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一种梳齿式体硅加工微机械加速度计属于惯性仪表领域，其结构包括由体加工形成的齿枢、多组动齿和折叠梁组构成的敏感质量元件、定齿偏置的固定齿和基片，电路包括微电容检测、力反馈伺服电路等部分。本发明将面加工梳齿结构通过定齿偏置结构等发展成体加工梳齿...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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