向。本技术的曝光机的光学装置，其中复眼透镜组包含一聚光复眼透镜，聚光复眼透镜配置在发光二极管灯板的投射路径上用以聚集发光二极管灯板发出的光束。聚光复眼透镜与发光二极管灯板紧邻且相互间隔配置。复眼透镜组包含一均化复眼透镜，均化复眼透镜配置在发光二极管灯板的投射路径上，且聚光复眼透镜配置在发光二极管灯板与均化复眼透镜之间，均化复眼透镜用以均化通过聚光复眼透镜聚集的光束。均化复眼透镜与聚光复眼透镜紧邻且相互间隔配置。聚光复眼透镜为数个子聚光透镜排列构成，均化复眼透镜为数个子均化透镜排列构成，且子均化透镜的单位面积排列密度大于子聚光透镜的单位面积排列密度。本技术的曝光机的光学装置还包含一聚光透镜，聚光透镜配置在发光二极管灯板的投射路径上用以聚集转向反射镜反射的光束。本技术的曝光机的光学装置还包含一光圈，光圈配置在发光二极管灯板的投射路径上用以限制光束的投射截面范围。本技术的曝光机的光学装置，其转向反射镜为平面镜。本技术的曝光机的光学装置，由复眼透镜组及转向反射镜配合而能够将发光二极管灯板所投射的水平光束转向为垂直投射且调整为平行光。因此能够紧密配置组件，由此缩减曝光机设备占用空间。附图说明图1为本技术曝光机的光学装置的较佳实施例的立体示意图。图2为本技术曝光机的光学装置的较佳实施例中的聚光复眼透镜的立体示意图。图3为本技术曝光机的光学装置的较佳实施例中的均化复眼透镜的立体示意图。图中符号表示：10光束；11水平方向；12垂直方向；100发光二极管灯板；200复眼透镜组；210聚光复眼透镜；211子聚光透镜；220均化复眼透镜；221子均化透镜；300转向反射镜；400聚光透镜；500光圈。具体实施方式参阅图1至图3所示，本技术的较佳实施例提供一种曝光机的光学装置，其包含有一发光二极管灯板100、一复眼透镜组200、一转向反射镜300、一聚光透镜400以及一光圈500。在本实施例中，发光二极管灯板100的其中一面布设有数个光二极管，因此该面能够发光而投射一光束10。发光二极管灯板100直立配置而使发光二极管灯板100能够朝向一水平方向11投射光束10。复眼透镜组200配置在发光二极管灯板100的投射路径上，在本实施例中，复眼透镜组200较佳地包含一聚光复眼透镜210以及一均化复眼透镜220，而且发光二极管灯板100、聚光复眼透镜210以及均化复眼透镜220层叠且相互间隔排列。具体而言，聚光复眼透镜210配置在发光二极管灯板100的投射路径上，聚光复眼透镜210为数个子聚光透镜211排列构成，其各子聚光透镜211能够聚集发光二极管灯板100发出的光束10。而且，聚光复眼透镜210与发光二极管灯板100紧邻且相互间隔配置，其间隔距离对应子聚光透镜211的焦距配置，使得发光二极管灯板100投射的光束10能够被聚光复眼透镜210聚集。均化复眼透镜220配置在发光二极管灯板100的投射路径上，且聚光复眼透镜210配置在发光二极管灯板100与均化复眼透镜220之间。均化复眼透镜220为数个子均化透镜221排列构成，均化复眼透镜220的各子均化透镜221能够均化通过聚光复眼透镜210聚集的光束10。均化复眼透镜220与聚光复眼透镜210紧邻且相互间隔配置，其间隔距离对应子聚光透镜211的焦距以及子均化透镜221的焦距配置。而且各子均化透镜221的体积小于各子聚光透镜211的体积，因此，子均化透镜221的单位面积排列密度大于子聚光透镜211的单位面积排列密度，由此使得均化复眼透镜220能够均化通过聚光复眼透镜210聚集的光束10。