【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种全光型硅微谐振式二维加速度传感器，其特征在于：包括敏感结构、质量块和信号获取与处理电路，上述各部分都是以单晶硅片为基板，经微加工成型的整体；所述的敏感结构为支撑梁和谐振梁构成的法‑珀腔，对称分布在质量块四周；支撑梁由四根悬臂梁、悬臂梁上的PN结和金属反射膜构成，谐振梁由单晶硅梁及其上的金属反射膜构成，信号线由单晶硅梁上的PN结引出。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：鞠洪建，
申请(专利权)人：大连康赛谱科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
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