【技术实现步骤摘要】
感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法、印刷线路板的制造方法本申请是申请日为2012年5月9日、中国申请号为201210141658.5的专利申请的分案申请。
本专利技术涉及感光性树脂组合物及使用了该感光性树脂组合物的感光性元件、抗蚀图案的形成方法以及印刷线路板的制造方法。
技术介绍
近年来,伴随着半导体元件的轻薄短小化、少量多品种化的不断发展,用于将IC芯片搭载于基板上的BGA(BallGridArray,球阵列封装)等半导体封装也不断多引脚化、狭小化,对搭载它们的印刷线路板也要求高密度化。以往,在印刷线路板的制造领域中,作为蚀刻或镀覆等中使用的抗蚀剂材料,一直在广泛使用由支撑膜、层叠于该支撑膜上的由感光性树脂组合物构成的感光性树脂组合物层和将该感光性树脂组合物层覆盖的保护膜所构成的感光性元件。印刷线路板通过使用感光性元件并采用以下所示的方法来制造。首先,一边将感光性元件的保护膜剥离,一边将感光性树脂组合物层层叠(laminate)在基板上。接着,对感光性树脂组合物层的规定部分照射活性光线以使曝光部分固化。剥离除去支撑膜后,将未曝光部分从基板上除去(显影),从而在基板上形成由感光性树脂组合物的固化物构成的抗蚀图案。对形成有抗蚀图案的基板,实施蚀刻处理或镀覆处理而在基板上形成电路后,最后将抗蚀剂剥离除去,由此来制造印刷线路板。特别是在半导体封装搭载基板的制造中,在形成抗蚀图案后进行镀覆处理、抗蚀剂剥离、软蚀刻的半加成制程(SAP)已成为主流。对于上述半加成制程(SAP)中使用的感光性树脂组合物,要求能形成与以往的感光性树脂组合物相比更微细的布线。 ...
【技术保护点】
1.一种感光性树脂组合物,其含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物和(C)光聚合引发剂,所述(A)成分含有50~80质量%的(a1)来自(甲基)丙烯酸苄基酯衍生物的结构单元、5~40质量%的(a2)来自苯乙烯衍生物的结构单元、1~20质量%的(a3)来自(甲基)丙烯酸烷基酯的结构单元、以及5~30质量%的(a4)来自(甲基)丙烯酸的结构单元,所述(A)成分的酸值为13~78mgKOH/g。
【技术特征摘要】
2011.05.10 JP 2011-1054411.一种感光性树脂组合物,其含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物和(C)光聚合引发剂,所述(A)成分含有50~80质量%的(a1)来自(甲基)丙烯酸苄基酯衍生物的结构单元、5~40质量%的(a2)来自苯乙烯衍生物的结构单元、1~20质量%的(a3)来自(甲基)丙烯酸烷基酯的结构单元、以及5~30质量%的(a4)来自(甲基)丙烯酸的结构单元,所述(A)成分的酸值为13~78mgKOH/g。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,所述(A)成分的酸值为39~65mgKOH/g。3.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,所述(A)成分的酸值为52~62mgKOH/g。4.根据权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物,所述(甲基)丙烯酸烷基酯中的烷基是直链状或支链状的碳原子数为1~12的烷基。5.根据权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物,所述(甲基)丙烯酸烷基酯中的烷基是直链状或支链状的碳原子数为1~8的烷基。6.根据权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物,所述(甲基)丙烯酸烷基酯中的烷基是直链状的碳原子数为1~4的烷基。7.根据权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物,所述(甲基)丙烯酸烷基酯中的烷基是甲基。8.根据权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物,所述粘合剂聚合物含有50~75质量%的(a1)来自(甲基)丙烯酸苄基酯衍生物的结构单元。9.根据权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物,所述粘合剂聚合物含有50~70质量%的(a1)来自(甲基)丙烯酸苄基酯衍生物的结构单元。10.根据权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物,所述粘合剂聚合物含有50~65质量%的(a1)来自(甲基)丙烯酸苄基酯衍生物的结构单元。11.根据权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物,所述粘合剂聚合物含有5~35质量%的(a2)来自苯乙烯衍生物的结构单元。12.根据权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物,所述粘合剂聚合物含有1~15质量%的(a3)来自(甲基)丙烯酸烷基酯的结构单元。13.根据权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物,所述粘合剂聚合物含有1~10质量%的(a3)来自(甲基)丙烯酸烷基酯的结构单元。14.根据权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物,所述粘合剂聚合物含有1~5质量%的(a3)来自(甲基)丙烯酸烷基酯的结构单元。15.根据权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物,所述粘合剂聚合物含有5~25质量%的(a4)来自(甲基)丙烯酸的结构单元。16.根据权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物,所述粘合剂聚合物含有10~25质量%的(a4)来自(甲基)丙烯酸的结构单元。17.根据权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物,所述(A)粘合剂聚合物的重均分子量为20000~150000。18.根据权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物,所述(A)粘合剂聚合物的重均分子量为30000~100000。19.根据权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物,所述(A)粘合剂聚合物的重均分子量为40000~80000。20.根据权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物,所述(A)粘合剂聚合物的重均分子量为40000~60000。2...
【专利技术属性】
技术研发人员:深谷雄大,宫坂昌宏,矶纯一,
申请(专利权)人:日立化成工业株式会社,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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