下载一种振梁式角速率传感器的技术资料

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一种振梁式角速率传感器,在金属外壳内设置有敏感器件支架,敏感器件为安装在基座(4)中的振梁(1)及其控制电路,其特征是 振梁为矩形截面立方柱振梁,基座为与振梁相匹配的立方箱体,振梁安装在基座内; 在所述振梁的表面上制作有熔石英电...
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