曝光机灯板散热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种曝光机灯板散热装置，其包含一循环管路、一致冷模块、一温控模块以及一热交换模块；循环管路填充有一工作流体；致冷模块连通循环管路且致冷模块将输入致冷模块的工作流体降温至低于环境空气的室温后输出；温控模块连通循环管路且热连接环境空气，致冷模块输出的工作流体输入温控模块与环境空气热交换后再输出；热交换模块热连接一发光二极管灯板，温控模块输出的工作流体输入热交换模块与发光二极管灯板热交换后再输出至循环管路中；由此可避免发光二极管灯板上产生凝结水。

【技术实现步骤摘要】
曝光机灯板散热装置
本技术是有关于一种散热装置，尤其是关于一种能够避免发光二极管灯板上凝水的曝光机灯板散热装置。
技术介绍
现有的曝光机常使用发光二极管灯板作为曝光光源，为了避免发光二极管灯板在曝光机长时间操作下过热损毁，发光二极管灯板一般会配置散热装置。一般的散热装置为气冷式及水冷式，其中气冷式的散热装置构造简单但散热效率不高，不适合长时间使用；水冷式的散热装置散热效率佳，为较常见的散热装置。水冷式的散热装置由致冷芯片或是压缩机冷却工作流体，工作流体经冷却后其温度一般低于室温。由低于室温的工作流体与发光二极管灯板进行热交换而移除发光二极管灯板在工作中产生的热能。此水冷式散热装置的缺点在于，冷却后的低温工作流体与环境空气温差过大，一旦发光二极管灯板被冷却至低于环境空气温度，则环境空气中的水分将凝结在发光二极管灯板而影响曝光制程的优良率。
技术实现思路
本技术提供一种能够避免发光二极管灯板上凝水的曝光机灯板散热装置。本技术提供一种曝光机灯板散热装置，其包含一循环管路、一致冷模块、一温控模块以及一热交换模块。循环管路填充有一工作流体。致冷模块连通循环管路且致冷模块将输入致冷模块的工作流体降温至低于环境空气的室温后输出。温控模块连通循环管路且热连接环境空气，致冷模块输出的工作流体输入温控模块与环境空气热交换后再输出。热交换模块热连接一发光二极管灯板，温控模块输出的工作流体输入热交换模块与发光二极管灯板热交换后再输出至循环管路中。本技术的曝光机灯板散热装置还包含连通循环管路的一水泵。本技术的曝光机灯板散热装置可以还包含连通循环管路用以储存工作流体的一缓冲槽，其缓冲槽与环境空气绝热。本技术的曝光机灯板散热装置，其温控模块包含一风扇。循环管路与环境空气绝热。温控模块曝露在环境空气中。热交换模块贴附发光二极管灯板。本技术的曝光机灯板散热装置，其温控模块连通在致冷模块及热交换模块之间。工作流体沿工作流体的循环方向依序通过致冷模块、温控模块及热交换模块。本技术的曝光机灯板散热装置由配置热连接环境空气的温控模块而能够将致冷模块输出的工作流体调整为接近室温的温度，因此能够避免发光二极管灯板过冷而在其上产生凝结水。附图说明图1为本技术曝光机灯板散热装置的较佳实施例的示意图。图中符号表示：10发光二极管灯板；100循环管路；200致冷模块；300温控模块；310风扇；400热交换模块；500水泵；600缓冲槽。具体实施方式参阅图1所示，本技术的较佳实施例提供一种曝光机灯板散热装置，其包含一循环管路100、一致冷模块200、一温控模块300、一热交换模块400、一水泵500以及一缓冲槽600。循环管路100为封闭管路，循环管路100内填充有一工作流体(图未示)。在本实施例中，循环管路100较佳地可以包覆绝热材料(图未示)而使循环管路100内部与环境空气绝热，由此阻断循环管路100内的工作流体与环境空气之间的热交换。致冷模块200连通设置在循环管路100上，在本实施例中，致冷模块200较佳地由热电转换的方式将输入致冷模块200的工作流体降温至低于环境空气的室温后输出。温控模块300连通设置在循环管路100上，而且温控模块300热连接环境空气，在本实施例中，温控模块300较佳地曝露在环境空气中。温控模块300连通在致冷模块200及热交换模块400之间，工作流体沿工作流体的循环方向依序通过致冷模块200、温控模块300及热交换模块400。致冷模块200输出的工作流体输入温控模块300与环境空气热交换后再输出。其中，温控模块300包含有至少一风扇310，风扇310能够驱使环境空气流动通过温控模块300而与输入温控模块300的工作流体进行热交换。热交换模块400热连接一发光二极管灯板10，较佳地，热交换模块400贴附于发光二极管灯板10而热连接发光二极管灯板10。温控模块300输出的工作流体输入热交换模块400与发光二极管灯板10热交换后再输出至循环管路100中且输送至致冷模块200降温以供进行下一次循环。水泵500连通循环管路100，其可以设置在循环管路100上的任意位置以驱动工作体在循环管路100内循环流动。缓冲槽600连通循环管路100，缓冲槽600用以储存工作流体，由缓冲槽600内的工作流体能够调节循环管路100内循环流动的工作流体的流量以及温度，因此能够稳定循环管路100内的工作流体流畅，避免突然的流量、流速或温度变化。其中，缓冲槽600较佳地可包覆绝热材料(图未示)而使缓冲槽600内部与环境空气绝热，由此阻断缓冲槽600内的工作流体与环境空气之间的热交换。本技术的曝光机灯板散热装置由配置热连接环境空气的温控模块300而能够将致冷模块200输出的工作流体调整为接近室温的温度，因此能够避免发光二极管灯板10过冷使其上产生凝结水。以上所述仅为本技术的较佳实施例，并非用以限定本技术的专利范围，其他运用本技术的专利精神的等效变化，均应属于本技术的专利范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种曝光机灯板散热装置，其特征在于，包含：一循环管路，所述循环管路填充有一工作流体；一致冷模块，连通所述循环管路且所述致冷模块将输入所述致冷模块的所述工作流体降温至低于环境空气的室温后输出；一温控模块，连通所述循环管路且热连接环境空气，所述致冷模块输出的所述工作流体输入所述温控模块与环境空气热交换后再输出；以及一热交换模块，热连接一发光二极管灯板，所述温控模块输出的所述工作流体输入所述热交换模块与所述发光二极管灯板热交换后再输出至所述循环管路中。

【技术特征摘要】
1.一种曝光机灯板散热装置，其特征在于，包含：一循环管路，所述循环管路填充有一工作流体；一致冷模块，连通所述循环管路且所述致冷模块将输入所述致冷模块的所述工作流体降温至低于环境空气的室温后输出；一温控模块，连通所述循环管路且热连接环境空气，所述致冷模块输出的所述工作流体输入所述温控模块与环境空气热交换后再输出；以及一热交换模块，热连接一发光二极管灯板，所述温控模块输出的所述工作流体输入所述热交换模块与所述发光二极管灯板热交换后再输出至所述循环管路中。2.如权利要求1所述的曝光机灯板散热装置，其特征在于，还包含连通所述循环管路的一水泵。3.如权利要求1所述的曝光机灯板散热装置，其特征在于，还包含连通所述循环管路用以储存所述工作流体的一缓冲槽。4.如权利要求3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李致齐，
申请(专利权)人：科毅科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71