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本发明公开了一种全光型硅微谐振式二维加速度传感器，采用光拾振与光激励结合，包括敏感结构、质量块和信号获取与处理电路，以单晶硅片为基板一体化三维集成。敏感结构为支撑梁和谐振梁构成的法-珀腔，对称分布在质量块四周，支撑梁由四根悬臂梁、悬臂梁上的...
该专利属于大连康赛谱科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大连康赛谱科技发展有限公司授权不得商用。

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