一种静电伺服挠性加速度计制造技术

一种利用静电力产生伺服力矩的石英电容式挠性加速度计，包括控制电路、设在基座上的石英挠性摆片、传感电容器，在石英挠性摆片的两侧面对称地设置有两对金属电极，这两对金属电极分别与设置在基座上的金属电极构成传感电容Ｃ↓［１］、Ｃ↓［２］和产生静电力伺服力矩的电容Ｃ↓［３］、Ｃ↓［４］。传感电容Ｃ↓［１］、Ｃ↓［２］产生的电信号进入控制电路中的差动脉冲电路宽度调制电路后，并经比例放大电路、低通滤波电路，一路输出信号Ｖ↓［ｏｕｔ］，一路经驱动电路产生伺服静电力矩信号并输入到电容Ｃ↓［３］、Ｃ↓［４］。本实用新型专利技术由于采用静电力实现伺服闭环的技术方案，使精加工部件部件减少，可大幅度降低制造和装配成本，降幅可达１／３左右，便于推广应用。（*该技术在2012年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种加速度计量仪，特别是指一种采用静电力产生伺服力矩的石英电容式挠性加速度计。根据上述目的设计了一种静电伺服挠性加速度计，包括与石英挠性摆片相互配合的传感电容器和与它们连接的控制电路，其石英挠性摆片安设在基座或外壳上，在石英挠性摆片的两侧面对称地设置有两个金属电极，该两个金属电极分别与设置在基座或外壳上的金属电极构成传感电容C1、C2。在该石英挠性摆片的两侧面还对称地设置有另两个金属电极，该两个金属电极分别与设置在基座或外壳上的金属电极构成C3、C4。其中，传感电容C1、C2产生的电信号进入控制电路中的差动脉冲电路宽度调制电路后，并经比例放大电路、低通滤波电路，一路输出信号Vout，一路经驱动电路产生伺服静电力矩信号并输入到电容C3、C4，并在C3、C4上产生一与石英挠性摆片运动方向相反的静电力矩。另外，控制电路中还设置有防止电源波动的稳压电源电路，及为驱动电路、电容C3、C4提供基准电源的提升电压电路。本技术由于采用静电力实现伺服闭环的技术方案，使精加工部件部件减少，可大幅度降低制造和装配成本，降幅可达1/3左右，便于推广应用。后表给出了对本技术进行测试的有关数据结本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种静电伺服挠性加速度计，包括与石英挠性摆片（１）相互配合的传感电容器和与它们连接的控制电路（１０），其特征是石英挠性摆片安设在基座（２０）或外壳（２１）上，在石英挠性摆片的两侧面对称地设置有两个金属电极（７、８），该两个金属电极分别与设置在基座或外壳上的金属电极（６、９）构成传感电容Ｃ↓［１］、Ｃ↓［２］。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王福殿，吕良，杨冠，
申请(专利权)人：惠州惠台仙通智能仪表有限公司，
类型：实用新型
国别省市：44[中国|广东]