一种振梁式角速率传感器制造技术

一种振梁式角速率传感器，在金属外壳内设置有敏感器件支架，敏感器件为安装在基座（４）中的振梁（１）及其控制电路，其特征是 振梁为矩形截面立方柱振梁，基座为与振梁相匹配的立方箱体，振梁安装在基座内； 在所述振梁的表面上制作有熔石英电极片（５、６、７、８），在基座的内壁对应处也制作有熔石英电极片（９、１０、１１、１２）。（*该技术在2012年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种角速率传感器，特别是指一种测量载体在惯性空间运动角速率的力学传感器，该传感器通过测量因振梁运动引起的电容内静电电荷变化计算出运动角速率。根据上述目的设计了一种振梁式角速率传感器，在金属外壳内设置有敏感器件支架，敏感器件为安装在基座中的振梁及其控制电路，该振梁为矩形截面立方柱振梁，基座为与振梁相匹配的立方箱体，振梁安装在基座内；在振梁的表面上制作有熔石英电极片，在基座的内壁对应处也制作有熔石英电极片。其中，制作在振梁表面上的熔石英电极片位于立方柱型振梁的四个侧面上，大小及尺寸相互一致，共有四片；基座内壁上的熔石英电极片与振梁上的电极片相互对应，相对应的熔石英电极片构成一个电容，包括用于读出沿基座轴向转动时振梁运动信号的电容C2、用于驱动的电容C3、用于增大阻尼的电容C4、用于测量驱动运动反馈信号电容的C1，各电容均与控制电路连接，是控制电路的组成元件。装配时的一种实施方式是，在基座内围绕振梁上的熔英电极片设置有一隧道型支架，熔石英电极片位于隧道型支架及基座的内壁上。振梁则借助支撑钢丝悬吊在基座内，支撑丝安装在振梁的基波节点处，熔石英电极片设置在基波节点之间。在控制电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王福殿，吕良，杨冠，
申请(专利权)人：惠州惠台仙通智能仪表有限公司，
类型：实用新型
国别省市：