薄膜磁头制造技术

对于ＴＭＲ元件，电极用作磁屏蔽，或者反之亦然。这产生这样一种问题：来自加热器源或电磁感应的噪声对于ＴＭＲ元件即对于读信号具有直接影响。薄膜磁头部分１ｂ具有按如下顺序从滑块１ａ侧层叠的绝缘膜１５０、加热器４、电磁屏蔽５０、读元件２及写元件３；将以上构成元件彼此隔离的绝缘膜１５２、及覆盖上述全部的保护膜１５４。加热器４是由ＮｉＣｒ等制成的薄膜电阻性元件，并且布置在绝缘膜１５０上方。电磁屏蔽５０是由坡莫合金等制成的磁性膜，并且覆盖加热器４。读元件２包括下部屏蔽和电极２１、ＴＭＲ元件２３、及上部屏蔽和电极２４。写元件３包括下部磁极片３１、上部磁极片３３、及形成在它们之间的线圈３５。薄膜磁头部分１ｂ形成有共用终端Ｃ。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种安装在磁盘驱动器上的薄膜磁头，并且更具体地说，涉及一种具有浮动高度调节性能的薄膜磁头。
技术介绍
磁盘驱动器包括旋转磁盘、和由悬架支撑并且定位在磁盘的径向方向上的薄膜磁头。磁头在磁盘上方相对地行驶的同时，从磁盘读出和向其写入磁性数据。磁头的滑块设计成，通过空气润滑支承也就是空气楔膜效应的帮助而浮动，从而滑块不与磁盘进行直接接触。为了实现磁盘驱动器的较高记录密度，并由此增大容量和减小其尺寸，有效的是，通过减小在滑块与磁盘之间的距离即滑块的浮动高度，而增大线记录密度。滑块浮动高度的传统设计允许由加工变化、使用环境的温度差、在读与写之间的浮动高度差等导致的浮动高度减小，并且已经设有浮动高度余量，以便甚至在最坏情况下防止滑块与磁盘之间的接触。如果使用具有根据用于每个薄膜磁头的使用条件而调节浮动高度的性能的滑块，则有可能消除上述余量，并由此显著减小读/写元件的浮动高度，同时防止在滑块与盘之间的接触。专利文件1提供一种滑块结构，在该滑块结构中，由薄膜电阻性元件制成的加热器提供在写元件和读元件的附近，如有必要则加热滑块的部分以便为了突出而热膨胀，由此调节在写元件和读元件与磁性记录介质之间的距离。然而，如果加热器被提供以调节浮动高度，那么在读和写元件中的线数和布置在磁头后端面上的终端数量将增大。在连接到终端上的悬架上的线数也增大，因而使线之间的每个空隙变窄。这在写入期间造成从写元件线到读元件线的交扰问题。为了解决交扰问题，专利文件2公开了几种结构，在这些结构中读元件线被布置为放在悬架上的加热器线之间；并且加热器线布置在悬架上的写元件线与读元件线之间。日本专利公开No.2004-342151[专利文件2]日本专利公开No.2004-192742
技术实现思路
如在专利文件2中描述的那样，其中读元件线被布置为放在加热器线之间并且加热器线布置在写元件线与读元件线之间的结构，可避免由写元件的高频率电流和由加热器电流的接通和切断所造成的交扰电流对于读元件的不利影响。然而，如果使用TMR(隧道磁阻)元件作为读元件，则它把电极用作磁屏蔽，或者反之亦然。这产生这样一种问题由于来自加热器源的噪声或电磁感应而施加到加热器线上的噪声对于TMR元件即对于读信号具有直接影响。本专利技术的目的是，减小加热器对于薄膜磁头的读元件的电磁不利影响。一种典型的薄膜磁头包括滑块；和薄膜磁头部分，提供在滑块的尾端面上，并且具有加热器、读元件、写元件、保护膜、及提供在加热器与读元件之间的电磁屏蔽。读元件包括下部屏蔽和电极、上部屏蔽和电极、及布置在下部屏蔽和电极与上部屏蔽和电极之间的TMR(隧道磁阻)元件。电磁屏蔽被提供在下部屏蔽和电极与加热器之间。而且，本专利技术的薄膜磁头包括共用终端，提供在薄膜磁头部分的磁道横向中央部分附近的位置处；读元件终端、写元件终端、加热器终端及接地终端，提供在薄膜磁头部分的端面上，加热器终端和接地终端位于读元件终端和写元件终端的两侧；及电磁屏蔽的地线。读元件和写元件连接到共用终端上，并且共用终端、滑块及加热器的地线连接到接地终端上。本专利技术可减小加热器对于薄膜磁头的读元件的电磁不利影响。附图说明图1是横断面图(沿图2的线A-A得到的横断面图)，表明根据本专利技术的实施例的一种薄膜磁头的薄膜磁头部分的构造。图2表明根据本专利技术的实施例的薄膜磁头的整个构造。图3是示意图，表明在加热器与电磁屏蔽之间的布置关系。图4是从空气支承表面所看到的薄膜磁头部分的磁头元件和终端的布线结构的示意图。图5是从空气支承表面所看到的作为另一个例子的薄膜磁头部分的磁头元件和终端的布线结构的示意图。图6是从空气支承表面所看到的作为另一个例子的薄膜磁头部分的磁头元件和终端的布线结构的示意图。图7是硬盘驱动器的平面图，本专利技术的薄膜磁头安装在该硬盘驱动器上。图8是保持根据本专利技术的薄膜磁头的磁头万向支架组件的立体图。具体实施例方式下面参照附图将描述本专利技术的优选实施例。注意，类似附图标记在所有附图中指示类似或对应元件，并且为了清楚起见省略对其的重复解释。为了便于本专利技术的理解，将首先描述硬盘驱动器(HDD)的整体构造。图7是示意平面图，表明HDD的构造。HDD 100包括磁盘101，作为适于在其中记录数据的记录介质。磁盘101是通过磁化磁性层而在其中存储数据的非易失性存储器。HDD 100的构成元件容纳在基座102中。基座102经垫片(未示出)固定到封闭基座102的上部开口的盖(未示出)上，以构成盘外壳，所有构成元件密封地容纳在该盘外壳内。磁盘101固定到主轴电机103上。薄膜磁头105具有适于从磁盘101读出和/或向其写入数据的磁头元件部分，数据输入到主机(未示出)/从其输出。磁头元件部分包括写元件和/或读元件及滑块，写元件和/或读元件在该滑块的表面上形成。写元件按照写入到磁盘上的数据把电信号转换成磁场。读元件把来自磁场的电场转换成电信号。致动器106保持和移动薄膜磁头105。致动器106由枢轴107枢转地保持，并且由作为驱动机构的音圈电机(VCM)驱动。致动器106包括诸如悬架110、臂111、线圈支撑件112及扁平线圈113之类的构件，这些构件按这个顺序从纵向引导端连接，该纵向引导端上布置有磁头105。注意，以后将详细说明悬架110的构造。VCM 109包括扁平线圈113、固定到上部磁性保持板114上的定子磁铁(未示出)、及固定到下部定子磁性保持板上的定子磁铁(未示出)。磁盘101由固定到基座102的底部表面上的主轴电机103以整体方式保持，并且由主轴电机103以期望速度旋转地驱动。磁盘101在图7中逆时针旋转。当HDD不操作时，磁盘101静止。VCM 109允许致动器106响应从控制器(未示出)到扁平线圈113的驱动信号绕枢轴107横向枢转。因而，致动器106可在磁盘101上方移动磁头105。为了从磁盘101读出/向其写入数据，致动器106把磁头105移动到在旋转磁盘101的表面上的数据区域上方。致动器106的枢转运动沿着磁盘101的径向表面移动磁头105。因而，磁头105可访问期望磁道。在磁头105与控制器之间的信号由迹线201或传输线及FPC 117传输。当在由在面对磁盘101的滑块的ABS(空气支承表面)与旋转磁盘101之间的空气的粘度所造成的压力与悬架110向磁盘101施加的压力之间建立平衡时，磁头105与磁盘101之间成固定间隙地在磁盘101上方浮动。当磁盘101停止旋转时，磁头105将与磁盘101的表面进行接触。这可能产生这样一种问题吸附现象引起在磁盘101的数据区域上的划痕或擦痕，或者使磁盘不能旋转。为了防止这样的问题，当磁盘101的旋转停止时，致动器106允许磁头105从数据区域收回到斜坡机构115上。致动器106转向斜坡机构115，在致动器的末端处形成的凸出部116在斜坡机构115的表面上滑动地运动，并且然后搁置在斜坡机构115的停泊表面上。由此，卸载磁头105。当加载磁头105时，搁置在停泊表面上的凸出部116离开斜坡机构115，并且然后磁头105移动到磁盘101的表面上方。应该注意，在采用加载和卸载系统的同时，以上描述的HDD可以采用CSS(接触启动和停止)系统。在CSS系统中，在磁头105不进行数据读/与过程的同时，它收回到磁盘本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜磁头，包括：滑块；和薄膜磁头部分，提供在滑块的尾端面上，并且包括加热器、读元件、写元件、保护膜以及提供在加热器与读元件之间的电磁屏蔽。

