【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种光波导器件的制造方法和光波导器件，特别是，涉及一种在分支部分没有对光波导的传输效率具有不良影响的气泡的、树脂制成的光波导器件的制造方法和光波导器件。
技术介绍
随着近年来个人计算机或因特网的普及，信息传送需求急剧增加。为此，希望将传输速度快的光传输普及到个人计算机等的终端信息处理装置。为了实现这一点，必须低成本且大量地制造光相互连接用的高性能的光波导。作为光波导的材料，已知玻璃或半导体材料等的无机材料和树脂。由无机材料制造光波导时，使用真空蒸镀装置或溅射装置等成膜装置形成无机材料膜，使用通过蚀刻将其制造成所希望的光波导形状的方法。可是，真空蒸镀装置或溅射装置因必须要有真空排气设备，装置庞大且造价高。另外，因必须要有真空排气工序，使得工序变得复杂。与此相反，由树脂制造光波导时，由于成膜工序的涂布和加热可在大气压中进行，因而具有装置和工序简单的优点。另外，作为构成光波导的芯层和包层的树脂，尽管已知各种，但特别期待玻璃转移温度(Tg)较高且耐热性优良的聚酰亚胺。由聚酰亚胺形成光波导的芯层和包层时，能够期待有长时间的可靠性，也可耐软钎焊。这样的聚合物...
【技术保护点】
一种光波导器件的制造方法，其特征在于，具有以下工序：在具备下部包层的基片上形成第１树脂膜的第１工序，将所述的第１树脂膜形成光波导形状图案以形成芯层的第２工序，在所述下部包层和所述芯层表面、通过旋转涂布法涂布第２树脂膜的材料溶液并使其干燥以使干燥膜厚从下部包层的上面其为芯层的厚度的３～１０倍、从而形成第２树脂膜的第３工序，在所述第３工序中，设有抑制第２树脂膜的材料溶液的溶剂的蒸发速度的手段。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：黑田敏裕，近藤圆华，
申请(专利权)人：日立化成工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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