基于静电力驱动的微结构谐振单向弯曲疲劳试验装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于静电力驱动的微结构谐振单向弯曲疲劳试验装置，该装置的固定梳齿的侧壁与连接交流电的电极相连；所述的悬置梳齿通过连接粱及固定于基底的固定块与接地电极相连；所述的固定梳齿与悬置梳齿为交错对应设置；连接粱的一端为与其成为一体的悬置梳齿的连接臂的中点；其另一端为与其成为一体并通过锚定层固定于基底的侧臂；连接粱为疲劳试样。由于本发明专利技术的悬置梳齿的转动中心位于其悬臂的中心附件，而且整个梳齿宽度设置得较宽，这样在振动过程中悬置梳齿和固定梳齿之间基本不存在相对转动，悬置梳齿基本是直上直下的直线运动，避免了两者之间由于相对转动而造成的干涉，从而相能产生更大振动幅度。便于研究微梁在较大范围内受力载荷下的疲劳特性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术用于MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微机电系统)结构材料多晶硅疲劳特性的研究，属于微纳米技术基础研究领域。
技术介绍
MEMS(Micro Electromechanical System，即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。概括起来，MEMS具有以下几个基本特点，微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产。MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和系统。MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子技术、机械技术、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等。研究发现，在宏观状态下属于脆性材料的硅在微纳米尺度下会产生疲劳特性，对于发生这种变化的机理目前还不太明确。了解这种机理并测量硅在微米尺度下的疲劳特性参数对于MEMS可靠性设计及寿命预测有着重要的意义。传统宏观尺度下的疲劳试验一般由专用的材料疲劳试验机进行，主要有液压、电磁等驱动方式，标准试样用卡头装夹于其中。但这种本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于静电力驱动的微结构谐振单向弯曲疲劳试验装置，包括有电极、和与电极相连接的固定梳齿和悬置梳齿；其特征在于：所述的固定梳齿（３）的侧壁（８）与连接交流电的电极（１）相连；所述的悬置梳齿（４）通过连接粱（５）及固定于基底的固定块（７）与接地电极（２）相连；所述的固定梳齿（３）与悬置梳齿（４）为交错对应设置；上述连接粱（５）的一端为与其成为一体的悬置梳齿（４）的连接臂的中点；其另一端为与其成为一体的侧臂（７）；连接粱（５）为疲劳试样。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：丁雷，尚德广，贾冠华，孙国芹，李浩群，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]