【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种器件尺寸小至毫米量级的栅状结构电容式微型加速度传感器，属微电子机械领域。随着微电子机械系统研究的深入及电子设备的智能化，各种微型传感器得到极大关注。其中，广泛应用于运动系统监测和控制的加速度传感器，如汽车安全气垫装置中的核心测量敏感器件加速度传感器已形成产品。加速度传感器的种类很多，尤以电容式微型固态加速度传感器为主要方向。国际上已开发的几类电容式加速度传感器除可测量运动系统加速度大小外，还可以测量加速度的方向。这些加速度传感器主要是通过质量块移动后，由敏感芯片中电容变化来测量加速度的大小和方向。然而，由于敏感芯片中电容的变化是质量块与测量电极间距离变化引起的，因此电容的变化是非线性的，即芯片输出信号与测量加速度大小之间存在非线性关系。这种非线性关系，可利用负反馈电路来限制质量块移动距离，然后根据小位移线性近似的原理予以消除。然而，质量块移动距离小，电容变化小，因而要求接口电路有很高的性能，给接口电路的设计与制作带来诸多麻烦。为了克服上述加速度传感器的不足，本技术改进设计成一种新结构加速度传感器，传感器芯片中电容相对变化量大，且电容的变化与所测...
【技术保护点】
一种栅结构电容式微型加速度传感器，包括质量块、测量电极、质量块与电极构成的电容和电容测量接口电路，其特征在于有兼作可动电极的栅状结构质量块、叉指形测量固定电极、支撑栅状质量块的悬空弹性梁和限位锚点。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李宝清，陆德仁，王渭源，
申请(专利权)人：中国科学院上海冶金研究所，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。