下载容性加速度计及其制造方法的技术资料

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容性加速度计及其制造方法。该加速度计包括两个有固定侧面电极4,6'的侧面电极构件15和装有中心电极17的中心电极构件16,构件16包括一平行于构件15的平面主体件3其中保留在15之间的部分加工成靠近4,6'处有一个贯穿主件3呈U形且描成悬臂...
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