其中，前述的子聚光透镜211以及子均化透镜221的体积远小于单件式的聚光透镜400，相对而言，子聚光透镜211以及子均化透镜221的焦距远小于单件式的聚光透镜400。因此发光二极管灯板100、聚光复眼透镜210以及均化复眼透镜220才能层叠排列。再者，子均化透镜221的单位面积排列密度大于子聚光透镜211的单位面积排列密度，使得通过各聚光复眼透镜210聚集的光束10能够再分别通过多个均化复眼透镜220以进行均化。在本实施例中，转向反射镜300较佳地为平面镜，但本技术不以此为限。转向反射镜300配置在发光二极管灯板100的投射路径上且复眼透镜组200配置在发光二极管灯板100与转向反射镜300之间，转向反射镜300用以将发光二极管灯板100投射的光束10反射而向下转向一垂直方向12。聚光透镜400配置在发光二极管灯板100的投射路径上，较佳地，聚光透镜400配置在转向反射镜300下方以聚集转向反射镜300反射的光束10。光圈500配置在发光二极管灯板100的投射路径上用以限制光束10的投射截面范围。光圈500可以配置在发光二极管灯板100投射路径上的任意位置，在本实施例中，光圈500较佳地配置在复眼透镜组200以及转向反射镜300之间。本技术的曝光机的光学装置，由复眼透镜组200及转向反射镜300配合而能够将发光二极管灯板100所投射的光束10调整为平行光且垂直转向。发光二极管灯板100与复眼透镜组200层叠配置的手段除了缩小组件本身体积以外；在光束10射出的起始点即进行调整能够避免光束10发散后不易调整，因此能够预留较短的光束10投射路径。因此，由前述的手段能够紧密配置组件而缩减曝光机的光学装置的体积，进一步使得曝光机设备占用较少的空间，而且体积较小的曝光机也更容易维护。以上所述仅为本技术的较佳实施例，并非用以限定本技术的专利范围，其他运用本技术的专利精神的等效变化，均应属于本技术的专利范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种曝光机的光学装置，其特征在于，包含：一发光二极管灯板，用以朝向一水平方向投射一光束；一复眼透镜组，配置在所述发光二极管灯板的投射路径上且与所述发光二极管灯板层叠排列；及一转向反射镜，配置在所述发光二极管灯板的投射路径上且所述复眼透镜组配置在所述发光二极管灯板与所述转向反射镜之间，所述转向反射镜用以将所述发光二极管灯板投射的所述光束反射而向下转向一垂直方向。

【技术特征摘要】
1.一种曝光机的光学装置，其特征在于，包含：一发光二极管灯板，用以朝向一水平方向投射一光束；一复眼透镜组，配置在所述发光二极管灯板的投射路径上且与所述发光二极管灯板层叠排列；及一转向反射镜，配置在所述发光二极管灯板的投射路径上且所述复眼透镜组配置在所述发光二极管灯板与所述转向反射镜之间，所述转向反射镜用以将所述发光二极管灯板投射的所述光束反射而向下转向一垂直方向。2.如权利要求1所述的曝光机的光学装置，其特征在于，其中所述复眼透镜组包含一聚光复眼透镜，所述聚光复眼透镜配置在所述发光二极管灯板的投射路径上用以聚集所述发光二极管灯板发出的所述光束。3.如权利要求2所述的曝光机的光学装置，其特征在于，其中所述聚光复眼透镜与所述发光二极管灯板紧邻且相互间隔配置。4.如权利要求2所述的曝光机的光学装置，其特征在于，其中所述复眼透镜组包含一均化复眼透镜，所述均化复眼透镜配置在所述发光二极管灯板的投射路径上，且所述聚光...

【专利技术属性】
技术研发人员：李致齐，
申请(专利权)人：科毅科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71