容性加速度计及其制造方法技术

容性加速度计及其制造方法。该加速度计包括两个有固定侧面电极４，６＇的侧面电极构件１５和装有中心电极１７的中心电极构件１６，构件１６包括一平行于构件１５的平面主体件３其中保留在１５之间的部分加工成靠近４，６＇处有一个贯穿主件３呈Ｕ形且描成悬臂状电极１７的槽，电极１７平行于主件３而使１７的端部１比所述３的部分细，以在电极４，６＇与１７之间形成间隙７，且与３形成整体的构件１６的杆件２实质上比端部１细，以使１７具有挠曲性。本发明专利技术的传感器结构易于成批生产。（*该技术在2008年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种硅材料制成的容性加速度计，该加速度计包括两个彼此间隔一段距离、平行排列、基本上呈板状的平面侧面电极构件(15)，面对面地配置并包括侧面固定电极(4，6′)和一均质的基本上呈板状的中心电极构件(16)，配置在侧面电极构件(15)之间，该中心电极构件(16)包括一连接到侧面电极构件(15)的主体件(3)和至少一个安置在侧面电极(4，6′)附近，且包括一杆件(2)和一端部(1)的中心电极(17)，从而使中心电极(17)的杆(2)将中心电极(17)连接到主体件(3)上，于是主体件(3)就从侧面封闭着中心电极(17)，因此杆件(2)实质上比端部(1)细。本专利技术还涉及一种加速度计的制造方法。所述加速度计实际上是个小型的力传感器，但其主要用途是检则加速度。该加速度计也可用于其它用途，例如检测倾斜角。 本
中周知的小型加速度计多半是基于压电或压阻工作原理。压电晶体产生其大小取决于施加到表面上的力的表面电荷。然后用电荷敏感性放大器测定该电荷。测定所用的放大器其输入阻抗高，因而使放大器易受静电的干扰。表面上所产生的电荷自然而然地经由表面漏泄电流放电，因此要用这种加速度计本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅材料制成的容性加速度计，包括：一两个彼此间隔一段距离、平行排列、基本上呈板状的平面侧面电极构件（１５），面对面地配置并包括侧面固定电极（４，６＇）和－－均质的基本上呈板状的中心电极构件（１６），配置在侧面电极构件（１５）之间， 该中心电极构件（１６）包括：－－连接到侧面电极构件（１５）的主体件（３）和－至少一个中心电极（１７），安置在侧面电极（４，６＇）附近，且包括一杆件（２））和一端部（１），从而使中心电极（１７）的杆（２）将中心电极（１７）连接到主体件 （３）上，于是主体件（３）就从侧面封闭着中心电极（１７），因此杆件（２）实质上比端部（１）细，该容性加速...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿里利托，卡勒沃雅平伦，安娜迈雅卡尔凯伦，
申请(专利权)人：外沙拉股份公司，
类型：发明
国别省市：FI[芬兰]