放射线检测元件及其制造方法技术

本发明专利技术涉及一种放射线元件及其制备方法。本发明专利技术的放射线元件的制备方法中，将受光元件（２）二维排列在基板上，把用信号线（３）与各行或各列受光元件（２）电连接的焊盘（４）排列在基板（１）的外周边上，在受光元件（２）和信号线（３）上设置保护用的钝化膜（５），形成受光元件阵列（６）。将ＣｓＩ柱状晶体的闪烁器（７）沉积在该受光元件阵列（６）的受光面上，并在其上沉积Ａｌ无机膜（９）夹在Ｐａｒｙｌｅｎｅ制的有机膜（８）、（１０）之间作为保护膜（１１）。在使焊盘（４）露出的位置把保护膜（１１）的外周切开，并用覆盖树脂（１２）密合在钝化膜（５）上。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
本申请是1998年2月12日递交的专利技术名称为"放射线检测元件及 其制造方法"的申请98800427. 5的分案申请本专利技术涉及放射线检测元件，特别地涉及在医疗用X射线照相等中 使用的具有大面积受光单元的放射性检测元件。在医疗、工业用的X射线照相中，虽然以前使用X射线感光胶片， 但从方便和照相结果的保存的角度考虑，使用放射线检测元件的放射线 成像系统正日益普及。在这种放射线成像系统中，使用具有多个象素的 放射性检测元件，以电信号形式取得由放射线所产生的二维图像数据， 在利用处理装置处理该信号后，在监视器上进行显示。典型的放射线检 测元件是在一维或二维排列的光检测器上配置闪烁器，由闪烁器将入射 放射线转换成光后进行检测。典型的闪烁器材料Csl是吸水性材料，它可吸收空气中的水蒸气(湿 气)并溶化。结果，就出现闪烁器的特性尤其是解像度劣化的问题。作为使闪烁器免受潮气影响的放射线检测元件的结构，已知有特开 平5- 196742号公报公开的技术。该技术通过在闪烁器层的上部形成不 透水的防湿保护层使闪烁器免受潮气的影响。然而，在该技术中，将闪烁器层外周部分的防湿保护层密合在放射 线检测元件的基本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种放射线检测元件，包括：　　　　受光元件阵列，其多个受光元件在基板上呈一维或二维排列形成其受光单元，并将与所述受光单元的各行或各列的所述受光元件电连接的多个焊盘配置在所述受光单元的外部；　　　　闪烁器层，该闪烁器层在所述受光元件上层积形成，把放射线转换成可见光；　　　　放射线可通过的耐湿保护膜，它由至少包含有机膜和在其上沉积的无机膜的两层以上的多层膜组成，在覆盖了闪烁器层的同时使所述受光元件阵列的所述焊盘部分露出；以及　　　　覆盖树脂，沿所述耐湿保护膜和受光元件阵列露出部分的边界（即边缘）用所述覆盖树脂涂敷耐湿保护膜，使所述耐湿保护膜的边缘密合在所述受光元件阵列上。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：本目卓也，高林敏雄，佐藤宏人，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]