感放射线性树脂组合物、红外线遮蔽膜及其形成方法、固体摄像元件以及照度传感器技术

本发明专利技术提供一种感放射线性树脂组合物、红外线遮蔽膜及其形成方法、固体摄像元件以及照度传感器。利用本发明专利技术所涉及的感放射线性树脂组合物，可形成具有高的红外线遮蔽性的膜。该红外线遮蔽膜可用于固体摄像元件、照度传感器中。该感放射线性树脂组合物含有[A]在同一或不同聚合物分子中具有含有酸解离性基的结构单元与含有交联性基的结构单元的聚合物、[B]感放射线性产酸体、以及[C]红外线遮蔽材。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种感放射线性树脂组合物、红外线遮蔽膜、其形成方法、及固体摄像元件、照度传感器。
技术介绍
在智能手机、摄像机等中使用作为彩色图像固体摄像元件的互补金属氧化物半导体(Complementary Metal Oxide Semiconductor，CMOS)图像传感器芯片。这些固体摄像元件在其受光部中使用对近红外线具有灵敏度的硅光电二极管，因此要求对可见度进行校正，因而使用红外线截止滤光片(例如参照专利文献1)。而且，在智能手机等中搭载有照度传感器，在室内、室外的画面亮度调整等中使用，因而使用红外线截止滤光片(例如参照专利文献2)。然而存在如下问题：如果如上所述地使固体摄像元件基板等的表面与红外线截止滤光片隔着空间相对，则固体摄像元件对所接收的光的入射角依存性变大，此成为运转失常(malfunction)的原因。为了降低红外线截止滤光片的入射角依存性，进行了在基板上形成硬化性树脂组合物膜的尝试(例如参照专利文献3)。然而，这些硬化性树脂组合物难以高灵敏度、图案化性良好地形成红外线遮蔽膜的图案。因此，自固体摄像元件或照度传感器的生产性提高的观点考虑，要求可高灵敏度地形成红外线遮蔽膜的图案，图案化性优异的感放射线性树脂组合物。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2012-28620号公报[专利文献2]日本专利特开2011-60788号公报[专利文献3]日本专利特开2012-189632号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]本专利技术是基于如上所述的事实而成的，其目的在于提供可高灵敏度地形成红外线遮蔽膜的图案，遮蔽性、耐化学品性、折射率优异的感放射线性树脂组合物，提供包含由该感放射线性树脂组合物而形成的红外线遮蔽膜的固体摄像元件、照度传感器、以及红外线遮蔽膜的形成方法。[解决问题的技术手段]为了解决所述课题而成的专利技术可通过含有：[A]在同一或不同聚合物分子中具有含有酸解
离性基的结构单元与含有交联性基的结构单元的聚合物、[B]感放射线性产酸体、以及[C]红外线遮蔽材的感放射线性树脂组合物而达成；进一步通过所述酸解离性基是下述式(1)所表示的基及下述式(2)所表示的基中的至少一个的根据技术方案1所述的感放射线性树脂组合物而达成。[化1](式(1)中，R1及R2分别独立为氢原子、碳数1～30的烃基、或碳数1～30的烃基所具有的氢原子的一部分被羟基、卤素原子或氰基取代的基。其中，并无R1及R2均为氢原子的情况。R3是碳数1～30的氧基烃基、碳数1～30的烃基、或碳数1～30的烃基所具有的氢原子的一部分被羟基、卤素原子或氰基取代的基。式(2)中，R4～R10分别独立为氢原子或碳数1～12的烃基。n是1或2。*表示键结位)而且，为了解决所述课题而成的另一专利技术可通过由该感放射线性树脂组合物而形成的红外线遮蔽膜、包含该红外线遮蔽膜的固体摄像元件或照度传感器而达成。另外可通过如下的红外线遮蔽膜的形成方法而达成：其包含在基板上形成涂膜的步骤、对所述涂膜的至少一部分照射放射线的步骤、对所述照射了放射线的涂膜进行显影的步骤、及对所述进行了显影的涂膜进行加热的步骤，使用本专利技术的感放射线性树脂组合物而形成所述涂膜。[专利技术的效果]本专利技术是基于如上所述的事实而成的，其目的在于提供可高灵敏度地形成红外线遮蔽膜的图案，红外线遮蔽性、耐化学品性、折射率优异的感放射线性树脂组合物，而且提供包含由该感放射线性树脂组合物而形成的红外线遮蔽膜的固体摄像元件、照度传感器、以及红外线遮蔽膜的形成方法。可提供由该感放射线性树脂组合物而形成的红外线遮蔽膜及其形成方法、以及包含该红外线遮蔽膜的固体摄像元件。因此，该感放射线性树脂组合物、该红外线遮蔽膜及其形成方法可在固体摄像元件、照度传感器等的制造工艺中适宜地使用。附图说明图1是表示包含本专利技术的实施方式的固体摄像元件的相机模块的构成的概略图。图2是表示本专利技术的实施方式的照度传感器的构成的概略图。附图标记说明：1：照度传感器2：照度传感器部4：玻璃环氧树脂基板(基板)6：照度传感器受光元件8：距离检测用受光元件10：红外线发光元件(发光元件)12：金线16：树脂18：红外线遮蔽膜30：玻璃基板40：摄像透镜42：红外线遮蔽膜/近红外线截止滤光片44：遮光兼电磁屏蔽材50：透镜支架60：焊球70：电路基板100：固体摄像元件基板200：相机模块具体实施方式<感放射线性树脂组合物>本专利技术的感放射线性树脂组合物是含有[A]在同一或不同聚合物分子中具有含有酸解离性基的结构单元与含有交联性基的结构单元的聚合物、[B]感放射线性产酸体、以及[C]红外线遮蔽材的感放射线性树脂组合物。另外，该感放射线性树脂组合物还可以在不损及本专利技术的效果的范围内含有其他任意成分。以下，关于各成分加以详述。<[A]聚合物成分>聚合物成分具有含有酸解离性基的第1结构单元与含有交联性基的第2结构单元。[A]聚合物成分具有所述结构单元，因此该感放射线性树脂组合物的灵敏度优异，且可抑制显影步骤后、后烘烤步骤后的未曝光部的膜厚变化。而且，[A]聚合物成分还可以在不损及本专利技术的效果的范围内具有其他结构单元。另外，[A]聚合物成分还可以具有两种以上各结构单元。[A]聚合物成分例如可列举：(1)含有具有第1结构单元及第2结构单元的聚合物的聚合物成分、(2)含有具有第1结构单元的第1聚合物与具有第2结构单元的第2聚合物的聚合物成
分等。以下，关于第1结构单元、第2结构单元及其他结构单元而加以详述。[第1结构单元]第1结构单元具有酸解离性基。该酸解离性基作为在聚合物中保护羧基或酚性羟基等的保护基而起作用。具有此种保护基的聚合物通常不溶或难溶于碱性水溶液。该聚合物由于保护基是酸解离性基，因此保护基由于酸的作用而裂解，由此变得可溶于碱性水溶液中。该感放射线性树脂组合物通过使[A]聚合物成分具有第1结构单元而实现高的放射线灵敏度，变得可提高由显影等所得的图案形状的稳定性。作为含有酸解离性基的第1结构单元，优选为含有下述式(1)或下述式(2)所表示的基的结构单元。[化2]式(1)中，R1及R2分别独立为氢原子、碳数1～30的烃基、或碳数1～30的烃基所具有的氢原子的一部分被羟基、卤素原子或氰基取代的基。其中，并无R1及R2均为氢原子的情况。R3是碳数1～30的氧基烃基、碳数1～30的烃基、或碳数1～30的烃基所具有的氢原子的一部分被羟基、卤素原子或氰基取代的基。式(2)中，R4～R10分别独立为氢原子或碳数1～12的烃基。n是1或2。*表示键结位。作为具有所述式(1)所表示的基的结构单元，例如可列举下述式(1-1)～式(1-10)所表示的结构单元等。[化3]所述式(1-1)～式(1-10)中，R12表示氢原子或甲基。作为提供第1结构单元的式(1-1)～式(1-10)所表示的结构单元的单体，例如可列举甲基丙烯酸-1-乙氧基乙酯、甲基丙烯酸-1-丁氧基乙酯、甲基丙烯酸-1-(三环癸基氧基)乙酯、甲基丙烯酸-1-(五环十五烷基甲基氧基)乙酯、甲基丙烯酸-1-(五环十五烷基氧基)乙酯、甲基丙烯酸-1-(四环十二烷基甲基氧基)乙酯、甲基丙烯酸-1-(金刚烷基氧基)乙酯等。作为具有所述式(2)所表示的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感放射线性树脂组合物，其特征在于，含有：[A]在同一或不同聚合物分子中具有含有酸解离性基的结构单元与含有交联性基的结构单元的聚合物、[B]感放射线性产酸体、以及[C]红外线遮蔽材。

