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基于静电力驱动的微结构谐振单向弯曲疲劳试验装置制造方法及图纸
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下载基于静电力驱动的微结构谐振单向弯曲疲劳试验装置的技术资料
文档序号:2622350
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本发明公开了一种基于静电力驱动的微结构谐振单向弯曲疲劳试验装置,该装置的固定梳齿的侧壁与连接交流电的电极相连;所述的悬置梳齿通过连接粱及固定于基底的固定块与接地电极相连;所述的固定梳齿与悬置梳齿为交错对应设置;连接粱的一端为与其成为一体的悬...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。
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