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本发明提供一种光波导器件的制造方法及光波导器件。光波导器件的制造方法，具有以下工序：在具备下部包层的基片上形成第１树脂膜的第１工序，将所述的第１树脂膜形成光波导形状图案以形成芯层的第２工序，在所述下部包层和所述芯层表面、通过旋转涂布法涂布第...
该专利属于日立化成工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日立化成工业株式会社授权不得商用。

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