放射线探测器制造技术

技术编号:2657762 阅读:203 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种放射线探测器,包括: 绝缘衬底,被形成为具有用于存储电荷的电容器和读出电荷的开关元件; 载流子收集电极,形成在该绝缘衬底上并电连接至该电荷储存电容器; 放射线感应型半导体厚膜,形成在该载流子收集电极上,用以通过放射线的入射产生电荷转移介质; 电压施加电极,形成在该半导体厚膜的表面上;以及 具有高耐压特性的绝缘物质,形成在该半导体厚膜与该电压施加电极的端部边缘部分之间,其中电荷通过放射线的照射在该半导体厚膜处产生,并被存储在电荷储存电容器中,并作为放射线探测信号经由开关元件读出。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:佐藤贤治德田敏
申请(专利权)人:株式会社岛津制作所
类型:发明
国别省市:

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