【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种微电子机械测量技术，特别涉及一种电容式硅微加速度计装置及电路。
技术介绍
目前，微机电系统(MEMS)的应用领域日益广泛，尤其是在航空、航天、军事和医学领域越来越被重视，现有叉指式、扭摆式、悬臂梁式等硅微加速度计结构复杂，抗干扰性能差，灵敏度低，测量范围小和成本高等缺点，所以满足不了目前科技发展的需要。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有硅微加速度计存在的技术问题，提供一种结构简单、抗冲击能力强、抗干扰性好、精度高和成本低的电容式硅微加速度计装置及电路。本技术包括等效质量块、电容上极板、电容下极板、支承体、反相器和前置放大器，等效质量块设置在支承体内，通过基座固定在支承体内的底面上，其上端通过附加质量块设置在支承体的导向槽内，电容上极板和电容下极板分别设置在附加质量块和基座之间，并固定在支承体的内壁上，活动电容极板固定在微弹性梁上，并在电容上极板和电容下极板之间，活动电容极板接有信号线，所述等效质量块由附加质量块、微弹性梁和基座构成，微弹性梁设置在附加质量块和基座的中间，所述电容上极板和电容下极板都是由中间带孔的两个半矩形板构成，并且分别接有信号线，所述...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘绍杰，董慧颖，王云山，高奂文，
申请(专利权)人：沈阳工业学院，
类型：实用新型
国别省市：
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