下载一种静电伺服挠性加速度计的技术资料

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一种利用静电力产生伺服力矩的石英电容式挠性加速度计,包括控制电路、设在基座上的石英挠性摆片、传感电容器,在石英挠性摆片的两侧面对称地设置有两对金属电极,这两对金属电极分别与设置在基座上的金属电极构成传感电容C↓[1]、C↓[2]和产生静电力...
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