【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种梳齿式体硅加工微机械加速度计，属微机电系统领域。1998年，AD公司又推出了它的双轴加速度计产品系列。量程从±2g到±100g。如ADXL202，量程是±2g，带宽可以通过外界电容一直调到5KHz，噪音指数是 ，并且采用了脉冲调制占空比输出，直接可以进入单片机处理，或者通过滤波可以转换成模拟量。梳齿式微机械结构是微机械传感器的一种典型结构，已有的梳齿式微机械结构为面加工定齿均匀配置结构。但由于表面加工得到的梳齿式结构测量电容偏小，影响了梳齿式微机械传感器分辨率和精度的进一步提高。用体硅加工代替表面加工是克服上述缺点的有效途径，但对于体加工梳齿结构，由于定齿均匀配置结构键合面小、加之体硅加工敏感质量活动片加厚，质量加大，工艺流水下来后，键合的定齿脱落严重，通过探针台测得定齿间的电阻很大，这主要是键合强度不够。另外，键合接触电阻也变大。名称为“定齿偏置的梳齿式体硅加工微机械结构”的中国专利(申请号为01141718.8)提出了一种定齿偏置的梳齿式体硅加工微机械结构，但该结构的动片与基片之间的间隙小，在工作时容易受卡死，使工作不正常。
技术实现思路
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【技术保护点】
一种梳齿式体硅加工微机械加速度计的微机械结构，包括一个由齿枢、多组动齿和折叠梁组成的敏感质量元件，固定齿和基片；该动齿由齿枢向两侧伸出，形成双侧梳齿式结构，该齿枢两端通过立柱固定于基片上，使齿枢、多组动齿相对基片悬空平行设置；所说的敏感质量元件的每个动齿为可变电容的一个活动电极，与固定齿的每个梳齿交错配置，总体形成差动电容，其特征是在敏感质量元件下方的基片上开有一凹槽。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：高钟毓，王永梁，董景新，张嵘，赵长德，曹志锦，袁光，马新龙，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
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