【技术特征摘要】
2015.04.24 JP 2015-0898801.一种感放射线性树脂组合物，其特征在于，含有：[A]在同一或不同聚合物分子中具有含有酸解离性基的结构单元与含有交联性基的结构单元的聚合物、[B]感放射线性产酸体、以及[C]红外线遮蔽材。2.根据权利要求1所述的感放射线性树脂组合物，其特征在于，所述酸解离性基是下述式(1)所表示的基及下述式(2)所表示的基中的至少一个；式(1)中，R1及R2分别独立为氢原子、碳数1～30的烃基、或碳数1～30的烃基所具有的氢原子的一部分被羟基、卤素原子或氰基取代的基；其中，并无R1及R2均为氢原子的情况；R3是碳数1～30的氧基烃基、碳数1～30的烃基、或碳数1～30的烃基所具有的氢原子的一部分被羟基、卤素原子或氰基取代的基；式(2)中，R4～R10分别独立为氢原子或碳数1～12的烃基；n是1或2；*表示键结位。3.根据权利要求1或2所述的感放射线性树脂组合物，其特征在于，所述交联性基是选自由环氧基、脂环环氧基、(甲基)丙烯酰基及乙烯基所构成的群组的至少一种。4.根据权利要求1或2所述的感放射线性树脂组合物，其特征在于，[B]感放射线性产酸体包含下述式(3)所表示的肟磺酸盐基；式(3)中，RB1是烷基、环烷基或芳基，这些基的氢原子的一部分或全部也可以被取代基所取代；*表示键结位。5.根据权利要求1或2所述的感放射线性树脂组合物，其特征在于，所述[C]红外线遮蔽材是选自金属氧化物、铜化合物及色素的至少一种。6.根据权利要求5所述的感放...

【专利技术属性】
技术研发人员：一戸大吾，河合孝広，
申请(专利权)人：JSR株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP