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本实用新型是一种尺寸小至毫米量级的微型栅结构电容式加速度传感器，主要由兼作可动电极的栅状结构质量块、固定叉指式测量电极、质量块与测量电极构成的电容、支撑质量块的悬空弹性梁和限位锚点构成。其中，质量块仅沿Ｘ方向或Ｙ方向运动，具有良好的选择性。...
该专利属于中国科学院上海冶金研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海冶金研究所授权不得商用。

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