【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种制造光学多层膜滤波器的方法，其中光学多层膜滤波器在光通信中多路传输或分路传输特定波长的光，并且特别涉及一种制造光学多层膜滤波器的方法，该光学多层膜滤波器由通过在形成多层膜之后除去用于形成多层膜的基板而成的多层膜组成，即所谓的无基板滤波器，和涉及该光学多层膜滤波器。
技术介绍
多路传输和分路传输特定波长的光的光学多层膜滤波器在用于光通信系统的光学设备和光学部件中起着重要作用。这是一种具有在基板上形成的透明多层膜且通过光的薄膜干涉而多路传输或分路传输特定波长光的滤波器。通过把它在光路中插入而使用。随着小型设备的趋势，要求有更薄的滤波器以减少光学多层膜滤波器自身的光学损失。现在，要求光学多层膜滤波器的厚度为大约几十微米或更小，也需要进一步更薄的滤波器。作为解决这些需求的方法，有一种方法使用例如氟化聚酰亚胺的树脂作为基板，替代脆、可加工性差且产率低的常规的玻璃基板光学多层膜滤波器。通过此方法可以以高产率制造厚度为大约几十微米或更低的光学多层膜滤波器(例如，参见专利公开1)。然而，技术的发展产生了为进一步降低光学损失而对更薄的光学多层膜滤波器的需求。一...
【技术保护点】
制造光学多层膜滤波器的方法，其包括如下步骤：在基板上形成树脂层；在所述树脂层上形成光学多层膜；和将所述光学多层膜从与所述树脂层的界面剥离。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：山口庆和，米仓正明，大槻东洋，
申请(专利权)人：中央硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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