【技术特征摘要】
JP 2006-4-12 2006-1097141.一种薄膜磁头，包括滑块；和薄膜磁头部分，提供在滑块的尾端面上，并且包括加热器、读元件、写元件、保护膜以及提供在加热器与读元件之间的电磁屏蔽。2.根据权利要求1所述的薄膜磁头，其中，薄膜磁头部分包括按所述顺序从滑块的尾端面层叠的加热器、电磁屏蔽、读元件、写元件及保护膜。3.根据权利要求1所述的薄膜磁头，其中，加热器包括薄膜电阻性元件和从该薄膜电阻性元件的两端延伸的引线，并且电磁屏蔽提供成至少覆盖薄膜电阻性元件和引线。4.根据权利要求1所述的薄膜磁头，其中，构成电磁屏蔽的磁性薄膜具有比加热器的面积更大的面积。5.根据权利要求1所述的薄膜磁头，其中，读元件包括下部屏蔽和电极、上部屏蔽和电极、及布置在下部屏蔽和电极与上部屏蔽和电极之间的TMR(隧道磁阻)元件，并且电磁屏蔽提供在下部屏蔽和电极与加热器之间。6.一种薄膜磁头，包括滑块；薄膜磁头部分，层叠地提供在滑块的尾端上，并且包括加热器、电磁屏蔽、读元件、写元件、及保护膜，该保护膜覆盖加热器、电磁屏蔽、读元件及写元件；共用终端，提供在薄膜磁头部分的磁道横向中央部分附近的位置处；及读元件终端、写元件终端及加热器终端，提供在薄膜磁头部分的端面上，加热器终端位于读元件终端和写...

【专利技术属性】
技术研发人员：大津孝佳，西山延昌，
申请(专利权)人：日立环球储存科技荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[荷兰]